Halbleitermaterialien, Prozesstechnologie und Diagnostik:
Gespeichert in:
Format: | Tagungsbericht Buch |
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Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Freiberg
TU Bergakad.
2004
Freiberg Akad. Buchh. |
Ausgabe: | 1. Aufl. |
Schriftenreihe: | Freiberger Forschungshefte
B, Werkstofftechnologie ; 327 |
Schlagworte: | |
Beschreibung: | Beitr. teilw. dt., teilw. engl. - Literaturangaben |
Beschreibung: | 291 S. Ill., graph. Darst. |
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