Aufskalierung eines gepulsten PACVD-Prozesses mittels optischer Emissionsspektroskopie:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Heimsheim
Jost-Jetter
2002
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| Schriftenreihe: | IPA-IAO-Forschung und -Praxis
368 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2002 |
| Beschreibung: | 132 S. Ill., graph. Darst. |
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