Mikrorissbildung im GaAs und deren Nutzung beim Draht- und Innenlochtrennen in der Halbleiterwafer-Herstellung:
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2002
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INHALTSVERZEICHNIS
KAPITELL:
EINLEITUNG
1
1.1.
MOTIVATION
1
12.
KENNTNISSTAND
UND
DARAUS
ABGELEITETE
PROBLEMSTELLUNGEN
4
12.1
TECHNOLOGISCHER
KENNTNISSTAND
4
12.2.
WISSENSCHAFTLICHER
KENNTNISSTAND
7
1.3.
AUFGABENSTELLUNG
10
KAPITEL
2:
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
DES
WERKSTOFFES
GAAS
11
2.1.
DIE
ELASTISCHEN
EIGENSCHAFTEN
DES
GAAS
12
22.
EINDRUCKINDUZIERTE
PLASTIZITAET
14
2.2.1.
EINDRUCKHAERTE
DES
GAAS
14
2.2.2.
STRUKTURELLE
BETRACHTUNGEN
23
2.3.
RISSBILDUNG
AN
INDENTEREINDRUECKEN
28
2.3.1.
SPANNUNGSFELD
EINES
PUNKTFOERMIGEN
KONTAKTES
29
2.3.2.
RISSENTSTEHUNG
BEIM
ELASTISCHEN
KONTAKT:
KONUSRISSSYSTEM
31
2.3.3.
RISSENTSTEHUNG
BEIM
ELASTISCH/PLASTISCHEN
KONTAKT:
RADIAL-MEDIAN
RISSSYSTEM
UND
LATERALRISSSYSTEME
33
2.3.4.
ANISOTROPIE
DER
BILDUNGSWAHRSCHEINLICHKEIT
VON
RADIALRISSEN
38
2.4.
DIE
RISSAUSBREITUNG
48
2.4.1.
DER
SPANNUNGSINTENSITAETSFAKTOR
K
48
2.4.2.
KRITERIEN
FUER
DIE
RISSAUSBREITUNG
51
2.4.3.
RISSAUSBREITUNGSWEGE
56
2.4.4.
EXPERIMENTELLE
BESTIMMUNG
DER
KRITISCHEN
SPANNUNGSINTENSITAET
DES
GAAS
58
INHALTSVERZEICHNIS
KAPITEL
3:
ABTRENNMECHANISMEN
61
3.1.
TECHNOLOGISCHE
ABTRENNVERFAHREN
61
3.1.1.
ABTRENNEN
MIT
DEFINIERTER
EINZELSCHNEIDE
(DREHEN,
FRAESEN)
61
3.1.2.
LAEPPEN
MIT
LOSEM
KORN
62
3.1.3.
SCHLEIFEN
MIT
GEBUNDENEM
KORN
65
3.2.
GRUNDLAGEN
DES
EINZELSCHNEIDENEINGRIFFS
68
3.2.1.
SPANNUNGSFELDER
UND
RISSSYSTEME
AN
BEWEGTEN
INDENTEM
68
3.2.1.1.
DER
GLEITENDE
PUNKTFOERMIGE
KONTAKT
69
3.2.1.2.
DER
GLEITENDE
LINIENFOERMIGE
KONTAKT
74
3.2.2.
DER
DUKTIL-SPROEDUEBERGANG
79
3.2.2.1.
DUKTILES
UND
SPROEDES
BEARBEITUNGSREGIME
79
3.2.22.
KRITISCHE
EINDRINGTIEFE
FUER
DEN
DUKTIL-SPROED-UEBERGANG
80
3.3.
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNG
DES
DUKTIL-SPROED-UEBERGANGS
88
3.3.1.
DURCHFUEHRUNG
UND
AUSWERTUNG
DER
EINKOMRITZVERSUCHE
88
3.3.2.
UNTERSUCHTE
RITZPARAMETER
90
3.3.3.
ERGEBNISSE
92
3.3.4.
INTERPRETATION
97
3.4.
EINORDNUNG
DER
MECHANISCHEN
BEARBEITUNGSVERFAHREN
104
KAPITEL
4:
TECHNOLOGISCHE
EFFEKTE
BEIM
WAFERTRENNEN
106
4.1.
KONSEQUENZEN
AUS
DEN
ERGEBNISSEN
DER
EINKOMRITZVERSUCHE
106
4.2.
EFFEKTE
BEIM
INNENLOCHTRENNSCHLEIFEN
113
4.2.1.
MESSUNG
DER
EINGEPRAEGTEN
KRAEFTE
113
4.2.2.
DISKUSSION
DER
EINZELNEN
EINGEPRAEGTEN
KRAEFTE
118
4.2.2.1.
RUECKTREIBENDE
KRAFT
F
X
R
DURCH
DIE
TRENNSCHEIBENSPANNUNG
119
4.2.22.
EINFLUSS
DER
VORSCHUBABHAENGIGEN
NORMALKRAFT
F/
120
4.2.2.3.
EINFLUSS
DER
HYDRODYNAMISCHEN
KRAEFTE
F
X
H
125
4.2.3.
ABHAENGIGKEIT
DER
ZWANGSKRAEFTE
VON
DER
BEARBEITUNGSRICHTUNG
A
128
INHALTSVERZEICHNIS
4.3.
EFFEKTE
BEIM
DRAHTLAEPPEN
134
4.3.1.
ANALYSE
DER
KRAEFTE
UND
DER
DRAHTAUSLENKUNG
AUFGRUND
DER
GEOMETRISCHEN
VERHAELTNISSE
BEIM
DRAHTLAEPPEN
134
4.3.2.
EINFLUSS
DES
GEOMETRIEFAKTORS
F(Z)
142
4.3.3.
DER
MATERIAL/PROZESSPARAMETER
C
143
4.3.3.1.
ZUSAMMENHANG
ZWISCHEN
VORSCHUB
UND
DRAHTAUSLENKUNG
143
4.3.3.2.
EINFLUSS
DER
BEARBEITUNGSRICHTUNG
AUF
DIE
ZWANGSKRAEFTE
147
4.3.4.
TECHNOLOGISCHE
SCHLUSSFOLGERUNGEN
FUER
DAS
DRAHTLAEPPEN
152
KAPITEL
5:
ZUSAMMENFASSUNG
155
5.1.
ERGEBNISSE
UND
SCHLUSSFOLGERUNGEN
YY
155
5.2.
AUSBLICK
161
LITERATURVERZEICHNIS
162
DANKSAGUNG
167
LEBENSLAUF
168 |
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