Superharte TiN-Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2003
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | München, Techn. Univ., Diss., 2003 |
| Beschreibung: | III, 174 Bl. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV017435655 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20050811 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 030825s2003 xx ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 968796133 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)76643720 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV017435655 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-12 | ||
| 084 | |a WER 480d |2 stub | ||
| 084 | |a FER 882d |2 stub | ||
| 084 | |a WER 420d |2 stub | ||
| 084 | |a CHE 380d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Procházka, Jan |d 1974- |e Verfasser |0 (DE-588)128388803 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Superharte TiN-Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung |c Jan Procházka |
| 246 | 1 | 3 | |a Superharte TiN-Si-3-N-4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung |
| 264 | 1 | |c 2003 | |
| 300 | |a III, 174 Bl. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a München, Techn. Univ., Diss., 2003 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Nanostrukturiertes Material |0 (DE-588)4342626-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Magnetronsputtern |0 (DE-588)4208514-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumnitrid |0 (DE-588)4127841-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Schichtverbundwerkstoff |0 (DE-588)4311269-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Titannitrid |0 (DE-588)4185564-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Titannitrid |0 (DE-588)4185564-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Siliciumnitrid |0 (DE-588)4127841-0 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Schichtverbundwerkstoff |0 (DE-588)4311269-9 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Nanostrukturiertes Material |0 (DE-588)4342626-8 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Titannitrid |0 (DE-588)4185564-4 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Siliciumnitrid |0 (DE-588)4127841-0 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Nanostrukturiertes Material |0 (DE-588)4342626-8 |D s |
| 689 | 1 | 4 | |a Magnetronsputtern |0 (DE-588)4208514-7 |D s |
| 689 | 1 | |C b |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010506070&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-010506070 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1816445149809475584 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1. EINLEITUNG UND ZIELSETZUNG. 1
2. HARTE UND SUPERHARTE MATERIALIEN. 5
2.1 INTRINSISCH HARTE UND SUPERHARTE MATERIALIEN. 5
2.2 EXTRINSISCH SUPERHARTE MATERIALIEN. 6
3. THEORETISCHER TEIL. 8
3.1 DIE REAKTIVE MAGNETRONZERSTAEUBUNG. 8
3.1.1 PLASMAPHYSIKALISCHE GRUNDLAGEN. 8
3.1.2 EINFLUSS DES MAGNETFELDES. 10
3.1.3 EFFEKTE VON LONENAUFPRALL AUF FESTKOERPER. 11
3.1.4 DIE MODI VON ZERSTAEUBUNG, ZERSTAEUBUNGSAUSBEUTE. 12
3.1.5 REAKTIVE ZERSTAEUBUNG. 13
3.1.6 DAS STRUKTUR-ZONEN-MODELL. 16
3.1.6.1 DAS MODELL VON MOVTSCHAN UND DEMTSCHISCHIN. 16
3.1.6.2 DAS MODELL VON THORNTON. 18
3.1.6.3 DER EINFLUSS VON AKTIVEN VERUNREINIGUNGEN. 19
3.2 DAS KONZEPT FUER DAS DESIGN VON SUPERHARTEN NANOKOMPOSITEN. 19
3.2.1 DIE IDEALE FESTIGKEIT. 19
3.2.2 DIE REALE FESTIGKEIT UND DIE METHODEN DERER STEIGERUNG. 21
4. EXPERIMENTELLER TEIL. 24
4.1 DARSTELLUNG DER SCHICHTEN. 24
4.1.1 APPARATIVES. 24
4.1.1.1 REAKTOR. 24
4.1.1.2 DIE UEBRIGEN ANLAGENTEILE. 25
4.1.1.3 MESSINSTRUMENTE.,. 26
4.1.1.4 VAKUUMPUMPEN. 28
4.1.1.5 STROMQUELLEN. 28
4.1.1.6 INDIREKT GEKUEHLTES MAGNETRON MIT FERRIT-MAGNETEN. 29
4.1.1.7 DIREKT GEKUEHLTES MAGNETRON MIT SELTENERDEN-MAGNETEN. 30
4.1.2 DURCHFUEHRUNG DER ABSCHEIDUNGEN. 30
4.1.2.1 SUBSTRATVORBEREITUNG. 30
4.1.2.2 VORVERSUCHE UND OPTIMIERUNG DER REAKTORANORDNUNG. 32
4.1.2.3 ABSCHEIDUNG MIT INDIREKT GEKUEHLTEM MAGNETRON. 33
I
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/968796133
4.1.2.4 ABSCHEIDUNG MIT DIREKT GEKUEHLTEM MAGNETRON. 33
4.1.2.5 ABSCHEIDUNG MIT DIREKT GEKUEHLTEM MAGNETRON UND
SUBSTRATTEMPERATURKONTROLLE. 34
4.2 CHARAKTERISIERUNG DER ABGESCHIEDENEN SCHICHTEN. 34
4.2.1 HAERTEMESSUNG. 34
4.2.1.1 DEN HAERTEWERT BEEINFLUSSENDE FAKTOREN. 36
4.2.1.2 AUSWERTUNG. 37
4.2.1.3 EINFLUSS DES ENERGETISCHEN LONENBOMBARDEMENTS WAEHREND DER
ABSCHEIDUNG AUF DIE HAERTEWERTE. 39
4.2.1.4 DURCHFUEHRUNG DER HAERTEMESSUNG. 39
4.2.2 MESSUNG DER BIAXIALEN SPANNUNG AUS DER VERBIEGUNG DES
BESCHICHTETEN SUBSTRATS. 40
4.2.3 ROENTGENDIFFFAKTION. 43
4.2.3.1 BESTIMMUNG DER VORZUGSORIENTIERUNG. 47
4.2.3.2 BERECHNUNG DER KRISTALLITGROESSE. 48
4.2.3.3 BERECHNUNG DER BIAXIALEN SPANNUNG (SINV).
50
4.2.3.4 AUFNAHME DER DIFFRAKTOGRAMME. 52
4.2.4 RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE (REM). 53
4.2.5 ENERGIEDISPERSIVE ROENTGENSPEKTROMETRIE (EDX). 54
4.2.6 ROENTGENPHOTOELEKTRONEN-SPEKTROSKOPIE (XPS). 56
4.2.6.1 CHEMISCHE VERSCHIEBUNG. 58
4.2.7 ELASTISCHE RUECKSTREUUNG (ERD). 58
5. ERGEBNISTEIL . 60
5.1 ABSCHEIDUNG MIT INDIREKT GEKUEHLTEM MAGNETRON. 60
5.1.1 OPTIMIERUNG DER ABSCHEIDEPARAMETER. 60
5.1.2 ABSCHEIDERATE. 66
5.1.3 ZUSAMMENSETZUNG DER SCHICHTEN. 69
5.1.4 MIKROSTRUKTUR DER SCHICHTEN. 72
5.1.5 HAERTE UND BIAXIALE SPANNUNG. 77
5.1.6 BEDECKUNGSGRAD. 85
5.2 ABSCHEIDUNG MIT DIREKT GEKUEHLTEM MAGNETRON. 91
5.2.1 ABSCHEIDERATE UND MAGNETRONLEISTUNG. 92
5.2.2 ZUSAMMENSETZUNG UND MIKROSTRUKTUR DER SCHICHTEN. 93
5.2.3 HAERTE UND BIAXIALE SPANNUNG. 103
5.3 ABSCHEIDUNG MIT TARGET ALS SILICIUMQUELLE. 108
5.3.1 ZUSAMMENSETZUNG UND MIKROSTRUKTUR DER SCHICHTEN. 111
5.3.2 HAERTE UND BIAXIALE SPANNUNG. 120
5.3.3 TEMPERATURSTABILITAET DER SCHICHTEN. 124
5.4 ABSCHEIDUNG MIT REINEM STICKSTOFF UND TARGET ALS SILICIUMQUELLE. 138
5.4.1 ZUSAMMENSETZUNG UND MIKROSTRUKTUR DER SCHICHTEN. 142
5.4.2 HAERTE UND BIAXIALE SPANNUNG. 147
6. ZUSAMMENFASSUNG. 156
7. LITERATURVERZEICHNIS. 158
8. ANHANG. 165
II! |
| any_adam_object | 1 |
| author | Procházka, Jan 1974- |
| author_GND | (DE-588)128388803 |
| author_facet | Procházka, Jan 1974- |
| author_role | aut |
| author_sort | Procházka, Jan 1974- |
| author_variant | j p jp |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV017435655 |
| classification_tum | WER 480d FER 882d WER 420d CHE 380d |
| ctrlnum | (OCoLC)76643720 (DE-599)BVBBV017435655 |
| discipline | Werkstoffwissenschaften Chemie Fertigungstechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV017435655</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20050811</controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">030825s2003 xx ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">968796133</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76643720</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV017435655</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">WER 480d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 882d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">WER 420d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">CHE 380d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Procházka, Jan</subfield><subfield code="d">1974-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)128388803</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Superharte TiN-Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung</subfield><subfield code="c">Jan Procházka</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Superharte TiN-Si-3-N-4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2003</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">III, 174 Bl.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">München, Techn. Univ., Diss., 2003</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Nanostrukturiertes Material</subfield><subfield code="0">(DE-588)4342626-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Magnetronsputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208514-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumnitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4127841-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Schichtverbundwerkstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4311269-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Titannitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185564-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Titannitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185564-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Siliciumnitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4127841-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Schichtverbundwerkstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4311269-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Nanostrukturiertes Material</subfield><subfield code="0">(DE-588)4342626-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Titannitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185564-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Siliciumnitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4127841-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Nanostrukturiertes Material</subfield><subfield code="0">(DE-588)4342626-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="4"><subfield code="a">Magnetronsputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208514-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="C">b</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010506070&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-010506070</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV017435655 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-11-22T17:38:06Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-010506070 |
| oclc_num | 76643720 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-12 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-12 |
| physical | III, 174 Bl. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2003 |
| publishDateSearch | 2003 |
| publishDateSort | 2003 |
| record_format | marc |
| spelling | Procházka, Jan 1974- Verfasser (DE-588)128388803 aut Superharte TiN-Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung Jan Procházka Superharte TiN-Si-3-N-4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung 2003 III, 174 Bl. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier München, Techn. Univ., Diss., 2003 Nanostrukturiertes Material (DE-588)4342626-8 gnd rswk-swf Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd rswk-swf PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd rswk-swf Siliciumnitrid (DE-588)4127841-0 gnd rswk-swf Schichtverbundwerkstoff (DE-588)4311269-9 gnd rswk-swf Titannitrid (DE-588)4185564-4 gnd rswk-swf Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Titannitrid (DE-588)4185564-4 s Siliciumnitrid (DE-588)4127841-0 s Schichtverbundwerkstoff (DE-588)4311269-9 s Nanostrukturiertes Material (DE-588)4342626-8 s PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 s DE-604 Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 s Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 s b DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010506070&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Procházka, Jan 1974- Superharte TiN-Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung Nanostrukturiertes Material (DE-588)4342626-8 gnd Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Siliciumnitrid (DE-588)4127841-0 gnd Schichtverbundwerkstoff (DE-588)4311269-9 gnd Titannitrid (DE-588)4185564-4 gnd Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4342626-8 (DE-588)4208514-7 (DE-588)4267316-1 (DE-588)4127841-0 (DE-588)4311269-9 (DE-588)4185564-4 (DE-588)4244347-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | Superharte TiN-Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung |
| title_alt | Superharte TiN-Si-3-N-4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung |
| title_auth | Superharte TiN-Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung |
| title_exact_search | Superharte TiN-Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung |
| title_full | Superharte TiN-Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung Jan Procházka |
| title_fullStr | Superharte TiN-Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung Jan Procházka |
| title_full_unstemmed | Superharte TiN-Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung Jan Procházka |
| title_short | Superharte TiN-Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung |
| title_sort | superharte tin si3n4 nanokomposite durch reaktive magnetronzerstaubung kombiniert mit chemischer gasphasenabscheidung |
| topic | Nanostrukturiertes Material (DE-588)4342626-8 gnd Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Siliciumnitrid (DE-588)4127841-0 gnd Schichtverbundwerkstoff (DE-588)4311269-9 gnd Titannitrid (DE-588)4185564-4 gnd Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd |
| topic_facet | Nanostrukturiertes Material Magnetronsputtern PECVD-Verfahren Siliciumnitrid Schichtverbundwerkstoff Titannitrid Mehrschichtsystem Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010506070&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT prochazkajan superhartetinsi3n4nanokompositedurchreaktivemagnetronzerstaubungkombiniertmitchemischergasphasenabscheidung AT prochazkajan superhartetinsi3n4nanokompositedurchreaktivemagnetronzerstaubung |