MEMS mechanical sensors:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Boston, MA Artech House 2004
Schriftenreihe:Artech House microelectromechanical systems series
Schlagworte:
Beschreibung:Includes bibliographical references and index
Beschreibung:X, 269 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:1580535364

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