Templatinduzierte Erzeugung und Charakterisierung dünner ZnO- und TiO 2 -Schichten:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Stuttgart
Max-Planck-Inst. für Metallforschung
2003
|
| Series: | Bericht / Max-Planck-Institut für Metallforschung
Nr. 130 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | 147 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV017515304 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20031014 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 030916s2003 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 968604781 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)53426410 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV017515304 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-188 | ||
| 100 | 1 | |a Fuchs, Tobias Michael |d 1973- |e Verfasser |0 (DE-588)124925588 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Templatinduzierte Erzeugung und Charakterisierung dünner ZnO- und TiO 2 -Schichten |c vorgelegt von Tobias Michael Fuchs. Universität Stuttgart ... |
| 264 | 1 | |a Stuttgart |b Max-Planck-Inst. für Metallforschung |c 2003 | |
| 300 | |a 147 S. |b Ill., graph. Darst. : 21 cm | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Bericht / Max-Planck-Institut für Metallforschung |v Nr. 130 | |
| 502 | |a Stuttgart, Univ., Diss., 2003 | ||
| 650 | 7 | |a Dünne Schicht |2 swd | |
| 650 | 7 | |a Dünnschichttechnik |2 swd | |
| 650 | 7 | |a Titandioxid |2 swd | |
| 650 | 7 | |a Zinkoxid |2 swd | |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Titandioxid |0 (DE-588)4185549-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünnschichttechnik |0 (DE-588)4136339-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Zinkoxid |0 (DE-588)4190864-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Zinkoxid |0 (DE-588)4190864-8 |D s |
| 689 | 0 | |8 1\p |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Dünnschichttechnik |0 (DE-588)4136339-5 |D s |
| 689 | 1 | |8 2\p |5 DE-604 | |
| 689 | 2 | 0 | |a Titandioxid |0 (DE-588)4185549-8 |D s |
| 689 | 2 | |8 3\p |5 DE-604 | |
| 689 | 3 | 0 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 3 | |8 4\p |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a Max-Planck-Institut für Metallforschung |t Bericht |v Nr. 130 |w (DE-604)BV010796017 |9 130 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010548068&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
| 883 | 1 | |8 2\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
| 883 | 1 | |8 3\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
| 883 | 1 | |8 4\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-010548068 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1826204794042187776 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
1.
ZUSAMMENFASSUNG
.
.1
2.
EINLEITUNG
.
3
3.
LITERATURIIBERSICHT
.
.4
3.1
HERSTELLUNG
DUENNER
SCHICHTEN
AUS
WAESSRIGEN
LOESUNGEN
.
4
3.1.1
CBD-VERFAHREN
.
4
3.1.2
ED-VERFAHREN
.
6
3.1.2
LPD-VERFAHREN
.
7
3.1.4
SILAR-VERFAHREN
.
7
3.1.5
FP-VERFAHREN
.
7
3.2
ORGANISCHE
SUBSTRATMODIFIKATIONEN
.
.9
3.3
WACHSTUM
VON
PARTIKELN
ANORGANISCHER
VERBINDUNGEN
IN
GEGENWART
VON
ADDITIVEN
.
13
3.4
SCHICHTBILDUNGSMODELLE
.
17
3.5
ABSCHEIDUNGSVERHALTEN
BEI
UNTERSCHIEDLICHEN
TEMPERATUREN
.
20
3.5.1
LOESLICHKEITS-ZAUSFAELLUNGSBEREICHE
FUER
ZNO
.
20
3.5.2
LOESLICHKEITS-Z
AUSFAELLUNGSBEREICHE
FUER
TIOI
.
21
3.6
DLVO-THEORIE
.
22
3.6.1
ALLGEMEINES
.
22
3.6.2
VAN-DER-WAALS-WECHSELWIRKUNG
.
23
3.6.3
ELEKTROSTATISCHE
ODER
DOPPELSCHICHTWECHSELWIRKUNG
.
24
3.6.4
HYDRATATIONSWECHSELWIRKUNG
.
25
3.6.5
EINFLUSS
VON
POLYMEREN
.
26
INHALTSVERZEICHNIS
4.
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
.
-
.-------
27
4.1
MESSMETHODEN
.
.27
4.1.1
LICHTMIKROSKOPIE
.
27
4.1.2
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
(REM)
.
27
4.1.3
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE
(AFM)
.
27
4.1.4
X-RAY
PHOTOELECTRON
SPECTROSCOPY
(XPS),
ELECTRON
SPECTROSCOPY
FOR
CHEMICAL
ANALYSIS
(ESCA)
.
28
4.1.5
ELLIPSOMETIE
.
28
4.1.6
ROENTGENBEUGUNG
(XRD)ZROENTGENBEUGUNG
UNTER
STREIFENDEM
EINFALL
(GRACING-INCIDENCE-XRD)
.
29
4.1.7
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
(TEM)
.
29
4.1.8
KONTAKTWINKELMESSUNG
.
31
4.1.9
BESTIMMUNG
DER
TEILCHENGROESSE
.
32
4.1.10
ZETA-POTENZIALBESTIMMUNG
.
32
4.1.11
AUSLAGERUNGEN
.
32
4.2
EXPERIMENTELLES
.
33
4.2.1
ALLGEMEINES
.
33
4.2.2
AKTIVIERUNG
DER
SI-WAFER
MIT
EINER
LOESUNG
AUS
H2O2/H2SQ4
.
33
4.2.3
SYNTHESE
DER
SAMS
.
33
4.2.4
HERSTELLUNG
DER
SULFONAT-TERMMIERTEN
SAMS
AUF
SI-WAFEM
.
34
4.2.5
HERSTELLUNG
DER
MERCAPTO-TERMINIERTEN
SAMS
AUF
SI-WAFEM
.
34
4.3
STATISCHE
ABSCHEIDUNG
.
35
4.4
LFD-VERFAHREN
_
35
4.5
HERSTELLUNG
DER
ZNO-ABSCHEIDELOESUNGEN
.36
4.6
HERSTELLUNG
DER
TIOJ-ABSCHEIDELOESUNGEN
.
.36
INHALTSVERZEICHNIS
5.
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
.37
5.1
ZNO-ABSCHEIDUNGEN
.
37
5.1.1
ABSCHEIDUNGEN
AUS
20
MM
[ZN]-LOESUNGEN
.
37
5.1.2
ABSCHEIDUNGEN
AUS
LOESUNGEN
DES
TYPS
20
MM
[ZN]/HMTA
.
42
5.1.3
ABSCHEIDUNGEN
AUS
20
MM
[ZN]-LOESUNGEN
MIT
COPOLYMER
ZUSAETZEN
.
44
5.1.4
ABSCHEIDUNGEN
AUS
40
MM
[ZN]-LOESUNGEN
MIT
COPOLYMER
ZUSAETZEN
.
54
5.1.5
CYKLISCHE
ABSCHEIDUNGEN
AUS
100
MM
[ZN]-LOESUNGEN
MIT
ZUSAETZEN
VON
HMTA
UND
COPOLYMER
.
60
5.1.6
AUSLAGERUNGSVERSUCHE
.
78
5.1.7
DLVO-BERECHNUNGEN
FUER
ZNO-SCHICHTEN
.
85
5.1.7.1
ALLGEMEINES
.
85
5.1.7.2
DURCHFUEHRUNG
DER
BERECHNUNGEN
.
85
5.1.7.3
ERGEBNISSE
DER
BERECHUNGEN
.
87
5.2
TIOZ-ABSCHEIDUNGEN
.
.92
5.2.1
XPS-UNTERSUCHUNGEN
AN
TIOJ-SCHICHTEN
.
93
5.2.2
TEM-UNTERSUCHUNGEN
.
97
5.2.3
REM-UNTERSUCHUNGEN
.
102
5.2.4
AFM-UNTERSUCHUNGEN
.
105
5.2.5
ROENTGENBEUGUNG
UNTER
STREIFENDEM
EINFALL
.
107
6.
ABSTRACT.110
INHALTSVERZEICHNIS
7.
ANHANG
.
117
7.1
STRUKTURDATEN
UND
EIGENSCHAFTEN
VON
ZNO
UND
TIOI
.
117
7.1.1
ZINKOXID
(ZNO)
.
117
7.1.2
TITANDIOXID
(TIOJ)
.
119
7.2
ERGEBNISTABELLEN
.
120
7.2.1:
ERGEBNISTABELLEN
DER
VERSCHIEDENEN
UNTERSUCHUNGEN
AN
ZNO-SCHICHTABSCHEIDUNGEN
.
120
7.2.2:
ERGEBNISSTABELLEN
DER
VERSCHIEDENEN
UNTERSUCHUNGEN
DER
TIOZ-SCHICHTABSCHEIDUNGEN
.
128
7.3
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
.
129
7.4
TABELLENVERZEICHNIS
.
134
7.5
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
.
135
7.6
VERZEICHNIS
DER
VERWENDETEN
SUBSTANZEN
UND
GERAETE
.
137
7.7
VERZEICHNIS
DER
VERWENDETEN
WERTE
UND
KONSTANTEN
ZU
DEN
DLVO
BERECHNUNGEN
UND
DEN
EILIPSOMETERMESSUNGEN
.
138
8.
LITERATURVERZEICHNIS
.
140
9.
DANKSAGUNG
.
146
10.
LEBENSLAUF.
.147 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Fuchs, Tobias Michael 1973- |
| author_GND | (DE-588)124925588 |
| author_facet | Fuchs, Tobias Michael 1973- |
| author_role | aut |
| author_sort | Fuchs, Tobias Michael 1973- |
| author_variant | t m f tm tmf |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV017515304 |
| ctrlnum | (OCoLC)53426410 (DE-599)BVBBV017515304 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV017515304</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20031014</controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">030916s2003 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">968604781</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)53426410</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV017515304</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Fuchs, Tobias Michael</subfield><subfield code="d">1973-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)124925588</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Templatinduzierte Erzeugung und Charakterisierung dünner ZnO- und TiO 2 -Schichten</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Tobias Michael Fuchs. Universität Stuttgart ...</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Stuttgart</subfield><subfield code="b">Max-Planck-Inst. für Metallforschung</subfield><subfield code="c">2003</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">147 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst. : 21 cm</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Bericht / Max-Planck-Institut für Metallforschung</subfield><subfield code="v">Nr. 130</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Stuttgart, Univ., Diss., 2003</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="2">swd</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Dünnschichttechnik</subfield><subfield code="2">swd</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Titandioxid</subfield><subfield code="2">swd</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Zinkoxid</subfield><subfield code="2">swd</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Titandioxid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185549-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünnschichttechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136339-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Zinkoxid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4190864-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Zinkoxid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4190864-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Dünnschichttechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136339-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Titandioxid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185549-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="8">3\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="0"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2=" "><subfield code="8">4\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Max-Planck-Institut für Metallforschung</subfield><subfield code="t">Bericht</subfield><subfield code="v">Nr. 130</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV010796017</subfield><subfield code="9">130</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010548068&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">3\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">4\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-010548068</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV017515304 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2025-03-10T11:03:26Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-010548068 |
| oclc_num | 53426410 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-188 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-188 |
| physical | 147 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
| publishDate | 2003 |
| publishDateSearch | 2003 |
| publishDateSort | 2003 |
| publisher | Max-Planck-Inst. für Metallforschung |
| record_format | marc |
| series2 | Bericht / Max-Planck-Institut für Metallforschung |
| spelling | Fuchs, Tobias Michael 1973- Verfasser (DE-588)124925588 aut Templatinduzierte Erzeugung und Charakterisierung dünner ZnO- und TiO 2 -Schichten vorgelegt von Tobias Michael Fuchs. Universität Stuttgart ... Stuttgart Max-Planck-Inst. für Metallforschung 2003 147 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Bericht / Max-Planck-Institut für Metallforschung Nr. 130 Stuttgart, Univ., Diss., 2003 Dünne Schicht swd Dünnschichttechnik swd Titandioxid swd Zinkoxid swd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Titandioxid (DE-588)4185549-8 gnd rswk-swf Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 gnd rswk-swf Zinkoxid (DE-588)4190864-8 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Zinkoxid (DE-588)4190864-8 s 1\p DE-604 Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 s 2\p DE-604 Titandioxid (DE-588)4185549-8 s 3\p DE-604 Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s 4\p DE-604 Max-Planck-Institut für Metallforschung Bericht Nr. 130 (DE-604)BV010796017 130 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010548068&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 3\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 4\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
| spellingShingle | Fuchs, Tobias Michael 1973- Templatinduzierte Erzeugung und Charakterisierung dünner ZnO- und TiO 2 -Schichten Dünne Schicht swd Dünnschichttechnik swd Titandioxid swd Zinkoxid swd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Titandioxid (DE-588)4185549-8 gnd Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 gnd Zinkoxid (DE-588)4190864-8 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4136925-7 (DE-588)4185549-8 (DE-588)4136339-5 (DE-588)4190864-8 (DE-588)4113937-9 |
| title | Templatinduzierte Erzeugung und Charakterisierung dünner ZnO- und TiO 2 -Schichten |
| title_auth | Templatinduzierte Erzeugung und Charakterisierung dünner ZnO- und TiO 2 -Schichten |
| title_exact_search | Templatinduzierte Erzeugung und Charakterisierung dünner ZnO- und TiO 2 -Schichten |
| title_full | Templatinduzierte Erzeugung und Charakterisierung dünner ZnO- und TiO 2 -Schichten vorgelegt von Tobias Michael Fuchs. Universität Stuttgart ... |
| title_fullStr | Templatinduzierte Erzeugung und Charakterisierung dünner ZnO- und TiO 2 -Schichten vorgelegt von Tobias Michael Fuchs. Universität Stuttgart ... |
| title_full_unstemmed | Templatinduzierte Erzeugung und Charakterisierung dünner ZnO- und TiO 2 -Schichten vorgelegt von Tobias Michael Fuchs. Universität Stuttgart ... |
| title_short | Templatinduzierte Erzeugung und Charakterisierung dünner ZnO- und TiO 2 -Schichten |
| title_sort | templatinduzierte erzeugung und charakterisierung dunner zno und tio 2 schichten |
| topic | Dünne Schicht swd Dünnschichttechnik swd Titandioxid swd Zinkoxid swd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Titandioxid (DE-588)4185549-8 gnd Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 gnd Zinkoxid (DE-588)4190864-8 gnd |
| topic_facet | Dünne Schicht Dünnschichttechnik Titandioxid Zinkoxid Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010548068&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV010796017 |
| work_keys_str_mv | AT fuchstobiasmichael templatinduzierteerzeugungundcharakterisierungdunnerznoundtio2schichten |