(2003). Principles of chemical vapor deposition: [what's going on inside the reactor]. Kluwer.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Principles of Chemical Vapor Deposition: [what's Going on Inside the Reactor]. Dordrecht [u.a.]: Kluwer, 2003.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Principles of Chemical Vapor Deposition: [what's Going on Inside the Reactor]. Kluwer, 2003.
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