Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2005
|
| Schriftenreihe: | Erlanger Berichte Mikroelektronik
2005,2 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.:Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2005 |
| Beschreibung: | 132 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 383223778X |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV019772180 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20060512 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 050414s2005 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 974056561 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 383223778X |9 3-8322-3778-X | ||
| 035 | |a (OCoLC)76731200 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV019772180 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-29T |a DE-29 |a DE-91 | ||
| 084 | |a UP 7550 |0 (DE-625)146434: |2 rvk | ||
| 084 | |a 620 |2 sdnb | ||
| 100 | 1 | |a Leistner, Trixi |d 1973- |e Verfasser |0 (DE-588)129881090 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD |c Trixi Leistner |
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 2005 | |
| 300 | |a 132 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Erlanger Berichte Mikroelektronik |v 2005,2 | |
| 500 | |a Zugl.:Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2005 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Elektrische Eigenschaft |0 (DE-588)4193812-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Titanorganische Verbindungen |0 (DE-588)4043813-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ausgangsmaterial |0 (DE-588)4143518-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a MOCVD-Verfahren |0 (DE-588)4314628-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Halbleitersubstrat |0 (DE-588)4158813-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a MIS |0 (DE-588)4139664-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Organische Flüssigkeit |0 (DE-588)4172772-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Titandioxid |0 (DE-588)4185549-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Isolatorbauteil |0 (DE-588)4123452-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a MOCVD-Verfahren |0 (DE-588)4314628-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Titandioxid |0 (DE-588)4185549-8 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Ausgangsmaterial |0 (DE-588)4143518-7 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Titanorganische Verbindungen |0 (DE-588)4043813-2 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Organische Flüssigkeit |0 (DE-588)4172772-1 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Titandioxid |0 (DE-588)4185549-8 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Ausgangsmaterial |0 (DE-588)4143518-7 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Halbleitersubstrat |0 (DE-588)4158813-7 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a MIS |0 (DE-588)4139664-9 |D s |
| 689 | 1 | 4 | |a Isolatorbauteil |0 (DE-588)4123452-2 |D s |
| 689 | 1 | 5 | |a Elektrische Eigenschaft |0 (DE-588)4193812-4 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Erlanger Berichte Mikroelektronik |v 2005,2 |w (DE-604)BV010300264 |9 2005,2 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013098304 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804133252765581312 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Leistner, Trixi 1973- |
| author_GND | (DE-588)129881090 |
| author_facet | Leistner, Trixi 1973- |
| author_role | aut |
| author_sort | Leistner, Trixi 1973- |
| author_variant | t l tl |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV019772180 |
| classification_rvk | UP 7550 |
| ctrlnum | (OCoLC)76731200 (DE-599)BVBBV019772180 |
| discipline | Maschinenbau / Maschinenwesen Physik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02579nam a2200637 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV019772180</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20060512 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">050414s2005 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">974056561</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">383223778X</subfield><subfield code="9">3-8322-3778-X</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76731200</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV019772180</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 7550</subfield><subfield code="0">(DE-625)146434:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">620</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Leistner, Trixi</subfield><subfield code="d">1973-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)129881090</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD</subfield><subfield code="c">Trixi Leistner</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">2005</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">132 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Erlanger Berichte Mikroelektronik</subfield><subfield code="v">2005,2</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.:Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2005</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektrische Eigenschaft</subfield><subfield code="0">(DE-588)4193812-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Titanorganische Verbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4043813-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ausgangsmaterial</subfield><subfield code="0">(DE-588)4143518-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">MOCVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4314628-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Halbleitersubstrat</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158813-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">MIS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4139664-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Organische Flüssigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4172772-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Titandioxid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185549-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Isolatorbauteil</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123452-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">MOCVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4314628-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Titandioxid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185549-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Ausgangsmaterial</subfield><subfield code="0">(DE-588)4143518-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Titanorganische Verbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4043813-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Organische Flüssigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4172772-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Titandioxid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185549-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Ausgangsmaterial</subfield><subfield code="0">(DE-588)4143518-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Halbleitersubstrat</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158813-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">MIS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4139664-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="4"><subfield code="a">Isolatorbauteil</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123452-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="5"><subfield code="a">Elektrische Eigenschaft</subfield><subfield code="0">(DE-588)4193812-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Erlanger Berichte Mikroelektronik</subfield><subfield code="v">2005,2</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV010300264</subfield><subfield code="9">2005,2</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013098304</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV019772180 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T20:05:46Z |
| institution | BVB |
| isbn | 383223778X |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013098304 |
| oclc_num | 76731200 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29T DE-29 DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-29T DE-29 DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | 132 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2005 |
| publishDateSearch | 2005 |
| publishDateSort | 2005 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series | Erlanger Berichte Mikroelektronik |
| series2 | Erlanger Berichte Mikroelektronik |
| spelling | Leistner, Trixi 1973- Verfasser (DE-588)129881090 aut Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD Trixi Leistner Aachen Shaker 2005 132 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlanger Berichte Mikroelektronik 2005,2 Zugl.:Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2005 Elektrische Eigenschaft (DE-588)4193812-4 gnd rswk-swf Titanorganische Verbindungen (DE-588)4043813-2 gnd rswk-swf Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 gnd rswk-swf MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd rswk-swf Halbleitersubstrat (DE-588)4158813-7 gnd rswk-swf MIS (DE-588)4139664-9 gnd rswk-swf Organische Flüssigkeit (DE-588)4172772-1 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Titandioxid (DE-588)4185549-8 gnd rswk-swf Isolatorbauteil (DE-588)4123452-2 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 s Titandioxid (DE-588)4185549-8 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 s Titanorganische Verbindungen (DE-588)4043813-2 s Organische Flüssigkeit (DE-588)4172772-1 s DE-604 Halbleitersubstrat (DE-588)4158813-7 s MIS (DE-588)4139664-9 s Isolatorbauteil (DE-588)4123452-2 s Elektrische Eigenschaft (DE-588)4193812-4 s Erlanger Berichte Mikroelektronik 2005,2 (DE-604)BV010300264 2005,2 |
| spellingShingle | Leistner, Trixi 1973- Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD Erlanger Berichte Mikroelektronik Elektrische Eigenschaft (DE-588)4193812-4 gnd Titanorganische Verbindungen (DE-588)4043813-2 gnd Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 gnd MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd Halbleitersubstrat (DE-588)4158813-7 gnd MIS (DE-588)4139664-9 gnd Organische Flüssigkeit (DE-588)4172772-1 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Titandioxid (DE-588)4185549-8 gnd Isolatorbauteil (DE-588)4123452-2 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4193812-4 (DE-588)4043813-2 (DE-588)4143518-7 (DE-588)4314628-4 (DE-588)4158813-7 (DE-588)4139664-9 (DE-588)4172772-1 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4185549-8 (DE-588)4123452-2 (DE-588)4113937-9 |
| title | Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD |
| title_auth | Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD |
| title_exact_search | Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD |
| title_full | Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD Trixi Leistner |
| title_fullStr | Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD Trixi Leistner |
| title_full_unstemmed | Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD Trixi Leistner |
| title_short | Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD |
| title_sort | charakterisierung von titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten precursoren mittels mocvd |
| topic | Elektrische Eigenschaft (DE-588)4193812-4 gnd Titanorganische Verbindungen (DE-588)4043813-2 gnd Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 gnd MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd Halbleitersubstrat (DE-588)4158813-7 gnd MIS (DE-588)4139664-9 gnd Organische Flüssigkeit (DE-588)4172772-1 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Titandioxid (DE-588)4185549-8 gnd Isolatorbauteil (DE-588)4123452-2 gnd |
| topic_facet | Elektrische Eigenschaft Titanorganische Verbindungen Ausgangsmaterial MOCVD-Verfahren Halbleitersubstrat MIS Organische Flüssigkeit Dünne Schicht Titandioxid Isolatorbauteil Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV010300264 |
| work_keys_str_mv | AT leistnertrixi charakterisierungvontitandioxidschichtenabgeschiedenausneuentwickeltenprecursorenmittelsmocvd |