(2003). Mikrosystemtechnik: Mikromechanik & Mikroelektronik ; Chemnitz '03. Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Mikrosystemtechnik: Mikromechanik & Mikroelektronik ; Chemnitz '03. Chemnitz: Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik, 2003.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Mikrosystemtechnik: Mikromechanik & Mikroelektronik ; Chemnitz '03. Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik, 2003.
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