Miniaturisiertes Weißlicht-Interferometer mit hoher Messfrequenz für die absolute Abstandsmessung:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2003
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Produktionstechnik
2003,13 |
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | III, 138 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm, 224 gr. |
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INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
.
I
1
EINLEITUNG
.
1
MESSUNGEN
INNERHALB
VON
KAVITAETEN
1
MESSUNGEN
BEI
MONTAGEVORGAENGEN
2
2
ZIELSETZUNG
.
5
3
FASEROPTISCHE
SENSORIK.7
3.1
LICHTAUSBREITUNG
IN
FASERN
7
3.1.1
GRUNDLAGEN
DER
LICHTAUSBREITUNG
8
3.1.2
LICHTWELLENLEITER
9
3.1.3
VERLUSTE
IN
FASERN
11
3.2
FASEROPTISCHE
ABSTANDSTNESSVERFAHREN
12
3.2.1
INTENSITAETSMODULATION
13
3.2.2
PHASEN
UND
POLARISATIONSMODULATION
15
3.2.3
FREQUENZ-UND
WELLENLAENGENMODULATION
18
3.3
FAZIT
18
4
FASERGEKOPPELTE
WEISSLICHT-INTERFEROMETRIE
.
21
4.1
SPEKTRALE
MESSWERTKODIERUNG
21
4.2
BESCHREIBUNG
IN
DER
FREQUENZDOMAENE
22
4.3
BESCHREIBUNG
IN
DER
ZEITDOMAENE
26
4.4
DISKUSSION
DES
INTERFEROGRAMMS
28
4.5
FAZIT
32
5
HANDLUNGSBEDARF
UND
VORGEHENSWEISE
.
35
6
SYSTEMAUFBAU
.
37
INHALTSVERZEICHNIS
6.1
GEBER-INTERFEROMETER
37
6.1.1
DISKUSSION
WEITERER
INTERFEROMETERTYPEN
37
6.1.2
EINSATZ
EINES
FABRY-PEROT-INTERFEROMETERS
39
6.1.3
KOLLIMATIONSOPTIK
46
6.1.4
VERBINDUNG
VON
FASER
UND
LINSE
50
6.2
REFLEXIONSVERHALTEN
DES
MESSOBJEKTS
54
6.2.1
INTENSITAETSVERLUSTE
55
6.2.2
BEUGUNGSEINFLUESSE
58
6.2.3
WERKSTOFFBEDINGTER
POLARISATIONSEINFLUSS
59
6.3
EMPFAENGER-INTERFEROMETER
62
6.3.1
OPTISCHER
AUFBAU
63
6.3.2
ELEKTRONISCHER
SCANNER
69
6.3.3
EINFLUESSE
DURCH
DAS
EMPFAENGER-INTERFEROMETER
82
6.4
LEISTUNGSBILANZ
AM
DETEKTOR
87
6.4.1
DETEKTORTYP
88
6.4.2
PIXELAUFLOESUNG
DES
DETEKTORS
89
6.4.3
SENSITIVITAET
DES
DETEKTORS
90
6.4.4
DIGITALISIERUNG
DES
INTERFEROGRAMMS
95
6.5
AUFLOESUNG
UND
MESSUNSICHERHEIT
95
6.5.1
AUFLOESUNG
95
6.5.2
MESSUNSICHERHEIT
96
6.6
FAZIT
98
7
EXPERIMENTELLER
EINSATZ
DES
SENSORS
.101
7.1
UEBERPRUEFUNGDESSYSTEMAUFBAUS
101
7.1.1
LEISTUNGSGROESSEN
102
7.1.2
AUSPRAEGUNG
DER
SIGNATUREN
103
7.1.3
UEBERPRUEFUNG
DES
MESSBEREICHS
105
7.2
MESSUNGEN
AUF
UNTERSCHIEDLICHEN
OBERFLAECHEN
108
7.2.1
MESSEN
AUF
STAHL
108
7.2.2
MESSEN
AUF
GLAS
113
II
INHALTSVERZEICHNIS
7.3
FAZIT
114
8
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.117
9
VERZEICHNISSE
.
121
9.1
LITERATUR
121
9.2
FORMELZEICHEN
129
9.3
ABBILDUNGEN
134
III |
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