Neue Perspektiven für die Molekularstrahlepitaxie durch Verwendung epitaktischer Schattenmasken:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Hilburger, Ulrich (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Erlangen Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung, Friedrich-Alexander-Univ. 2003
Schriftenreihe:Physik mikrostrukturierter Halbleiter 31
Schlagworte:
Beschreibung:Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2003
Beschreibung:185 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:3932392442

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