Schottky-Dioden auf Galliumnitrid: Eigenschaften und Anwendungen in der Sensorik
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Garching
Verein zur Förderung des Walter Schottky Inst. der Techn. Univ. München e.V.
2002
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Selected topics of semiconductor physics and technology
43 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 2001 |
| Beschreibung: | XIII, 182 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
SUMMARY
V
INHALTSVERZEICHNIS
IX
LISTE
HAEUFIG
VERWENDETERZEICHEN,
KONSTANTEN
UND
SYMBOLE
XII
1
EINLEITUNG
1
2
METALL-HALBLEITERUEBERGAENGE
4
2.1
INTRINSISCHE
OBERFLAECHENZUSTAENDE
(VIGS)
4
2.2
METALL-HALBLEITERGRENZFLAECHE
11
2.2.1
AUSBILDUNG
DER
BARRIERE
NACH
SCHOTTKY
UND
MOTT
12
2.2.2
EINFLUSS
VON
OBERFLAECHENLADUNGEN
UND
ELEKTRONEGATIVITAETSKONZEPT
17
2.2.3
METAL-INDUCED
GAP
STATES
(MIGS)
23
2.2.4
EXTRINSISCHE
DEFEKTE
AN
DER
GRENZFLAECHE
27
2.3
ELEKTRISCHER
TRANSPORT
30
2.3.1
EMISSION
UEBER
DIE
BARRIERE
31
2.3.2
TUNNELN
DURCH
DIE
BARRIERE
37
2.3.3
REKOMBINATION
IN
DER
RAUMLADUNGSZONE
39
2.3.4
LOECHERINJEKTION
40
2.3.5
EINFLUESSE
AUF
DEN
VORWAERTS
UND
RUECKWAERTSSTROM
41
2.3.6
OHMSCHE
KONTAKTE
44
2.4
BESTIMMUNG
DER
BARRIERENHOEHE
45
2.4.1
STROM-SPANNUNGSMESSUNGEN
45
2.4.2
INTERNE
PHOTOEMISSION
47
2.4.3
KAPAZITAETS-SPANNUNGSMESSUNGEN
47
2.4.4
PHOTOELEKTRONEN-SPEKTROSKOPIE
(PES)
48
INHALTSVERZEICHNIS
_
S
3
GRUPPE
HL-NITRIDE
51
3.1
GRUNDLEGENDE
EIGENSCHAFTEN
51
3.2
WACHSTUM
55
3.3
DOTIERUNG
64
3.4
POLARITAET
UND
POLARISATION
65
4
SI-DOTIERUNG
VON
GAN
70
4.1
WACHSTUM,
SI-GEHALT
UND
LADUNGSTRAEGERKONZENTRATION
71
4.2
MORPHOLOGIE
UND
STRUKTURELLE
QUALITAET
76
4.3
TEMPERATURABHAENGIGE
MESSUNGEN
DES
HA//-EFFEKTS
81
4.4
RAUSCHEN
90
5
SCHOTTKY-KONTAKTE
AUF
GAN
94
5.1
METALLISIERUNG
94
5.2
LU-KENNLINIEN
UND
CV-MESSUNGEN
97
5.3
INTERPRETATION
DER
BARRIERENHOEHEN
AUF
GAN
105
5.4
SCHOTTKY-KONTAKTE
AUF
HVPE-GAN
113
5.5
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
UND
R/CHARCFEON-KONSTANTE
116
5.6
INTERNE
PHOTOEMISSION
119
5.7
DEGRADATION
120
5.8
RAUSCHEN
121
5.9
DRUCKABHAENGIGE
MESSUNGEN
125
5.10
ZUSAMMENFASSUNG
126
INHALTSVERZEICHNIS
_
S
6
UV-DETEKTOREN
127
6.1
PHOTOLEITER
128
6.2
GAN
UND
AIGAN-SCHOTTKY-DIODEN
138
7
GAN
ALS
WASSERSTOFF-DETEKTOR
149
7.1
DETEKTIONSMECHANISMUS
BEI
KATALYTISCHEN
KONTAKTEN
150
7.2
GAN-SCHOTTKY-DIODEN
ALS
WASSERSTOFF-SENSOREN
152
8
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
158
ANHANG
163
LITERATURVERZEICHNIS
165
LISTE
DER
VEROEFFENTLICHUNGEN
180
DANKSAGUNG
182 |
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