Anlagenentwicklung und experimentelle Untersuchungen zur Züchtung von CaF2-Kristallen für die Mikrolithographie:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2005
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2005 |
| Beschreibung: | 168 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV019985787 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20061016 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 050801s2005 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)219257131 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV019985787 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-29 |a DE-29T |a DE-12 |a DE-83 | ||
| 084 | |a UQ 2100 |0 (DE-625)146483: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Molchanov, Alexander |d 1969- |e Verfasser |0 (DE-588)130352543 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Anlagenentwicklung und experimentelle Untersuchungen zur Züchtung von CaF2-Kristallen für die Mikrolithographie |c von Alexander Molchanov |
| 264 | 1 | |c 2005 | |
| 300 | |a 168 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2005 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Lithografie |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4191584-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Kristallzüchtung |0 (DE-588)4140616-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Calciumfluorid |0 (DE-588)4147175-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Lithografie |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4191584-7 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Calciumfluorid |0 (DE-588)4147175-1 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Kristallzüchtung |0 (DE-588)4140616-3 |D s |
| 689 | 0 | |C b |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m HEBIS Datenaustausch Darmstadt |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=013307785&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 940 | 1 | |n oe | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013307785 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804133529363152896 |
|---|---|
| adam_text | ANLAGENENTWICKLUNG UND EXPERIMENTELLE UNTERSUCHUNGEN ZUR ZUECHTUNG VON
CAF2-KRISTALLEN FUER DIE MIKROLITHOGRAPHIE DER TECHNISCHEN FAKULTAET DER
UNIVERSITAET ERLANGEN-NUERNBERG ZUR ERLANGUNG DES GRADES DOKTOR-INGENIEUR
VORGELEGT VON ALEXANDER MOLCHANOV ERLANGEN 2005 INHALT KURZFASSUNG 3
ABSTRACT 5 1 EINLEITUNG 7 1.1 MOTIVATION 7 1.2 VERFAHREN ZUR ZUECHTUNG
VON GROSSEN CAF2-KRISTALLEN 10 1.3 ZIELSETZUNG UND KONZEPT DER ARBEIT 12
1.4 GLIEDERUNG DER ARBEIT 15 2 ENTWICKLUNG UND REALISIERUNG DER
FUE-ZUECHTUNGSANLAGE 17 2.1 SIMULATIONSGESTUETZTE ENTWICKLUNG DES
THERMISCHEN DESIGNS 17 2.1.1 SIMULATIONSPAKET CRYSVUN 18 2.1.2
ANFORDERUNGEN AN THERMISCHES DESIGN 19 2.1.3 OPTIMIERUNG DES THERMISCHEN
DESIGNS MITHILFE DER COMPUTERSIMULATION 20 2.2 TECHNISCHE UMSETZUNG DER
ZUECHTUNGSANLAGE 30 2.2.1 MECHANISCHER AUFBAU 30 2.2.2 VAKUUM- UND
GASVERSORGUNG 39 2.2.3 STEUERUNG 41 2.3 TEMPERATURMESSUNGEN IN DER
OFENANLAGE UND VERIFIKATION DES NUMERISCHEN OFENMODELLS 43 2.3.1
EXPERIMENTELLER AUFBAU 43 2.3.2 MESSERGEBNISSE 44 2.3.3 VERIFIKATION DES
NUMERISCHEN OFENMODELLS 45 2.3.4 DISKUSSION 48 3 ENTWICKLUNG EINES
NUMERISCHEN MODELLS ZUR BEHANDLUNG DES WAERMETRANSPORTS INCAF2 49 3.1
WAERMETRANSPORTRELEVANTE MATERIALEIGENSCHAFTEN VON CAF 2 49 3.2
EXPERIMENTELLE UNTERSUCHUNGEN DES WAERMETRANSPORTS IN CAF2 61 3.2.1
AXIALE TEMPERATURVERTEILUNGEN 61 3.2.2 RADIALE TEMPERATURVERTEILUNGEN 70
3.3 VERIFIKATION VON NUMERISCHEN MODELLEN ZUR BESCHREIBUNG DES
WAERMETRANSPORTS IN CAF2 76 3.3.1 NUMERISCHE MODELLE ZUR BESCHREIBUNG DES
WAERMETRANSPORTS IN SEMITRANSPARENTEN UND PARTIZIPIERENDEN MEDIEN 76
3.3.2 SIMULATIONSERGEBNISSE 79 3.4 DISKUSSION 94 4 ZUECHTUNGSEXPERIMENTE
UND ERGEBNISSE 97 4.1 ZUECHTUNGSPROZESS 98 4.2 ERGEBNISSE DER
KRISTALLZUECHTUNG 107 4.2.1 REALSTRUKTUR 108 4.2.2 OPTISCHE EIGENSCHAFTEN
120 4.3 DISKUSSION 130 5 ZUECHTUNG UND CHARAKTERISIERUNG VON
SAUERSTOFFDOTIERTEN CAF 2 -KRISTALLEN 132 5.1 ZIELSETZUNG 132 5.2
ZUECHTUNG UND CHARAKTERISIERUNG EINES SAUERSTOFFDOTIERTEN CAF 2
-KRISTALLS 132 5.2.1 ZUECHTUNGSEXPERIMENT 132 5.2.2 ERGEBNISSE DER
KRISTALLCHARAKTERISIERUNG 135 5.3 ZUECHTUNG UNTER REDUZIERTEM VAKUUM 147
5.3.1 ZUECHTUNGSEXPERIMENT 147 5.3.2 ERGEBNISSE DER ABSORPTIONSMESSUNGEN
148 5.4 DISKUSSION 149 6 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 154
LITERATURVERZEICHNIS 156 VEROEFFENTLICHUNGEN 166 DANKSAGUNG 167
LEBENSLAUF 168
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Molchanov, Alexander 1969- |
| author_GND | (DE-588)130352543 |
| author_facet | Molchanov, Alexander 1969- |
| author_role | aut |
| author_sort | Molchanov, Alexander 1969- |
| author_variant | a m am |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV019985787 |
| classification_rvk | UQ 2100 |
| ctrlnum | (OCoLC)219257131 (DE-599)BVBBV019985787 |
| discipline | Physik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01647nam a2200385 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV019985787</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20061016 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">050801s2005 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)219257131</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV019985787</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UQ 2100</subfield><subfield code="0">(DE-625)146483:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Molchanov, Alexander</subfield><subfield code="d">1969-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)130352543</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Anlagenentwicklung und experimentelle Untersuchungen zur Züchtung von CaF2-Kristallen für die Mikrolithographie</subfield><subfield code="c">von Alexander Molchanov</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2005</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">168 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2005</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Lithografie</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191584-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kristallzüchtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4140616-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Calciumfluorid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4147175-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Lithografie</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191584-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Calciumfluorid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4147175-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Kristallzüchtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4140616-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="C">b</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">HEBIS Datenaustausch Darmstadt</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=013307785&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="n">oe</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013307785</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV019985787 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T20:10:10Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013307785 |
| oclc_num | 219257131 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29 DE-29T DE-12 DE-83 |
| owner_facet | DE-29 DE-29T DE-12 DE-83 |
| physical | 168 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2005 |
| publishDateSearch | 2005 |
| publishDateSort | 2005 |
| record_format | marc |
| spelling | Molchanov, Alexander 1969- Verfasser (DE-588)130352543 aut Anlagenentwicklung und experimentelle Untersuchungen zur Züchtung von CaF2-Kristallen für die Mikrolithographie von Alexander Molchanov 2005 168 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2005 Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 gnd rswk-swf Kristallzüchtung (DE-588)4140616-3 gnd rswk-swf Calciumfluorid (DE-588)4147175-1 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 s Calciumfluorid (DE-588)4147175-1 s Kristallzüchtung (DE-588)4140616-3 s b DE-604 HEBIS Datenaustausch Darmstadt application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=013307785&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Molchanov, Alexander 1969- Anlagenentwicklung und experimentelle Untersuchungen zur Züchtung von CaF2-Kristallen für die Mikrolithographie Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 gnd Kristallzüchtung (DE-588)4140616-3 gnd Calciumfluorid (DE-588)4147175-1 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4191584-7 (DE-588)4140616-3 (DE-588)4147175-1 (DE-588)4113937-9 |
| title | Anlagenentwicklung und experimentelle Untersuchungen zur Züchtung von CaF2-Kristallen für die Mikrolithographie |
| title_auth | Anlagenentwicklung und experimentelle Untersuchungen zur Züchtung von CaF2-Kristallen für die Mikrolithographie |
| title_exact_search | Anlagenentwicklung und experimentelle Untersuchungen zur Züchtung von CaF2-Kristallen für die Mikrolithographie |
| title_full | Anlagenentwicklung und experimentelle Untersuchungen zur Züchtung von CaF2-Kristallen für die Mikrolithographie von Alexander Molchanov |
| title_fullStr | Anlagenentwicklung und experimentelle Untersuchungen zur Züchtung von CaF2-Kristallen für die Mikrolithographie von Alexander Molchanov |
| title_full_unstemmed | Anlagenentwicklung und experimentelle Untersuchungen zur Züchtung von CaF2-Kristallen für die Mikrolithographie von Alexander Molchanov |
| title_short | Anlagenentwicklung und experimentelle Untersuchungen zur Züchtung von CaF2-Kristallen für die Mikrolithographie |
| title_sort | anlagenentwicklung und experimentelle untersuchungen zur zuchtung von caf2 kristallen fur die mikrolithographie |
| topic | Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 gnd Kristallzüchtung (DE-588)4140616-3 gnd Calciumfluorid (DE-588)4147175-1 gnd |
| topic_facet | Lithografie Halbleitertechnologie Kristallzüchtung Calciumfluorid Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=013307785&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT molchanovalexander anlagenentwicklungundexperimentelleuntersuchungenzurzuchtungvoncaf2kristallenfurdiemikrolithographie |