Oberflächenmikromechanik-Sensoren als elektrische Teststrukturen zur Charakterisierung ihrer Herstellungsprozesse:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2003
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| Beschreibung: | IV, 136 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
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INHALTSVERZEICHNIS
VERWENDETE
VARIABLEN
.
I
1
EINLEITUNG
1
2
FERTIGUNGSGRUNDLAGEN
5
3
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
7
3.1
BIEGEBALKEN
.
7
3.1.1
GEOMETRIEPARAMETER
.
7
3.1.2
FLAECHENTRAEGHEITSMOMENTE
UND
DEVIATIONSMOMENT
.
7
3.1.3
BIEGELINIE
.
9
3.1.4
STEIFIGKEITSMATRIX
.
11
3.1.5
EFFEKTIVE
MASSE
.
12
3.2
TEILKAPAZITAETEN
EINES
LEITERSYSTEMS
.
15
3.2.1
DARSTELLUNG
DER
ENERGIE
AUS
TEILKAPAZITAETEN
.
15
3.2.2
DARSTELLUNG
DER
KRAFT
AUS
TEILKAPAZITAETEN
.
17
3.3
OBERFLAECHENLADUNGEN
.
18
3.4
TEILKAPAZITAETEN
BEI
KAMMSTRUKTUREN
.
20
3.5
ELEKTRODEN
MIT
PERFORATION
.
25
3.6
CU-KENNLINIEN
BEI
KAMMSTRUKTUREN
.
33
3.6.1
IDEALER
PLATTENKONDENSATOR
.
33
3.6.2
BERUECKSICHTIGUNG
DER
RANDFELDER
.
36
3.7
SQUEEZE-FIHN-DAEMPFUNG
BEI
KAMMSTRUKTUREN
.
44
3.7.1
ANALYTISCHE
LOESUNG
.
45
3.7.2
NUMERISCHE
LOESUNG
.
48
3.7.3
EFFEKTIVE
VISKOSITAET
.
53
4
EXPERIMENTELLES
57
4.1
MESSUNG
VON
CU-KENNLINIEN
.
57
4.2
MESSUNG
DES
FREQUENZGANGS
.
57
4.3
GEOMETRIEMESSUNG
AM
RASTERELEKTRONENMIKROSKOP
.
59
5
XY-BESCHLEUNIGUNGSSENSOREN
62
5.1
FREQUENZABHAENGIGKEIT
VON
AMPLITUDE
UND
PHASE
.
63
5.1.1
BEWEGUNGSGLEICHUNG
.
63
5.1.2
EINFLUSS
DES
GASDRUCKS
AUF
DEN
FREQUENZGANG
.
67
5.1.3
EINFLUSS
DER
ELEKTRISCHEN
SPANNUNG
AUF
DIE
EIGENFREQUENZ
67
5.2
EINFLUSS
VON
OBERFLAECHENLADUNGEN
AUF
CU-KENNLINIEN
.
69
5.3
BESTIMMUNG
DES
ELASTIZITAETSMODULS
.
72
5.3.1
LITERATURUEBERSICHT
.
73
5.3.2
METHODE
.
74
5.3.3
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
.
75
5.4
BESTIMMUNG
LATERALER
STRUKTURBREITEN
.
77
5.4.1
EINFLUSS
DER
UEBERAETZUNG
AUF
DIE
EIGENFREQUENZ
.
78
5.4.2
EINFLUSS
DER
MASKENOEFFHUNG
AUF
DIE
UEBERAETZUNG
.
79
5.5
BESTIMMUNG
VON
SCHICHTDICKEN
.
84
5.5.1
DICKE
DER
OPFERSCHICHT
.
84
5.5.2
DICKE
VON
POLYSILIZIUM
.
91
5.6
BESTIMMUNG
VON
DEVIATIONSMOMENTEN
.
93
5.6.1
METHODE
.
93
5.6.2
AUSLENKUNGEN
FUER
VERTIKALE
UND
HORIZONTALE
KRAFT
.
94
5.6.3
AUSLENKUNGEN
BEI
ELEKTROSTATISCHEN
KRAEFTEN
.
96
5.6.4
BESTIMMUNG
DER
HORIZONTALEN
AUSLENKUNG
.
98
5.6.5
BESTIMMUNG
DER
VERTIKALEN
AUSLENKUNG
.
99
5.6.6
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
.
100
5.7
BESTIMMUNG
DES
GASDRUCKS
.
107
5.7.1
SQUEEZE-FILM-DAEMPFUNG
DER
BIEGEBALKEN
.
107
5.7.2
COUETTE
UND
STOKES-STROEMUNG
.
109
5.7.3
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
.
.
.
.
110
5.7.4
FEHLERBETRACHTUNG
.
116
6
Z-BESCHLEUNIGUNGSSENSOREN
117
6.1
BESTIMMUNG
DER
OBERFLAECHENKRUEMMUNG
.
118
6.1.1
METHODE
.
119
6.1.2
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
.
122
7
ZUSAMMENFASSUNG
125
LITERATURVERZEICHNIS
.
127 |
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