Metallorganisch chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von oxidischen hoch-[Epsilon] Schichten:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Jülich
Forschungszentrum, Zentralbibliothek
2004
|
| Schriftenreihe: | Berichte des Forschungszentrums Jülich
4159 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2004 |
| Beschreibung: | 166 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV020036751 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20051118 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 050919s2004 gw ad|| tm|| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)314664255 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV020036751 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 | ||
| 088 | |a Jül 4159 | ||
| 100 | 1 | |a Regnery, Stephan |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Metallorganisch chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von oxidischen hoch-[Epsilon] Schichten |c Stephan Regnery. [Forschungszentrum Jülich, Institut für Festkörperforschung] |
| 246 | 1 | 3 | |a Metallorganisch chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von oxidischen hoch-epsilon Schichten |
| 264 | 1 | |a Jülich |b Forschungszentrum, Zentralbibliothek |c 2004 | |
| 300 | |a 166 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Berichte des Forschungszentrums Jülich |v 4159 | |
| 500 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2004 | ||
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 830 | 0 | |a Berichte des Forschungszentrums Jülich |v 4159 |w (DE-604)BV004194732 |9 4159 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013357879 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804133606781616128 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Regnery, Stephan |
| author_facet | Regnery, Stephan |
| author_role | aut |
| author_sort | Regnery, Stephan |
| author_variant | s r sr |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV020036751 |
| ctrlnum | (OCoLC)314664255 (DE-599)BVBBV020036751 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01247nam a2200325 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV020036751</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20051118 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">050919s2004 gw ad|| tm|| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)314664255</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV020036751</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Jül 4159</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Regnery, Stephan</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Metallorganisch chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von oxidischen hoch-[Epsilon] Schichten</subfield><subfield code="c">Stephan Regnery. [Forschungszentrum Jülich, Institut für Festkörperforschung]</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Metallorganisch chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von oxidischen hoch-epsilon Schichten</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Jülich</subfield><subfield code="b">Forschungszentrum, Zentralbibliothek</subfield><subfield code="c">2004</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">166 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Berichte des Forschungszentrums Jülich</subfield><subfield code="v">4159</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2004</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Berichte des Forschungszentrums Jülich</subfield><subfield code="v">4159</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV004194732</subfield><subfield code="9">4159</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013357879</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV020036751 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T20:11:24Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013357879 |
| oclc_num | 314664255 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | 166 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2004 |
| publishDateSearch | 2004 |
| publishDateSort | 2004 |
| publisher | Forschungszentrum, Zentralbibliothek |
| record_format | marc |
| series | Berichte des Forschungszentrums Jülich |
| series2 | Berichte des Forschungszentrums Jülich |
| spelling | Regnery, Stephan Verfasser aut Metallorganisch chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von oxidischen hoch-[Epsilon] Schichten Stephan Regnery. [Forschungszentrum Jülich, Institut für Festkörperforschung] Metallorganisch chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von oxidischen hoch-epsilon Schichten Jülich Forschungszentrum, Zentralbibliothek 2004 166 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte des Forschungszentrums Jülich 4159 Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2004 (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Berichte des Forschungszentrums Jülich 4159 (DE-604)BV004194732 4159 |
| spellingShingle | Regnery, Stephan Metallorganisch chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von oxidischen hoch-[Epsilon] Schichten Berichte des Forschungszentrums Jülich |
| subject_GND | (DE-588)4113937-9 |
| title | Metallorganisch chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von oxidischen hoch-[Epsilon] Schichten |
| title_alt | Metallorganisch chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von oxidischen hoch-epsilon Schichten |
| title_auth | Metallorganisch chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von oxidischen hoch-[Epsilon] Schichten |
| title_exact_search | Metallorganisch chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von oxidischen hoch-[Epsilon] Schichten |
| title_full | Metallorganisch chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von oxidischen hoch-[Epsilon] Schichten Stephan Regnery. [Forschungszentrum Jülich, Institut für Festkörperforschung] |
| title_fullStr | Metallorganisch chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von oxidischen hoch-[Epsilon] Schichten Stephan Regnery. [Forschungszentrum Jülich, Institut für Festkörperforschung] |
| title_full_unstemmed | Metallorganisch chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von oxidischen hoch-[Epsilon] Schichten Stephan Regnery. [Forschungszentrum Jülich, Institut für Festkörperforschung] |
| title_short | Metallorganisch chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) von oxidischen hoch-[Epsilon] Schichten |
| title_sort | metallorganisch chemische gasphasenabscheidung mocvd von oxidischen hoch epsilon schichten |
| topic_facet | Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV004194732 |
| work_keys_str_mv | AT regnerystephan metallorganischchemischegasphasenabscheidungmocvdvonoxidischenhochepsilonschichten |