Fehllicht in LIGA-Mikrospektrometern:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German English |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
FZKA
2003
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe Technik und Umwelt
6885 |
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. A. Last, 2002 |
| Beschreibung: | II, 115 S. Ill., graph. Darst. : 30 cm |
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INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
I
1.
EINLEITUNG
1
2.
LIGA-VERFAHREN
3
3.
FUNKTION
DER
MIKROSPEKTROMETER
6
3.1
EINFUEHRUNG
.
6
3.2
LICHTEINKOPPLUNG
UEBER
LICHTLEITER
.
7
3.3
EINTRITTSSPALT
.
8
3.4
WELLENLEITER
.
10
3.5
GITTER
.
12
3.6
AUSKOPPELSPIEGEL
.
15
3.7
DETEKTOR
.
15
4.
THEORETISCHE
BESCHREIBUNG
DES
FEHLLICHTS
17
4.1
DEFINITION
UND
MESSGROESSE
DES
FEHLLICHTS
.
17
4.2
MOEGLICHE
ENTSTEHUNGSORTE
UND
-ARTEN
VON
FEHLLICHT
.
20
4.3
FOURIEROPTISCHE
BESCHREIBUNG
DER
SPEKTROMETER
.
21
4.3.1
EINZELSPALT
.
21
4.3.2
DOPPELSPALT
.
23
4.3.3
IDEALES
GITTER
.
25
4.3.4
ZWEIDIMENSIONALE
DURCHLASSFUNKTIONEN
.
28
4.4
THEORETISCHE
BESCHREIBUNG
VON
GITTERFEHLERN
.
29
4.4.1
ABBILDUNGSFEHLER
DES
KONKAVGITTERS
.
29
4.4.2
MODENVERBREITERUNG
.
29
4.4.3
GITTERGEISTER
.
31
4.4.4
GRAS
.
35
4.4.5
SATELLITEN
.
35
4.4.6
STREULICHT
.
35
4.4.7
OBERFLAECHENPLASMONEN
.
36
4.4.8
UEBERSICHT
UEBER
DIE
GITTERFEHLER
.
37
5.
MESS
UND
UNTERSUCHUNGSMETHODEN
41
5.1
SPEKTREN
BEI
MONOCHROMATISCHER
EINSTRAHLUNG
.
41
5.2
RASTERKRAFTMIKROSKOP
.
42
5.3
RASTERELEKTRONENMIKROSKOP
.
43
5.4
MESSUNGEN
AM
ELEKTRONENSTRAHLSCHREIBER
.
43
5.5
FOTOGRAFISCHE
CHARAKTERISIERUNG
.
44
5.5.1
LANGZEITAUFHAHMEN
VON
FOLIENWELLENLEITEM
.
45
5.5.2
STRAHLENGANG
BEI
HOHLWELLENLEITEM
.
45
5.5.3
SEITENWAENDE
IN
REFLEXION
.
47
5.5.4
DAS
GITTER
IM
LICHT
DER
SCHWANENHALSLAMPE
.
47
5.5.5
DAS
GITTER
DURCH
EINE
APERTUR
.
48
5.5.6
GEKRUEMMTER
FILM
IN
DER
FOKUSEBENE
.49
5.5.7
FEHLLICHTUNTERGRUND
IM
SPEKTRUM
.
50
5.5.8
BEUGUNGSBILDER
BEI
LASERBELEUCHTUNG
.
51
6.
ANALYSE
DER
URSACHEN
FUER
FEHLLICHT
52
6.1
ALLGEMEINE
AUSSAGEN
UND
STATISTISCHE
DATEN
.
52
6.2
EINTRITTSSPALT
.
53
6.3
HILFSSTRUKTUREN
.
55
6.3.1
HILFSSTRUKTUREN
VON
FOLIEN
UND
WELLENLEITERSPEKTROMETEM
.
55
6.3.2
RASTERKRAFTMIKROSKOPISCHE
UEBERPRUEFUNG
DER
SEITENWANDFORM
.
58
6.3.3
RAUIGKEIT
DER
SEITENWAND
.
59
6.3.4
BEUGUNG
AN
SEITENWAENDEN
.
60
6.4
WELLENLEITER
.
61
6.4.1
RAUIGKEIT
DER
WELLENLEITEROBERFLAECHEN
.
61
6.4.2
FUEHRUNG
VON
STREULICHT
IM
WELLENLEITER
.
64
6.4.3
DELLEN
IM
ABGEFORMTEN
WELLENLEITER
.
64
6.5
AUSKOPPELSPIEGEL
.
67
6.5.1
DEFEKTE
DES
AUSKOPPELSPIEGELS
.
67
6.5.2
UEBERSTRAHLUNG
DES
AUSKOPPELSPIEGELS
.
69
6.5.3
RUECKREFLEXION
UEBER
DEN
AUSKOPPELSPIEGEL
.
69
6.6
GITTER
.
76
6.6.1
WELLENLAENGENABHAENGIGKEIT
DES
FEHLLICHTS
.
76
6.6.2
HINWEIS
AUF
PERIODISCHE
GITTERFEHLER
AUS
EINLINIENSPEKTREN
.
76
6.6.3
RASTERKRAFTMIKROSKOPISCHE
GITTERFORMBESTIMMUNG
.
77
6.6.4
ELEKTRONENMIKROSKOPISCHE
GITTERFORMBESTIMMUNG
.
81
6.6.5
FOTOGRAFISCHE
AUFNAHMEN
ZU
DEN
FEHLLICHTEIGENSCHAFTEN
.
84
7.
EINIGE
MASSNAHMEN
ZUR
FEHLLICHTUNTERDRUECKUNG
90
7.1
KONSTRUKTIVE
MASSNAHMEN
ZUR
FEHLLICHTUNTERDRUECKUNG
.
90
7.1.1
SCHWAERZEN
DER
MANTELSCHICHT
DES
FOLIENWELLENLEITERS
.
90
7.1.2
GEOMETRISCH
OPTIMIERTE
VERSPIEGELUNG
VON
GITTER
UND
AUSKOPPELKANTE
BEIM
FOLIENWELLENLEITER
.
91
7.2
SOFTWAREALGORITHMUS
ZUR
FEHLLICHTUNTERDRUECKUNG
.
93
8.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
98
9.
ANHANG
A:
BELICHTUNG
DES
ZWISCHENMASKENRESISTS
103
10.
ANHANG
B:
SIMULATIONSERGEBNISSE
ZUR
WIRKUNG
VON
GITTERFEHLERN
106
11.
LITERATURVERZEICHNIS
110
12.
VARIABLEN
UND
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
113
II |
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