APA (7th ed.) Citation

Wagemann, H., & Schönauer, T. (2003). Silizium-Planartechnologie: Grundprozesse, Physik und Bauelemente (1. Aufl.). Teubner.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Wagemann, Hans-Günther, and Tim Schönauer. Silizium-Planartechnologie: Grundprozesse, Physik Und Bauelemente. 1. Aufl. Stuttgart [u.a.]: Teubner, 2003.

MLA (9th ed.) Citation

Wagemann, Hans-Günther, and Tim Schönauer. Silizium-Planartechnologie: Grundprozesse, Physik Und Bauelemente. 1. Aufl. Teubner, 2003.