Simulationsgestützte Oberflächendiagnostik mittels Speckle-Interferometrie:
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 3
2 GRUNDLAGEN ZUR SPECKLE-MESSTECHNIK 6
2.1 DER SPECKLE-EFFEKT.7. 6
2.2 SPECKLE-INTERFEROMETRIE. 8
2.2.1 INTERFEROMETERARTEN. 9
2.2.2 DEFORMATIONSMESSUNG. 14
2.2.3 FORMVERMESSUNG . 15
2.2.4 GRENZEN DER MESSTECHNIK. 17
2.3 PHASENSCHIEBEN. 19
2.3.1 PHASENSCHIEBE-ALGORITHMEN . 19
2.3.2 ZEITLICHES PHASENSCHIEBEN .21
2.3.3 RAEUMLICHES PHASENSCHIEBEN.22
3 DAS SIMULATIONSMODELL 24
3.1 SIMULATIONSPRINZIP. 25
3.2 DAS STRAHLENMODELL,. 27
3.2.1 ALLGEMEINER ZUSAMMENHANG ZWISCHEN INTENSITAET UND
ELEKTRISCHEM FELD.27
3.2.2 BERECHNUNG DER INTENSITAET RESULTIEREND AUS EINEM OPTI
SCHEN FELD.30
3.2.3 BERECHNUNG DER INTENSITAET RESULTIEREND AUS DER UEBERLA
GERUNG ZWEIER OPTISCHER FELDER . 31
3.2.4 BERECHNUNG DER INTENSITAET RESULTIEREND AUS DER UEBERLA
GERUNG N OPTISCHER FELDER.34
3.2.5 BERUECKSICHTIGUNG VON POLARISATION UND BEUGUNG . 38
3.2.6 UEBERPRUEFUNG DER SPECKLE-INTERFERENZGLEICHUNG.51
3.2.7 AUSWAHL UND VERLAUF GEEIGNETER STRAHLEN.61
3.2.8 ALTERNATIVE BERECHNUNG DER BEUGUNG.72
3.2.9 GRENZEN. 79
3.2.10 ZUSAMMENFASSUNG: STRAHLENMODELL .82
1
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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2
INHALTSVERZEICHNIS
3.3 DAS OBERFLAECHENMODELL. 85
3.4 DIE MODELLE DER UEBRIGEN KOMPONENTEN. 93
3.4.1 LASER.93
3.4.2 STRAHLTEILER . 95
3.4.3 SPIEGEL.95
3.4.4 ABBILDUNGSOPTIK .' 96
3.4.5 KAMERA. 96
3.5 SIMULATIONSBEISPIELE. 97
4 DAS SPECKLE-INTERFEROMETER LAOS 119
4.1 AUFBAU UND FUNKTION DES MESSSYSTEMS LAOS.121
4.1.1 GRUNDSTRUKTUR .122
4.1.2 GESAMTAUFBAU.139
4.1.3 RAEUMLICHES PHASENSCHIEBEN.141 ~
4.1.4 ZUSAMMENFASSUNG.143
4.2 MESSUNGEN.145
5 ZUSAMMENFASSUNG 161 |
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