Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Karlsruhe
Forschungszentrum Karlsruhe
2003
|
| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe Technik und Umwelt
6901 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2003 |
| Physical Description: | 173 S. Ill., graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV017780614 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 040115s2003 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 970139438 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)76686913 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV017780614 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-12 | ||
| 100 | 1 | |a Schulz, Michael |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie |c M. Schulz |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Karlsruhe |b Forschungszentrum Karlsruhe |c 2003 | |
| 300 | |a 173 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe Technik und Umwelt |v 6901 | |
| 500 | |a Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2003 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Rapid Prototyping |g Fertigung |0 (DE-588)4389159-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ausgangsmaterial |0 (DE-588)4143518-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumorganische Verbindungen |0 (DE-588)4077449-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Nichtoxidkeramik |0 (DE-588)4297838-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Pyrolyse |0 (DE-588)4047925-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Lithografie |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4191584-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Siliciumorganische Verbindungen |0 (DE-588)4077449-1 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Lithografie |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4191584-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Ausgangsmaterial |0 (DE-588)4143518-7 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Pyrolyse |0 (DE-588)4047925-0 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Nichtoxidkeramik |0 (DE-588)4297838-5 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Rapid Prototyping |g Fertigung |0 (DE-588)4389159-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a Forschungszentrum Karlsruhe Technik und Umwelt |t Wissenschaftliche Berichte |v 6901 |w (DE-604)BV010181833 |9 6901 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010677032&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-010677032 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1807682858215538688 |
|---|---|
| adam_text |
KAPITELUEBERSICHT
KURZFASSUNG
.
1
ABSTRACT
.
2
KAPITELUEBERSICHT
.
3
1
EINLEITUNG
.
7
2
MOTIVATION
UND
ZIELSETZUNG
.
9
3
GRUNDLAGEN
.
11
3.1
W
AS
IST
M
IKROSYSTEMTECHNIK
.
11
3.2
D
AS
LIGA
V
ERFAHREN
.
11
3.3
D
ER
MIKROLITHOGRAPHIEPROZESS
.
13
3.3.1
FUNKTIONSPRINZIP
.
13
3.3.2
BELICHTUNGSEINHEIT
.
14
3.3.3
FOTORESIST
.
16
3.3.4
BESCHICHTUNGSVERFAHREN
.
20
3.3.5
OPTISCHE
SYSTEME
UND
BELICHTUNGSMOEGLICHKEITEN
.
23
3.3.6
UV-LITHOGRAPHIE
.28
3.3.
7
ROENTGENTIEFENLITHOGRAPHIE
MIT
SYNCHROTRON-STRAHLUNG
.
28
3.3.8
ENTWICKLUNG
DER
STRUKTUREN
.
.7
.
32
3.4
P
RAEKERAMISCHE
P
OLYMERE
.
33
3.5
POLY(ORGANOSILANE)
UND
POLY(CARBOSILANE)
.
*
.
34
3.6
POLY(ORGANOSILOXANE)
UND
POLY(ORGANOSILAZANE)
.
37
3.7
VOM
KERAMISCHEN
PRECURSOR
ZUR
SL-C-N
KERAMIK
.
40
4
EXPERIMENTELLES
.
47
4.1
EINGESETZTE
MATERIALIEN
.
47
4.1.1
CERASET
.47
4.1.2
KIONVL-20
.
'.
.
52
4.1.3
KIONVS-20
.
53
4.1.4
NCP-200
.
'.
.
54
4.1.5
ABSE
.
55
4.1.6
ABSE-D
.
56
4.2
E
INGESETZTE
G
ERAETE
UND
EXPERIMENTELLE
V
ERFAHREN
.
57
4.2.1
VISKOSIMETRIE.
57
4.2.2
UV-REAKTOR-SYSTEM
.
58
4.2.3
SCHICHTHERSTELLUNG.
59
MICHAEL
SCHULZ
KAPITELUEBERSICHT
4.2.4
SCHICHTDICKENBESTIMMUNG
.
61
4.2.5
UV-SPEKTROSKOPIE
.
63
4.2.6
DIFFERENTIELLE
THERMOANALYSE
.
65
4.2.7
THERMOGRAVIMETRISCHE
ANALYSE.
66
4.2.8
FOURIERTRANSFORMATIONS-INFRAROTSPEKTROSKOPIE
.67
4.2.9
UV-BELICHTUNG
MITTELS
UV-LAMPE
.
69
4.2.10
ROENTGENTIEFENLITHOGRAPHIE
.
72
4.2.11
LICHTMIKROSKOPISCHE
AUFNAHMEN
.
77
5
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
.
79
5.1
VERFAHRENSBESCHREIBUNG
.
79
5.2
F
LIEBEIGENSCHAFTEN
UND
V
ERNETZUNGSVERHALTEN
.
80
5.3
UV-A
BSORPTIONSVERHALTEN
UND
-S
TRUKTURIERBARKEIT
.
.
93
5.4
R
OENTGENTIEFENLITHOGRAPHIE
UND
K
ONTRASTBESTIMMUNG
.
97
5.5
E
NTWICKLUNGSVERHALTEN
.
102
5.6
V
ERHALTEN
BEI
DER
P
YROLYSE
.
110
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
119
7
ANHANG.
.
125
7.1
F
LIESSEIGENSCHAFTEN
.
125
7.1.1
NICHTNEWTONSCHE
FLUESSIGKEITEN
.
125
7.1.2
RHEOLOGIE
VON
SUSPENSIONEN
.
126
7.2
RTL
-
DOSISBERECHNUNG
.
127
7.3
B
ILDER
.
132
7.4
FTIR-TGA-KOPPLUNGSEXPERIMENTE
.
133
7.5
UV-ABSORPTIONSSPEKTREN
.
138
7.6
DSC-MESSUNGEN
.
142
7.7
A
UFKLAERUNG
DES
P
YROLYSE
-
UND
S
INTERVERHALTENS
VON
C
ERASET
.
145
7.7.1
FT-IR
.
145
7.7.2
TGA-MS
.
146
7.7.3
NMR
.
147
7.7.4
XRD
.
148
7.8
UV-R
EAKTOR
-S
YSTEM
.
150
7.9
D
ATENBLAETTER
.
151
7.10
G
LEICHUNGEN
.
157
7.11
T
ABELLEN
.
158
7.12
A
BBILDUNGSVERZEICHNIS
.
159
4
MICHAEL
SCHULZ
KAPITELUEBERSICHT
ABKUERZUNGSINDEX
.
164
SCHLAGWORTREGISTER
.
167
VEROEFFENTLICHUNGEN
.
168
LITERATURVERZEICHNIS
.
169
5 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Schulz, Michael |
| author_facet | Schulz, Michael |
| author_role | aut |
| author_sort | Schulz, Michael |
| author_variant | m s ms |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV017780614 |
| ctrlnum | (OCoLC)76686913 (DE-599)BVBBV017780614 |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV017780614</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">040115s2003 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">970139438</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76686913</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV017780614</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schulz, Michael</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie</subfield><subfield code="c">M. Schulz</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Karlsruhe</subfield><subfield code="b">Forschungszentrum Karlsruhe</subfield><subfield code="c">2003</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">173 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe Technik und Umwelt</subfield><subfield code="v">6901</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2003</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Rapid Prototyping</subfield><subfield code="g">Fertigung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4389159-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ausgangsmaterial</subfield><subfield code="0">(DE-588)4143518-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumorganische Verbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077449-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Nichtoxidkeramik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4297838-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Pyrolyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4047925-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Lithografie</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191584-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Siliciumorganische Verbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077449-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Lithografie</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191584-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Ausgangsmaterial</subfield><subfield code="0">(DE-588)4143518-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Pyrolyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4047925-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Nichtoxidkeramik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4297838-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Rapid Prototyping</subfield><subfield code="g">Fertigung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4389159-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Forschungszentrum Karlsruhe Technik und Umwelt</subfield><subfield code="t">Wissenschaftliche Berichte</subfield><subfield code="v">6901</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV010181833</subfield><subfield code="9">6901</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010677032&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-010677032</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV017780614 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-18T00:25:11Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-010677032 |
| oclc_num | 76686913 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 |
| owner_facet | DE-12 |
| physical | 173 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2003 |
| publishDateSearch | 2003 |
| publishDateSort | 2003 |
| publisher | Forschungszentrum Karlsruhe |
| record_format | marc |
| series2 | Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe Technik und Umwelt |
| spelling | Schulz, Michael Verfasser aut Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie M. Schulz Als Ms. gedr. Karlsruhe Forschungszentrum Karlsruhe 2003 173 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe Technik und Umwelt 6901 Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2003 Rapid Prototyping Fertigung (DE-588)4389159-7 gnd rswk-swf Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 gnd rswk-swf Siliciumorganische Verbindungen (DE-588)4077449-1 gnd rswk-swf Nichtoxidkeramik (DE-588)4297838-5 gnd rswk-swf Pyrolyse (DE-588)4047925-0 gnd rswk-swf Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Siliciumorganische Verbindungen (DE-588)4077449-1 s Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 s Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 s Pyrolyse (DE-588)4047925-0 s Nichtoxidkeramik (DE-588)4297838-5 s Rapid Prototyping Fertigung (DE-588)4389159-7 s DE-604 Forschungszentrum Karlsruhe Technik und Umwelt Wissenschaftliche Berichte 6901 (DE-604)BV010181833 6901 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010677032&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Schulz, Michael Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie Rapid Prototyping Fertigung (DE-588)4389159-7 gnd Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 gnd Siliciumorganische Verbindungen (DE-588)4077449-1 gnd Nichtoxidkeramik (DE-588)4297838-5 gnd Pyrolyse (DE-588)4047925-0 gnd Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4389159-7 (DE-588)4143518-7 (DE-588)4077449-1 (DE-588)4297838-5 (DE-588)4047925-0 (DE-588)4191584-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie |
| title_auth | Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie |
| title_exact_search | Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie |
| title_full | Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie M. Schulz |
| title_fullStr | Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie M. Schulz |
| title_full_unstemmed | Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie M. Schulz |
| title_short | Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie |
| title_sort | mikrostrukturierung prakeramischer polymere mit hilfe der uv und rontgentiefenlithographie |
| topic | Rapid Prototyping Fertigung (DE-588)4389159-7 gnd Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 gnd Siliciumorganische Verbindungen (DE-588)4077449-1 gnd Nichtoxidkeramik (DE-588)4297838-5 gnd Pyrolyse (DE-588)4047925-0 gnd Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 gnd |
| topic_facet | Rapid Prototyping Fertigung Ausgangsmaterial Siliciumorganische Verbindungen Nichtoxidkeramik Pyrolyse Lithografie Halbleitertechnologie Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010677032&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV010181833 |
| work_keys_str_mv | AT schulzmichael mikrostrukturierungprakeramischerpolymeremithilfederuvundrontgentiefenlithographie |