Siebdruck von elektrisch leitfähigen Keramiken zur Entwicklung heizbarer keramischer Mikrokomponenten:
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| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Forschungszentrum
2004
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6906 |
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| adam_text | FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE IN DER HELMHOLTZ-GEMEINSCHAFT
WISSENSCHAFTLICHE BERICHTE FZKA 6906 SIEBDRUCK VON ELEKTRISCH
LEITFAEHIGEN KERAMIKEN ZUR ENTWICKLUNG HEIZBARER KERAMISCHER
MIKROKOMPONENTEN STEFAN STOLZ INSTITUT FUER MATERIALFORSCHUNG VON DER
FAKULTAET FUER ANGEWANDTE WISSENSCHAFTEN DER ALBERT-LUDWIGS-UNIVERSITAET
FREIBURG IM BREISGAU GENEHMIGTE DISSERTATION HLUHB DARMSTADT
ILLILLLLLLLLILL KARLSRUHE GMBH, KARLSRUHE 15940131 2004 ALTSVERZEICHNIS
IHALTSVERZEICHNIS EINLEITUNG 1 GRUNDLAGEN 3 2.1 SIEBDRUCKVERFAHREN 3
2.1.1 PRINZIP 3 2.1.2 ANWENDUNGEN DER SIEBDRUCKTECHNIK 6 2.1.3 VERGLEICH
MIT ANDEREN VERFAHREN ZUR SCHICHTHERSTELLUNG IN DER MIKROTECHNIK 7 2.2
STRUKTUR UND RHEOLOGISCHES VERHALTEN VON KERAMISCHEN SUSPENSIONEN 8
2.2.1 ZUSTAND VON SUSPENSIONEN 8 2.2.2 RHEOLOGIE VON KERAMISCHEN
SUSPENSIONEN 10 2.2.2.1 VISKOSITAET 10 2.2.2.2 VISKOELASTIZITAET 11 2.2.3
ABHAENGIGKEIT DES RHEOLOGISCHEN VERHALTENS KERAMISCHER SUSPENSIONEN VOM
FESTSTOFFGEHALT UND VON DER KORNGROESSE 12 2.3 SIEBDRUCKPASTEN 15 2.3.1
ZUSAMMENSETZUNG VON SIEBDRUCKPASTEN 15 2.3.2 RHEOLOGIE VON
SIEBDRUCKPASTEN 15 2.4 MEHRPHASIG AUFGEBAUTE WERKSTOFFE 17 2.4.1
GRENZWERTGLEICHUNGEN 17 2.4.2 NETZWERKEFFEKTE 18 2.5 ELEKTRISCH
LEITFAEHIGE KERAMIKEN 20 2.5.1 MATERIALIEN UND LEITUNGSMECHANISMEN 21
2.5.2 BEISPIELE FUER ELEKTRISCH LEITFAEHIGE KERAMIKEN 23 2.5.2.1
ALUMINIUMOXID/TITANNITRID (AI 2 O3/TIN) 23 2.5.2.2
SILICIUMNITRID/TITANNITRID (SI 3 N/TIN) 24 2.5.2.3 INDIUM-ZINN-OXID
(ITO) 25 EXPERIMENTELLE DURCHFUEHRUNG 27 3.1 PASTENHERSTELLUNG FUER DEN
SIEBDRUCK 27 3.1.1 PULVERAUFBEREITUNG UND CHARAKTERISIERUNG 27 3.1.2
SIEBDRUCKPASTEN BASIEREND AUF KOMMERZIELLEN SIEBDRUCKMEDIEN 28 3.1.3
SIEBDRUCKPASTEN BASIEREND AUF SELBSTENTWICKELTEN SIEBDRUCKMEDIEN 29 3.2
SUBSTRATE 31 3.2.1 KOMMERZIELLE SUBSTRATE 31 3.2.2 SELBSTHERGESTELLTE
SUBSTRATE 32 3.2.2.1 SUBSTRATHERSTELLUNG DURCH TROCKENPRESSEN 32 3.2.2.2
SUBSTRATHERSTELLUNG DURCH FOLIENGIESSEN 32 3.3 SIEBE 33 3.4 SIEBDRUCK 33
3.5 TROCKNEN, SINTERN UND CHARAKTERISIERUNG DER SCHICHTEN 35 3.6
HEIZVERSUCHE UND SIMULATION DER THERMISCHEN SPANNUNGEN 37 3.7
MODELLIERUNG DER PERKOLATIONSSCHWELLE 39 3.8 ZUSAMMENFASSUNG DER ZUR
HERSTELLUNG UND CHARAKTERISIERUNG DER PROBEN VERWENDETEN GERAETE 41
ERGEBNISSE 43 4.1 ENTWICKLUNG VON ELEKTRISCH LEITFAEHIGEN KERAMISCHEN
SIEBDRUCKPASTEN 43 4.1.1 A^O/TIN-SIEBDRUCKPASTEN BASIEREND AUF
KOMMERZIELLEN SIEBDRUCKMEDIEN 43 4.1.2 AI 2 OJTIN-SIEBDRUCKPASTEN
BASIEREND AUF SELBSTENTWICKELTEN SIEBDRUCKMEDIEN. 46 4.1.2.1
POLYMERLOESUNGEN 46 4.1.2.2 DISPERGIERUNG KERAMISCHER PULVER IN TERPINEOL
UND BUTYLCARBITOLACETAT 48 4.1.2.3 WECHSELWIRKUNG VON AI 2 O 3
-DISPERSIONEN MIT DEN POLYMERLOESUNGEN 50 4.1.2.4 AI 2 O/TIN-PASTEN (25
VOL% TIN) BASIEREND AUF SELBSTENTWICKELTEN SIEBDRUCKMEDIEN 52 4.1.2.5
WECHSELWIRKUNG VERSCHIEDENER AI 2 O 3 -PULVER UND VON TIN-PULVER MIT
ETHYLCELLULOSE UND TERPINEOL 54 4.1.2.6 A^OS/TIN-PASTEN (25 VOL% TIN)
BASIEREND AUF ETHYLCELLULOSE UND TERPINEOL 56 4.1.2.7 AI 2
C 3/TIN-PASTEN MIT UNTERSCHIEDLICHEN TIN-GEHALTEN 60 4.1.3 SHNSTIN UND
ITO-PASTEN 61 4.2 EIGENSCHAFTEN DER GETROCKNETEN SCHICHTEN 62 4.2.1
EINFLUSS DER LINIENBREITE AUF DIE SCHICHTDICKE 62 4.2.2
LINIENVERBREITERUNG 63 4.2.3 SCHICHTTOPOGRAPHIE 64 4.2.4 GRUENDICHTEN 67
4.3 EIGENSCHAFTEN DER GESINTERTEN SCHICHTEN 68 4.3.1
PHASENZUSAMMENSETZUNG 69 4.3.1.1 ALZOA/TIN 69 4.3.1.2 SIANI/TIN 69
4.3.1.3 ITO 70 4.3.2 ELEKTRISCHE LEITFAEHIGKEIT UND GEFUEGE 71 4.3.2.1
AHOJTRIN-SCHICHTEN 71 4.3.2.2 SI 3 N/TIN-SCHICHTEN 77 4.3.2.3
ITO-SCHICHTEN 78 4.3.3 EINFLUSS DER SCHICHTDICKE AUF DIE
PERKOLATIONSSCHWELLE 79 4.3.4 TEMPERATURABHAENGIGKEIT DES ELEKTRISCHEN
WIDERSTANDS DER SCHICHTEN 82 4.3.5 THERMISCHE AUSDEHNUNG DER VERWENDETEN
MATERIALIEN 82 4.4 HERSTELLUNG ELEKTRISCH LEITFAEHIGER MIKROSTRUKTUREN
UND UNTERSUCHUNGEN ZUR BEHEIZBARKEIT 84 ALTSVERZEICHNIS 4.4.1
NADELHEIZELEMENT. 85 4.4.2 FLAECHENHEIZER 88 4.4.2.1
AHOSTTIN-HEIZELEMENTE 88 4.4.2.2 ITO-HEIZELEMENTE 91 4.4.3 MIKROREAKTOR:
INDUKTIVE BEHEIZUNG 92 DISKUSSION 95 5.1 ENTWICKLUNG KERAMISCHER
SIEBDRUCKPASTEN IM HINBLICK AUF DIE HERSTELLUNG MOEGLICHST DICHTER,
ELEKTRISCH LEITFAEHIGER SCHICHTEN 95 5.1.1 BEDEUTUNG DICHTER GEFUEGE FUER
ELEKTRISCH LEITFAEHIGE SCHICHTEN 95 5.1.2 DISPERGIERUNG DER KERAMISCHEN
PULVER 96 5.1.3 HERSTELLUNG DER SIEBDRUCKPASTEN DURCH POLYMERZUGABE 97
5.1.4 GRUENDICHTEN 98 5.1.5 VERDICHTUNG DER SCHICHTEN (SINTERN) 98 5.2
ENTWICKLUNG KERAMISCHER SIEBDRUCKPASTEN IM HINBLICK AUF EIN OPTIMALES
DRUCKVERHALTEN 101 5.2.1 KOMMERZIELLE SIEBDRUCKMEDIEN 101 5.2.2
SELBSTENTWICKELTE SIEBDRUCKMEDIEN 102 5.2.3 EINSTELLUNG DER OPTIMALEN
DRUCKEIGENSCHAFTEN DURCH VARIATION DES FESTSTOFF- UND DES POLYMERGEHALTS
AM BEISPIEL VON A^OJH IN PASTEN 104 5.2.4 ENTWICKLUNG VON AI 2
O^TIN-PASTEN MIT UNTERSCHIEDLICHEN TIN-GEHALTEN 105 5.3 DIE ELEKTRISCHEN
LEITFAEHIGKEITEN DER KERAMISCHEN SCHICHTEN 106 5.3.1 AI 2
OJ/TIN-SCHICHTEN 106 5.3.2 SIJNJTIN-SCHICHTEN 108 5.3.3 ITO-SCHICHTEN
108 5.4 HEIZVERHALTEN MIKROSTRUKTURIERTER, SIEBGEDRUCKTER
KERAMIKSCHICHTEN 109 5.4.1 VERGLEICH ZWISCHEN EIGENEN UND KOMMERZIELLEN
PASTEN ZUR HERSTELLUNG VON SIEBGEDRUCKTEN HEIZELEMENTEN 109 5.4.2
SUBSTRATE ZUR HERSTELLUNG DER KERAMISCHEN HEIZELEMENTE 109 5.4.3
TEMPERATURABHAENGIGKEIT DES ELEKTRISCHEN WIDERSTANDS DER SCHICHTEN 110
5.4.4 MECHANISCHE EIGENSCHAFTEN DER SCHICHTEN UND DER VERBUENDE,
INSBESONDERE THERMOSCHOCKBESTAENDIGKEIT 111 5.4.5 ANWENDUNG: BEHEIZUNG
KERAMISCHER MIKROREAKTOREN 113 6 ZUSAMMENFASSUNG 115 ANHANG 119 A
LITERATURVERZEICHNIS 119 B ABKUERZUNGSVERZEICHNIS 125
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