RTP-Siliziumoxide und -Siliziumoxinitride für planare und vertikale Feld-Effekt-Transistoren:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Stadler, Andreas (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: 2002
Schlagworte:
Beschreibung:195 S. Ill., graph. Darst.

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