The 16th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-16): Tokyo, Japan, 4 - 5 June, 2003
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Symposium on Plasma Science for Materials Tokio (VerfasserIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam u.a. Elsevier 2004
Schriftenreihe:Thin solid films 457,1
Schlagworte:
Beschreibung:Einzelaufn. eines Zeitschr.-H.
Beschreibung:VI, 240 S. Ill., graph. Darst.

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