Anregung und Auswertung von resonanten mikromechanischen Strukturen mit elektrostatischem Antrieb und kapazitivem Detektor in Mikrosystemen:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2004
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Elektrotechnik
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| Beschreibung: | XV, 176 S. Ill., graph. Darst. 24 cm, 294 gr. |
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