Herstellung und Charakterisierung Silizium basierter integrierter optischer Bauelemente für den Wellenlängenbereich um 1.55 mm:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2003
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Physik
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2003 |
| Beschreibung: | V, 127 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
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INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG
1
I
GRUNDLAGEN
5
1
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
7
1.1
DIELEKTRISCHE
WELLENLEITUNGSBAUELEMENTE
.
7
1.1.1
MAXWELL-GLEICHUNGEN
UND
HELMHOLTZ-GLEICHUNG
.
8
1.1.2
WELLENLEITER
.
9
1.1.2.1
SCHICHTWELLENLEITER
.
9
1.1.2.2
SOI-RIPPENWELLENLEITER
UND
SOI-RECHTECKWELLENLEITER
.
10
1.1.3
BAUELEMENTE
.
13
1.1.3.1
BRAGG-GITTER
.
13
1.1.3.2
RINGRESONATOREN
.
17
1.2
WELLENLEITUNGSBAUELEMENTE
BASIEREND
AUF
PHOTONISCHEN
KRISTALLEN
.
25
1.2.1
BANDSTRUKTUR
.
25
1.2.2
BAUELEMENTE
.
27
1.3
SILIZIUM-GERMANIUM
P-I-N
PHOTODIODEN
.
29
1.3.1
P-I-N
PHOTODIODEN
.
30
1.3.2
SILIZIUM-GERMANIUM-HETEROSTRUKTUREN
.
32
1.3.3
ABSORPTION
IN
HALBLEITERN
.
34
2
OPTISCHE
UND
ELEKTRISCHE
CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN
37
2.1
OPTISCHE
TYANSMISSIONSMESSUNGEN
.
37
2.2
PHOTOSTROMMESSUNGEN
.
39
2.3
KAPAZITAETS-SPANNUNGS-MESSUNGEN
.
40
II
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
43
3
VERLUSTFILTER
BASIEREND
AUF
SOI-RIPPENWELLENLEITERN
MIT
EINEM
BRAGG-GITTER
45
3.1
HERSTELLUNG,
ENTWICKLUNG
EINER
DOPPELHARTMASKENTECHNIK
.
46
3.2
OPTISCHE
CHARAKTERISIERUNG
.
52
3.2.1
HAUPT-BRAGG-PEAK
.
52
3.2.2
BRAGG-REFLEXION
IN
CLADDINGMODEN
.
55
3.2.3
POLARISATIONSABHAENGIGKEIT
DER
BRAGG-WELLENLAENGE
UND
DER
KOPPEL
FAKTOREN
59
4
ADD/DROP
MULTIPLEXER
BASIEREND
AUF
SOI-RECHTECKWELLENLEITER
RINGRESONATO
REN
61
4.1
HERSTELLUNG
.
62
4.2
OPTISCHE
CHARAKTERISIERUNG
.
65
4.2.1
FREIER
SPEKTRALBEREICH
.
65
4.2.2
KOPPELFAKTOREN
.
66
4.2.3
DAEMPFUNG
.
72
4.2.4
AUFHEBUNG
DER
DIREKTIONALITAET
DURCH
RUECKWAERTSSTREUUNG
.
74
4.2.5
OPTIMIERUNG
DER
UEBERTRAGUNGSCHARAKTERISTIK
DURCH
EINE
ASYMMETRI
SCHE
KOPPLUNG
.
76
5
ADD/DROP
MULTIPLEXER
BASIEREND
AUF
2D
PHOTONISCHEN
KRISTALLSCHICHTEN
81
5.1
HERSTELLUNG
.
81
5.2
OPTISCHE
CHARAKTERISIERUNG
.
84
6
PHOTODIODEN
BASIEREND
AUF
GERMANIUM-INSELN
ZUR
LICHTABSORPTION
91
6.1
HERSTELLUNG
.
92
6.2
ELEKTRISCHE
UND
OPTISCHE
CHARAKTERISIERUNG
.
95
6.2.1
HINTERGRUNDDOTIERUNG
.
95
6.2.2
DIODENCHARAKTERISTIK
.
97
6.2.3
BANDBREITE
.
98
6.2.4
EMPFINDLICHKEIT
.
101
7
ZUSAMMENFASSUNG
105
8
AUSBLICK
109
ANHANG
112
IV
LITERATURVERZEICHNIS
117
DANKSAGUNG
124
LEBENSLAUF
127
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