Eckel, M. (2002). Aufskalierung eines gepulsten PACVD-Prozesses mittels optischer Emissionsspektroskopie. Jost-Jetter.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Eckel, Martin. Aufskalierung Eines Gepulsten PACVD-Prozesses Mittels Optischer Emissionsspektroskopie. Heimsheim: Jost-Jetter, 2002.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Eckel, Martin. Aufskalierung Eines Gepulsten PACVD-Prozesses Mittels Optischer Emissionsspektroskopie. Jost-Jetter, 2002.
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