Vom Sand zum Superchip: 300mm-wafer für die Nanoelektronik
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schulenburg, Mathias (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Berlin BMBF, Referat Publ., Internetred. 2004
Schriftenreihe:Forschung
Deutschland. Das von morgen : Forschung
Online-Zugang:Inhaltsverzeichnis
Beschreibung:24 S. Ill., graph. Darst. 30 cm

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