Optimierung der Schichtstrukturen, Grenzflächen und Pufferschichten von Mo-Si-Multischichten in Hinsicht auf die EUV-Reflektivität:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2003
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | V, 115 S. Ill., graph. Darst. 21 cm |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV019633357 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 041215s2003 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 015 | |a 04,H06,1172 |2 dnb | ||
| 016 | 7 | |a 970868375 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)249632621 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV019633357 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c XA-DE | ||
| 049 | |a DE-355 |a DE-188 | ||
| 050 | 0 | |a MLCS 2007/48791 (Q) | |
| 084 | |a 530 |2 sdnb | ||
| 100 | 1 | |a Westerwalbesloh, Thomas E. |d 1973- |e Verfasser |0 (DE-588)128925647 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Optimierung der Schichtstrukturen, Grenzflächen und Pufferschichten von Mo-Si-Multischichten in Hinsicht auf die EUV-Reflektivität |c vorgelegt von Thomas E. Westerwalbesloh |
| 264 | 1 | |c 2003 | |
| 300 | |a V, 115 S. |b Ill., graph. Darst. |c 21 cm | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Bielefeld, Univ., Diss., 2003 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Röntgenspiegel |0 (DE-588)4508329-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Molybdän |0 (DE-588)4170407-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Molybdän |0 (DE-588)4170407-1 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Röntgenspiegel |0 (DE-588)4508329-0 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-012962398 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804133002436935680 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Westerwalbesloh, Thomas E. 1973- |
| author_GND | (DE-588)128925647 |
| author_facet | Westerwalbesloh, Thomas E. 1973- |
| author_role | aut |
| author_sort | Westerwalbesloh, Thomas E. 1973- |
| author_variant | t e w te tew |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV019633357 |
| callnumber-first | M - Music |
| callnumber-label | MLCS 2007/48791 (Q) |
| callnumber-raw | MLCS 2007/48791 (Q) |
| callnumber-search | MLCS 2007/48791 (Q) |
| callnumber-sort | MLCS 42007 548791 Q |
| ctrlnum | (OCoLC)249632621 (DE-599)BVBBV019633357 |
| discipline | Physik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01565nam a2200433 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV019633357</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">041215s2003 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">04,H06,1172</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">970868375</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)249632621</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV019633357</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">XA-DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="050" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">MLCS 2007/48791 (Q)</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">530</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Westerwalbesloh, Thomas E.</subfield><subfield code="d">1973-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)128925647</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Optimierung der Schichtstrukturen, Grenzflächen und Pufferschichten von Mo-Si-Multischichten in Hinsicht auf die EUV-Reflektivität</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Thomas E. Westerwalbesloh</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2003</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">V, 115 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield><subfield code="c">21 cm</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Bielefeld, Univ., Diss., 2003</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Röntgenspiegel</subfield><subfield code="0">(DE-588)4508329-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Molybdän</subfield><subfield code="0">(DE-588)4170407-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Molybdän</subfield><subfield code="0">(DE-588)4170407-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Röntgenspiegel</subfield><subfield code="0">(DE-588)4508329-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-012962398</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV019633357 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T20:01:47Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-012962398 |
| oclc_num | 249632621 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-355 DE-BY-UBR DE-188 |
| owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR DE-188 |
| physical | V, 115 S. Ill., graph. Darst. 21 cm |
| publishDate | 2003 |
| publishDateSearch | 2003 |
| publishDateSort | 2003 |
| record_format | marc |
| spelling | Westerwalbesloh, Thomas E. 1973- Verfasser (DE-588)128925647 aut Optimierung der Schichtstrukturen, Grenzflächen und Pufferschichten von Mo-Si-Multischichten in Hinsicht auf die EUV-Reflektivität vorgelegt von Thomas E. Westerwalbesloh 2003 V, 115 S. Ill., graph. Darst. 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Bielefeld, Univ., Diss., 2003 Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd rswk-swf Röntgenspiegel (DE-588)4508329-0 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Molybdän (DE-588)4170407-1 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Molybdän (DE-588)4170407-1 s Silicium (DE-588)4077445-4 s Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 s Röntgenspiegel (DE-588)4508329-0 s DE-604 |
| spellingShingle | Westerwalbesloh, Thomas E. 1973- Optimierung der Schichtstrukturen, Grenzflächen und Pufferschichten von Mo-Si-Multischichten in Hinsicht auf die EUV-Reflektivität Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd Röntgenspiegel (DE-588)4508329-0 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Molybdän (DE-588)4170407-1 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4244347-7 (DE-588)4508329-0 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4170407-1 (DE-588)4113937-9 |
| title | Optimierung der Schichtstrukturen, Grenzflächen und Pufferschichten von Mo-Si-Multischichten in Hinsicht auf die EUV-Reflektivität |
| title_auth | Optimierung der Schichtstrukturen, Grenzflächen und Pufferschichten von Mo-Si-Multischichten in Hinsicht auf die EUV-Reflektivität |
| title_exact_search | Optimierung der Schichtstrukturen, Grenzflächen und Pufferschichten von Mo-Si-Multischichten in Hinsicht auf die EUV-Reflektivität |
| title_full | Optimierung der Schichtstrukturen, Grenzflächen und Pufferschichten von Mo-Si-Multischichten in Hinsicht auf die EUV-Reflektivität vorgelegt von Thomas E. Westerwalbesloh |
| title_fullStr | Optimierung der Schichtstrukturen, Grenzflächen und Pufferschichten von Mo-Si-Multischichten in Hinsicht auf die EUV-Reflektivität vorgelegt von Thomas E. Westerwalbesloh |
| title_full_unstemmed | Optimierung der Schichtstrukturen, Grenzflächen und Pufferschichten von Mo-Si-Multischichten in Hinsicht auf die EUV-Reflektivität vorgelegt von Thomas E. Westerwalbesloh |
| title_short | Optimierung der Schichtstrukturen, Grenzflächen und Pufferschichten von Mo-Si-Multischichten in Hinsicht auf die EUV-Reflektivität |
| title_sort | optimierung der schichtstrukturen grenzflachen und pufferschichten von mo si multischichten in hinsicht auf die euv reflektivitat |
| topic | Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd Röntgenspiegel (DE-588)4508329-0 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Molybdän (DE-588)4170407-1 gnd |
| topic_facet | Mehrschichtsystem Röntgenspiegel Silicium Molybdän Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT westerwalbeslohthomase optimierungderschichtstrukturengrenzflachenundpufferschichtenvonmosimultischichteninhinsichtaufdieeuvreflektivitat |