Züchtung und Charakterisierung von versetzungsarmen Silizium-dotierten GaAs-Substratkristallen:
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2002
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INHALT
ZUSAMMENFASSUNG
.
3
ABSTRACT
.
6
1
EINLEITUNG
.
9
1.1
NIEDRIGVERSETZTE
GAAS-SUBSTRATE
FUER
DIE
EPITAXIE
VON
HOCHLEISTUNGSDIODENLASEM
.
10
1.2
GLIEDERUNG
DER
ARBEIT
.
11
1.3
VERFAHREN
ZUR
HERSTELLUNG
NIEDRIGVERSETZTER
GAAS-SUBSTRATKRISTALLE
UND
AUSGANGSPUNKT
DER
ARBEIT
.
12
2
ANWENDUNG
DER
NUMERISCHEN
SIMULATION
ZUR
OPTIMIERUNG
VON
VGF-KRISTALLZUECHTUNGSPROZESSEN
UND
ANLAGEN
.20
2.2
VALIDIERUNG
DES
NUMERISCHEN
MODELLS
DURCH
KRISTALL
ZUECHTUNGSEXPERIMENTE
.
39
2.3
ENTWICKLUNG
EINER
NEUEN
TIEGELSTUETZE
ZUR
3
"
GAAS-ZUECHTUNG
.
45
2.4
ABSCHLIESSENDE
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ERGEBNISSE
ZUR
NUMERISCHEN
MODELLIERUNG
.
55
3
PRAKTISCHE
DURCHFUEHRUNG
UND
ERGEBNISSE
DER
VGF
KRISTALLZUECHTUNGEN
.57
3.1
PRAEPARATION
DER
EINSATZSTOFFE
.
57
3.2
EINGESETZTE
PROZESSE
ZUR
KRISTALLZUECHTUNG
.
60
3.3
ERGEBNISSE
DER
KRISTALLZUECHTUNG
.
61
4
VERSETZUNGEN
IN
VGF-GALLIUMARSENID
.
64
4.1
GRUNDLAGEN
ZU
DEN
VERSETZUNGEN
IM
ZINKBLENDEGITTER
UND
ANSAETZE
ZUR
MODELLIERUNG
DER
EPD
.
64
4.2
EXPERIMENTELLE
VERFAHREN
ZUR
CHARAKTERISIERUNG
DER
VERSETZUNGEN
71
4.3
VERTEILUNG
DER
VERSETZUNGEN
AUF
TESTSCHEIBEN
.
75
2
INHALT
4.4
KLASSIFIKATION
DER
IN
DEN
KRISTALLEN
NACHGEWIESENEN
VERSETZUNGEN
.
82
4.5
UNTERSUCHUNG
DES
ANKEIMVERHALTENS
UND
DER
DEFEKTSTRUKTUREN
IM
SCHEIBENZENTRUM
.
91
4.6
EINFLUSS
VON
PROZESSFUEHRUNG
UND
PHASENGRENZFORM
AUF
DIE
VERSETZUNGSBILDUNG
.
110
4.7
ABSCHLIESSENDE
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
ZUR
VERSETZUNGSBILDUNG.
118
5
DOTIERUNG
UND
PUNKTDEFEKTE
IN
HALBLEITENDEM
VGF-GAAS
.
120
5.1
STAND
DER
LITERATUR
.
120
5.2
UNTERSUCHUNGEN
ZUM
SILIZIUMEINBAU
.
121
5.3
BETRACHTUNG
DER
BEWEGLICHKEIT
DER
LADUNGSTRAEGER
.
132
5.4
BILDUNG
VON
INTERSTITIELLEN
VERSETZUNGSRINGEN
.
137
5.5
UNTERSUCHUNGEN
ZUM
BOREINBAU
IN
SI-DOTIERTES
GAAS
.
139
5.6
UNTERSUCHUNGEN
ZUM
TELLUREINBAU
.
144
5.7
ABSCHLIESSENDE
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
ZUM
DOTIERSTOFFEINBAU
.
148
6
ZUSAMMENFASSENDE
WERTUNG
UND
AUSBLICK
.
149
7
ANHANG:
MATERIALDATEN
ZUR
NUMERISCHEN
MODELLIERUNG.
152
8
LITERATURVERZEICHNIS
.
154
VEROEFFENTLICHUNGEN
.
165
DANKSAGUNG
.
166
LEBENSLAUF.
.
168 |
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