Verfügbarkeit: Modellierung und Herstellung kapazitiver Mikrofone in BiCMOS-Technologie

Modellierung und Herstellung kapazitiver Mikrofone in BiCMOS-Technologie:

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Füldner, Marc (VerfasserIn)
Format:	Elektronisch E-Book
Sprache:	German
Veröffentlicht:	2004
Schlagworte:	Dünne Schicht Silicium Mikrofon Mikromechanik Siliciumbauelement SOI-Technik BICMOS Kapazitiver Sensor Hochschulschrift
Online-Zugang:	kostenfrei http://d-nb.info/972035214/34 kostenfrei
Beschreibung:	Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2004
Beschreibung:	1 Online-Ressource

Internformat

MARC


LEADER	00000nmm a2200000 c 4500
001	BV019351119
003	DE-604
005	20040916
006	a m\|\|\| 00\|\|\|
007	cr\|uuu---uuuuu
008	040730s2004 \|\|\|\| o\|\|u\| \|\|\|\|\|\|ger d
035			\|a (OCoLC)163142562
035			\|a (DE-599)BVBBV019351119
040			\|a DE-604 \|b ger \|e rakwb
041	0		\|a ger
049			\|a DE-384 \|a DE-473 \|a DE-703 \|a DE-1051 \|a DE-824 \|a DE-29 \|a DE-12 \|a DE-91 \|a DE-19 \|a DE-1049 \|a DE-92 \|a DE-739 \|a DE-898 \|a DE-355 \|a DE-861 \|a DE-20
084			\|a ZN 6810 \|0 (DE-625)157577: \|2 rvk
100	1		\|a Füldner, Marc \|e Verfasser \|4 aut
245	1	0	\|a Modellierung und Herstellung kapazitiver Mikrofone in BiCMOS-Technologie \|c von Marc Füldner
264		1	\|c 2004
300			\|a 1 Online-Ressource
336			\|b txt \|2 rdacontent
337			\|b c \|2 rdamedia
338			\|b cr \|2 rdacarrier
500			\|a Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2004
650	0	7	\|a Dünne Schicht \|0 (DE-588)4136925-7 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Silicium \|0 (DE-588)4077445-4 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Mikrofon \|0 (DE-588)4139330-2 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Mikromechanik \|0 (DE-588)4205811-9 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Siliciumbauelement \|0 (DE-588)4181368-6 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a SOI-Technik \|0 (DE-588)4128029-5 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a BICMOS \|0 (DE-588)4234781-6 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Kapazitiver Sensor \|0 (DE-588)4209035-0 \|2 gnd \|9 rswk-swf
655		7	\|0 (DE-588)4113937-9 \|a Hochschulschrift \|2 gnd-content
689	0	0	\|a Mikrofon \|0 (DE-588)4139330-2 \|D s
689	0	1	\|a Siliciumbauelement \|0 (DE-588)4181368-6 \|D s
689	0	2	\|a Mikromechanik \|0 (DE-588)4205811-9 \|D s
689	0	3	\|a Kapazitiver Sensor \|0 (DE-588)4209035-0 \|D s
689	0	4	\|a BICMOS \|0 (DE-588)4234781-6 \|D s
689	0	5	\|a SOI-Technik \|0 (DE-588)4128029-5 \|D s
689	0		\|5 DE-604
689	1	0	\|a Mikrofon \|0 (DE-588)4139330-2 \|D s
689	1	1	\|a Silicium \|0 (DE-588)4077445-4 \|D s
689	1	2	\|a Dünne Schicht \|0 (DE-588)4136925-7 \|D s
689	1	3	\|a BICMOS \|0 (DE-588)4234781-6 \|D s
689	1		\|8 1\p \|5 DE-604
856	4	0	\|u https://open.fau.de/handle/openfau/71 \|x Verlag \|z kostenfrei \|3 Volltext
856	4		\|u http://d-nb.info/972035214/34
856	4	0	\|u https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus-787 \|x Verlag \|z kostenfrei \|3 Volltext
912			\|a ebook
999			\|a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-012815192
883	1		\|8 1\p \|a cgwrk \|d 20201028 \|q DE-101 \|u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk

Datensatz im Suchindex

_version_	1804132780850806784
any_adam_object
author	Füldner, Marc
author_facet	Füldner, Marc
author_role	aut
author_sort	Füldner, Marc
author_variant	m f mf
building	Verbundindex
bvnumber	BV019351119
classification_rvk	ZN 6810
collection	ebook
ctrlnum	(OCoLC)163142562 (DE-599)BVBBV019351119
discipline	Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik
format	Electronic eBook
fullrecord	<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02388nmm a2200589 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV019351119</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20040916 </controlfield><controlfield tag="006">a m\|\|\| 00\|\|\| </controlfield><controlfield tag="007">cr\|uuu---uuuuu</controlfield><controlfield tag="008">040730s2004 \|\|\|\| o\|\|u\| \|\|\|\|\|\|ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)163142562</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV019351119</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-384</subfield><subfield code="a">DE-473</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-1051</subfield><subfield code="a">DE-824</subfield><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-19</subfield><subfield code="a">DE-1049</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-739</subfield><subfield code="a">DE-898</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-861</subfield><subfield code="a">DE-20</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 6810</subfield><subfield code="0">(DE-625)157577:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Füldner, Marc</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Modellierung und Herstellung kapazitiver Mikrofone in BiCMOS-Technologie</subfield><subfield code="c">von Marc Füldner</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2004</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1 Online-Ressource</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">c</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">cr</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2004</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrofon</subfield><subfield code="0">(DE-588)4139330-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumbauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4181368-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">SOI-Technik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4128029-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">BICMOS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4234781-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kapazitiver Sensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4209035-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mikrofon</subfield><subfield code="0">(DE-588)4139330-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Siliciumbauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4181368-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Kapazitiver Sensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4209035-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">BICMOS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4234781-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">SOI-Technik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4128029-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikrofon</subfield><subfield code="0">(DE-588)4139330-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">BICMOS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4234781-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">https://open.fau.de/handle/openfau/71</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2=" "><subfield code="u">http://d-nb.info/972035214/34</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus-787</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ebook</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-012815192</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection>
genre	(DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content
genre_facet	Hochschulschrift
id	DE-604.BV019351119
illustrated	Not Illustrated
indexdate	2024-07-09T19:58:16Z
institution	BVB
language	German
oai_aleph_id	oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-012815192
oclc_num	163142562
open_access_boolean	1
owner	DE-384 DE-473 DE-BY-UBG DE-703 DE-1051 DE-824 DE-29 DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-19 DE-BY-UBM DE-1049 DE-92 DE-739 DE-898 DE-BY-UBR DE-355 DE-BY-UBR DE-861 DE-20
owner_facet	DE-384 DE-473 DE-BY-UBG DE-703 DE-1051 DE-824 DE-29 DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-19 DE-BY-UBM DE-1049 DE-92 DE-739 DE-898 DE-BY-UBR DE-355 DE-BY-UBR DE-861 DE-20
physical	1 Online-Ressource
psigel	ebook
publishDate	2004
publishDateSearch	2004
publishDateSort	2004
record_format	marc
spelling	Füldner, Marc Verfasser aut Modellierung und Herstellung kapazitiver Mikrofone in BiCMOS-Technologie von Marc Füldner 2004 1 Online-Ressource txt rdacontent c rdamedia cr rdacarrier Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2004 Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Mikrofon (DE-588)4139330-2 gnd rswk-swf Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd rswk-swf Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 gnd rswk-swf SOI-Technik (DE-588)4128029-5 gnd rswk-swf BICMOS (DE-588)4234781-6 gnd rswk-swf Kapazitiver Sensor (DE-588)4209035-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Mikrofon (DE-588)4139330-2 s Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 s Mikromechanik (DE-588)4205811-9 s Kapazitiver Sensor (DE-588)4209035-0 s BICMOS (DE-588)4234781-6 s SOI-Technik (DE-588)4128029-5 s DE-604 Silicium (DE-588)4077445-4 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s 1\p DE-604 https://open.fau.de/handle/openfau/71 Verlag kostenfrei Volltext http://d-nb.info/972035214/34 https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus-787 Verlag kostenfrei Volltext 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk
spellingShingle	Füldner, Marc Modellierung und Herstellung kapazitiver Mikrofone in BiCMOS-Technologie Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Mikrofon (DE-588)4139330-2 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 gnd SOI-Technik (DE-588)4128029-5 gnd BICMOS (DE-588)4234781-6 gnd Kapazitiver Sensor (DE-588)4209035-0 gnd
subject_GND	(DE-588)4136925-7 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4139330-2 (DE-588)4205811-9 (DE-588)4181368-6 (DE-588)4128029-5 (DE-588)4234781-6 (DE-588)4209035-0 (DE-588)4113937-9
title	Modellierung und Herstellung kapazitiver Mikrofone in BiCMOS-Technologie
title_auth	Modellierung und Herstellung kapazitiver Mikrofone in BiCMOS-Technologie
title_exact_search	Modellierung und Herstellung kapazitiver Mikrofone in BiCMOS-Technologie
title_full	Modellierung und Herstellung kapazitiver Mikrofone in BiCMOS-Technologie von Marc Füldner
title_fullStr	Modellierung und Herstellung kapazitiver Mikrofone in BiCMOS-Technologie von Marc Füldner
title_full_unstemmed	Modellierung und Herstellung kapazitiver Mikrofone in BiCMOS-Technologie von Marc Füldner
title_short	Modellierung und Herstellung kapazitiver Mikrofone in BiCMOS-Technologie
title_sort	modellierung und herstellung kapazitiver mikrofone in bicmos technologie
topic	Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Mikrofon (DE-588)4139330-2 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 gnd SOI-Technik (DE-588)4128029-5 gnd BICMOS (DE-588)4234781-6 gnd Kapazitiver Sensor (DE-588)4209035-0 gnd
topic_facet	Dünne Schicht Silicium Mikrofon Mikromechanik Siliciumbauelement SOI-Technik BICMOS Kapazitiver Sensor Hochschulschrift
url	https://open.fau.de/handle/openfau/71 http://d-nb.info/972035214/34 https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus-787
work_keys_str_mv	AT fuldnermarc modellierungundherstellungkapazitivermikrofoneinbicmostechnologie

Verfügbarkeit

Es ist kein Print-Exemplar vorhanden.

Fernleihe Bestellen Achtung: Nicht im THWS-Bestand! Volltext öffnen

MARC

Datensatz im Suchindex

Es ist kein Print-Exemplar vorhanden.

Ähnliche Einträge