Interferometrie in streifender Inzidenz mit computer-generierten Hologrammen für optische und technische Oberflächen:
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2003
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
GRUNDLAGEN
DER
INTERFEROMETRIE
3
2.1
ZWEISTRAHLINTERFEROMETER
.
3
2.2
PHASENSCHIEBENDE
INTERFEROMETRIE
.
4
2.3
MESSFEHLERUNTERDRUECKUNG
.
8
2.3.1
VISIBILITYKRITERIUM
UND
SINGULARITAETS-KONTROLLE
.
8
2.4
INTERFEROMETRIE
MIT
STREIFENDER
INZIDENZ
.
9
2.4.1
TECHNISCHE
OBERFLAECHEN
.
9
2.4.2
ENTSTEHUNG
DER
STOCHASTISCHEN
PHASENVARIATIONEN
.
10
2.4.3
PRINZIP
DER
STREIFENDEN
INZIDENZ
.
12
2.4.4
DEJUSTAGEN
.
16
2.4.5
DAS
INVERSIONSPROBLEM
.
22
3
MIKROZYLINDERLINSENTEST
-
STREIFENDE
INZIDENZ
AN
OPTISCHEN
OBER
FLAECHEN
27
3.1
DIE
FORM
DER
MIKROZYLINDERLINSEN
.
28
3.2
AUFBAU
UND
JUSTAGE
DES
INTERFEROMETERS
.
31
3.3
MESSUNG
DER
FORMABWEICHUNGEN
.
35
4
INFRAROTINTERFEROMETER
-
STREIFENDE
INZIDENZ
AN
TECHNISCHEN
OBER
FLAECHEN
41
4.1
MESSPRINZIP
.
41
4.2
MESSUNGEN
AN
TECHNISCHEN
OBERFLAECHEN
.
44
4.2.1
SERIENMESSUNGEN
MIT
UNTERSCHIEDLICHEN
GITTERPERIODEN
.
.
45
4.2.2
WIEDERHOLBARKEIT
.
48
5
STEIGERUNG
DER
GENAUIGKEIT
51
5.1
KORREKTUR
DER
ANAMORPHOTISCHEN
VERZERRUNG
.
51
5.1.1
ENTZERRUNG
DURCH
VOLUMENHOLOGRAMME
.
53
5.1.2
ENTZERRUNG
DURCH
DIFFRAKTIVE
OPTISCHE
ELEMENTE
.
62
5.2
ABSOLUTPRUEFUNG
UNTER
STREIFENDER
INZIDENZ
.
72
5.2.1
ALLGEMEINES
PRINZIP
DES
ABSOLUTTESTS
.
72
IV
INHALTSVERZEICHNIS
5.2.2
FORMALE
BEHANDLUNG
.
75
5.2.3
SIMULATIONEN
.
84
5.2.4
VERSUCHSAUFBAU
UND
MESSUNGEN
.
90
6
ZUSAMMENFASSUNG
101
ANHANG
A:
TECHNISCHE
DATEN
DER
INFRAROT
KAMERA
105
ANHANG
B:
ABSOLUTTEST
VON
SPHAEREN
107
ANHANG
C:
MANTELABWICKLUNG
DER
ZYLINDER
OBERFLAECHE
109
DANKSAGUNG
113
LEBENSLAUF
117
LITERATURVERZEICHNIS
119
EIGENE
VEROEFFENTLICHUNGEN
123 |
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