Templatinduzierte Erzeugung und Charakterisierung dünner ZnO- und TiO 2 -Schichten:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Stuttgart
Max-Planck-Inst. für Metallforschung
2003
|
| Schriftenreihe: | Bericht / Max-Planck-Institut für Metallforschung
Nr. 130 |
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 147 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
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INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
1.
ZUSAMMENFASSUNG
.
.1
2.
EINLEITUNG
.
3
3.
LITERATURIIBERSICHT
.
.4
3.1
HERSTELLUNG
DUENNER
SCHICHTEN
AUS
WAESSRIGEN
LOESUNGEN
.
4
3.1.1
CBD-VERFAHREN
.
4
3.1.2
ED-VERFAHREN
.
6
3.1.2
LPD-VERFAHREN
.
7
3.1.4
SILAR-VERFAHREN
.
7
3.1.5
FP-VERFAHREN
.
7
3.2
ORGANISCHE
SUBSTRATMODIFIKATIONEN
.
.9
3.3
WACHSTUM
VON
PARTIKELN
ANORGANISCHER
VERBINDUNGEN
IN
GEGENWART
VON
ADDITIVEN
.
13
3.4
SCHICHTBILDUNGSMODELLE
.
17
3.5
ABSCHEIDUNGSVERHALTEN
BEI
UNTERSCHIEDLICHEN
TEMPERATUREN
.
20
3.5.1
LOESLICHKEITS-ZAUSFAELLUNGSBEREICHE
FUER
ZNO
.
20
3.5.2
LOESLICHKEITS-Z
AUSFAELLUNGSBEREICHE
FUER
TIOI
.
21
3.6
DLVO-THEORIE
.
22
3.6.1
ALLGEMEINES
.
22
3.6.2
VAN-DER-WAALS-WECHSELWIRKUNG
.
23
3.6.3
ELEKTROSTATISCHE
ODER
DOPPELSCHICHTWECHSELWIRKUNG
.
24
3.6.4
HYDRATATIONSWECHSELWIRKUNG
.
25
3.6.5
EINFLUSS
VON
POLYMEREN
.
26
INHALTSVERZEICHNIS
4.
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
.
-
.-------
27
4.1
MESSMETHODEN
.
.27
4.1.1
LICHTMIKROSKOPIE
.
27
4.1.2
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
(REM)
.
27
4.1.3
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE
(AFM)
.
27
4.1.4
X-RAY
PHOTOELECTRON
SPECTROSCOPY
(XPS),
ELECTRON
SPECTROSCOPY
FOR
CHEMICAL
ANALYSIS
(ESCA)
.
28
4.1.5
ELLIPSOMETIE
.
28
4.1.6
ROENTGENBEUGUNG
(XRD)ZROENTGENBEUGUNG
UNTER
STREIFENDEM
EINFALL
(GRACING-INCIDENCE-XRD)
.
29
4.1.7
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
(TEM)
.
29
4.1.8
KONTAKTWINKELMESSUNG
.
31
4.1.9
BESTIMMUNG
DER
TEILCHENGROESSE
.
32
4.1.10
ZETA-POTENZIALBESTIMMUNG
.
32
4.1.11
AUSLAGERUNGEN
.
32
4.2
EXPERIMENTELLES
.
33
4.2.1
ALLGEMEINES
.
33
4.2.2
AKTIVIERUNG
DER
SI-WAFER
MIT
EINER
LOESUNG
AUS
H2O2/H2SQ4
.
33
4.2.3
SYNTHESE
DER
SAMS
.
33
4.2.4
HERSTELLUNG
DER
SULFONAT-TERMMIERTEN
SAMS
AUF
SI-WAFEM
.
34
4.2.5
HERSTELLUNG
DER
MERCAPTO-TERMINIERTEN
SAMS
AUF
SI-WAFEM
.
34
4.3
STATISCHE
ABSCHEIDUNG
.
35
4.4
LFD-VERFAHREN
_
35
4.5
HERSTELLUNG
DER
ZNO-ABSCHEIDELOESUNGEN
.36
4.6
HERSTELLUNG
DER
TIOJ-ABSCHEIDELOESUNGEN
.
.36
INHALTSVERZEICHNIS
5.
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
.37
5.1
ZNO-ABSCHEIDUNGEN
.
37
5.1.1
ABSCHEIDUNGEN
AUS
20
MM
[ZN]-LOESUNGEN
.
37
5.1.2
ABSCHEIDUNGEN
AUS
LOESUNGEN
DES
TYPS
20
MM
[ZN]/HMTA
.
42
5.1.3
ABSCHEIDUNGEN
AUS
20
MM
[ZN]-LOESUNGEN
MIT
COPOLYMER
ZUSAETZEN
.
44
5.1.4
ABSCHEIDUNGEN
AUS
40
MM
[ZN]-LOESUNGEN
MIT
COPOLYMER
ZUSAETZEN
.
54
5.1.5
CYKLISCHE
ABSCHEIDUNGEN
AUS
100
MM
[ZN]-LOESUNGEN
MIT
ZUSAETZEN
VON
HMTA
UND
COPOLYMER
.
60
5.1.6
AUSLAGERUNGSVERSUCHE
.
78
5.1.7
DLVO-BERECHNUNGEN
FUER
ZNO-SCHICHTEN
.
85
5.1.7.1
ALLGEMEINES
.
85
5.1.7.2
DURCHFUEHRUNG
DER
BERECHNUNGEN
.
85
5.1.7.3
ERGEBNISSE
DER
BERECHUNGEN
.
87
5.2
TIOZ-ABSCHEIDUNGEN
.
.92
5.2.1
XPS-UNTERSUCHUNGEN
AN
TIOJ-SCHICHTEN
.
93
5.2.2
TEM-UNTERSUCHUNGEN
.
97
5.2.3
REM-UNTERSUCHUNGEN
.
102
5.2.4
AFM-UNTERSUCHUNGEN
.
105
5.2.5
ROENTGENBEUGUNG
UNTER
STREIFENDEM
EINFALL
.
107
6.
ABSTRACT.110
INHALTSVERZEICHNIS
7.
ANHANG
.
117
7.1
STRUKTURDATEN
UND
EIGENSCHAFTEN
VON
ZNO
UND
TIOI
.
117
7.1.1
ZINKOXID
(ZNO)
.
117
7.1.2
TITANDIOXID
(TIOJ)
.
119
7.2
ERGEBNISTABELLEN
.
120
7.2.1:
ERGEBNISTABELLEN
DER
VERSCHIEDENEN
UNTERSUCHUNGEN
AN
ZNO-SCHICHTABSCHEIDUNGEN
.
120
7.2.2:
ERGEBNISSTABELLEN
DER
VERSCHIEDENEN
UNTERSUCHUNGEN
DER
TIOZ-SCHICHTABSCHEIDUNGEN
.
128
7.3
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
.
129
7.4
TABELLENVERZEICHNIS
.
134
7.5
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
.
135
7.6
VERZEICHNIS
DER
VERWENDETEN
SUBSTANZEN
UND
GERAETE
.
137
7.7
VERZEICHNIS
DER
VERWENDETEN
WERTE
UND
KONSTANTEN
ZU
DEN
DLVO
BERECHNUNGEN
UND
DEN
EILIPSOMETERMESSUNGEN
.
138
8.
LITERATURVERZEICHNIS
.
140
9.
DANKSAGUNG
.
146
10.
LEBENSLAUF.
.147 |
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| spelling | Fuchs, Tobias Michael 1973- Verfasser (DE-588)124925588 aut Templatinduzierte Erzeugung und Charakterisierung dünner ZnO- und TiO 2 -Schichten vorgelegt von Tobias Michael Fuchs. Universität Stuttgart ... Stuttgart Max-Planck-Inst. für Metallforschung 2003 147 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Bericht / Max-Planck-Institut für Metallforschung Nr. 130 Stuttgart, Univ., Diss., 2003 Dünne Schicht swd Dünnschichttechnik swd Titandioxid swd Zinkoxid swd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Titandioxid (DE-588)4185549-8 gnd rswk-swf Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 gnd rswk-swf Zinkoxid (DE-588)4190864-8 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Zinkoxid (DE-588)4190864-8 s 1\p DE-604 Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 s 2\p DE-604 Titandioxid (DE-588)4185549-8 s 3\p DE-604 Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s 4\p DE-604 Max-Planck-Institut für Metallforschung Bericht Nr. 130 (DE-604)BV010796017 130 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010548068&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 3\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 4\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
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