Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Forschungszentrum Karlsruhe
2003
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe Technik und Umwelt
6901 |
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KAPITELUEBERSICHT
KURZFASSUNG
.
1
ABSTRACT
.
2
KAPITELUEBERSICHT
.
3
1
EINLEITUNG
.
7
2
MOTIVATION
UND
ZIELSETZUNG
.
9
3
GRUNDLAGEN
.
11
3.1
W
AS
IST
M
IKROSYSTEMTECHNIK
.
11
3.2
D
AS
LIGA
V
ERFAHREN
.
11
3.3
D
ER
MIKROLITHOGRAPHIEPROZESS
.
13
3.3.1
FUNKTIONSPRINZIP
.
13
3.3.2
BELICHTUNGSEINHEIT
.
14
3.3.3
FOTORESIST
.
16
3.3.4
BESCHICHTUNGSVERFAHREN
.
20
3.3.5
OPTISCHE
SYSTEME
UND
BELICHTUNGSMOEGLICHKEITEN
.
23
3.3.6
UV-LITHOGRAPHIE
.28
3.3.
7
ROENTGENTIEFENLITHOGRAPHIE
MIT
SYNCHROTRON-STRAHLUNG
.
28
3.3.8
ENTWICKLUNG
DER
STRUKTUREN
.
.7
.
32
3.4
P
RAEKERAMISCHE
P
OLYMERE
.
33
3.5
POLY(ORGANOSILANE)
UND
POLY(CARBOSILANE)
.
*
.
34
3.6
POLY(ORGANOSILOXANE)
UND
POLY(ORGANOSILAZANE)
.
37
3.7
VOM
KERAMISCHEN
PRECURSOR
ZUR
SL-C-N
KERAMIK
.
40
4
EXPERIMENTELLES
.
47
4.1
EINGESETZTE
MATERIALIEN
.
47
4.1.1
CERASET
.47
4.1.2
KIONVL-20
.
'.
.
52
4.1.3
KIONVS-20
.
53
4.1.4
NCP-200
.
'.
.
54
4.1.5
ABSE
.
55
4.1.6
ABSE-D
.
56
4.2
E
INGESETZTE
G
ERAETE
UND
EXPERIMENTELLE
V
ERFAHREN
.
57
4.2.1
VISKOSIMETRIE.
57
4.2.2
UV-REAKTOR-SYSTEM
.
58
4.2.3
SCHICHTHERSTELLUNG.
59
MICHAEL
SCHULZ
KAPITELUEBERSICHT
4.2.4
SCHICHTDICKENBESTIMMUNG
.
61
4.2.5
UV-SPEKTROSKOPIE
.
63
4.2.6
DIFFERENTIELLE
THERMOANALYSE
.
65
4.2.7
THERMOGRAVIMETRISCHE
ANALYSE.
66
4.2.8
FOURIERTRANSFORMATIONS-INFRAROTSPEKTROSKOPIE
.67
4.2.9
UV-BELICHTUNG
MITTELS
UV-LAMPE
.
69
4.2.10
ROENTGENTIEFENLITHOGRAPHIE
.
72
4.2.11
LICHTMIKROSKOPISCHE
AUFNAHMEN
.
77
5
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
.
79
5.1
VERFAHRENSBESCHREIBUNG
.
79
5.2
F
LIEBEIGENSCHAFTEN
UND
V
ERNETZUNGSVERHALTEN
.
80
5.3
UV-A
BSORPTIONSVERHALTEN
UND
-S
TRUKTURIERBARKEIT
.
.
93
5.4
R
OENTGENTIEFENLITHOGRAPHIE
UND
K
ONTRASTBESTIMMUNG
.
97
5.5
E
NTWICKLUNGSVERHALTEN
.
102
5.6
V
ERHALTEN
BEI
DER
P
YROLYSE
.
110
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
119
7
ANHANG.
.
125
7.1
F
LIESSEIGENSCHAFTEN
.
125
7.1.1
NICHTNEWTONSCHE
FLUESSIGKEITEN
.
125
7.1.2
RHEOLOGIE
VON
SUSPENSIONEN
.
126
7.2
RTL
-
DOSISBERECHNUNG
.
127
7.3
B
ILDER
.
132
7.4
FTIR-TGA-KOPPLUNGSEXPERIMENTE
.
133
7.5
UV-ABSORPTIONSSPEKTREN
.
138
7.6
DSC-MESSUNGEN
.
142
7.7
A
UFKLAERUNG
DES
P
YROLYSE
-
UND
S
INTERVERHALTENS
VON
C
ERASET
.
145
7.7.1
FT-IR
.
145
7.7.2
TGA-MS
.
146
7.7.3
NMR
.
147
7.7.4
XRD
.
148
7.8
UV-R
EAKTOR
-S
YSTEM
.
150
7.9
D
ATENBLAETTER
.
151
7.10
G
LEICHUNGEN
.
157
7.11
T
ABELLEN
.
158
7.12
A
BBILDUNGSVERZEICHNIS
.
159
4
MICHAEL
SCHULZ
KAPITELUEBERSICHT
ABKUERZUNGSINDEX
.
164
SCHLAGWORTREGISTER
.
167
VEROEFFENTLICHUNGEN
.
168
LITERATURVERZEICHNIS
.
169
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