Verfügbarkeit: Requirements and recent developments in high precision length metrology

Requirements and recent developments in high precision length metrology: proceedings of the 159. PTB-Seminar (28th - 29th Nov. 2001)

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Bremerhaven Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss. 2001
Schriftenreihe:	PTB-Bericht Abteilung Fertigungsmeßtechnik ; 45 Vorträge des PTB-Seminars 159
Schlagworte:	Präzisionsmessung Komparator > Längenmessung Nanometerbereich Konferenzschrift > 2001 > Braunschweig
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Beschreibung:	235 S. Ill., graph. Darst. : 30 cm
ISBN:	3897018411

Internformat

MARC


LEADER	00000nam a2200000 cb4500
001	BV014850101
003	DE-604
005	20040218
007	t
008	021029s2001 gw ad\|\| t\|\|\| 10\|\|\| eng d
016	7		\|a 965303675 \|2 DE-101
020			\|a 3897018411 \|9 3-89701-841-1
035			\|a (OCoLC)76406148
035			\|a (DE-599)BVBBV014850101
040			\|a DE-604 \|b ger \|e rakddb
041	0		\|a eng
044			\|a gw \|c DE
049			\|a DE-12 \|a DE-29T
088			\|a PTB F 45
245	1	0	\|a Requirements and recent developments in high precision length metrology \|b proceedings of the 159. PTB-Seminar (28th - 29th Nov. 2001) \|c Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Thermodynamik und Explosionsschutz ; [Physikalisch-Technische Bundesanstalt. Hrsg.: Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig und Berlin, Presse und Öffentlichkeitsarbeit]. Harald Bosse ; Jens Flügge (Hrsg.)
264		1	\|a Bremerhaven \|b Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss. \|c 2001
300			\|a 235 S. \|b Ill., graph. Darst. : 30 cm
336			\|b txt \|2 rdacontent
337			\|b n \|2 rdamedia
338			\|b nc \|2 rdacarrier
490	1		\|a PTB-Bericht : Abteilung Fertigungsmeßtechnik \|v 45
490	1		\|a Vorträge des PTB-Seminars \|v 159
650	0	7	\|a Präzisionsmessung \|0 (DE-588)4175566-2 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Komparator \|g Längenmessung \|0 (DE-588)4654254-1 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Nanometerbereich \|0 (DE-588)4327473-0 \|2 gnd \|9 rswk-swf
655		7	\|0 (DE-588)1071861417 \|a Konferenzschrift \|y 2001 \|z Braunschweig \|2 gnd-content
689	0	0	\|a Komparator \|g Längenmessung \|0 (DE-588)4654254-1 \|D s
689	0	1	\|a Präzisionsmessung \|0 (DE-588)4175566-2 \|D s
689	0	2	\|a Nanometerbereich \|0 (DE-588)4327473-0 \|D s
689	0		\|5 DE-604
700	1		\|a Bosse, Harald \|e Sonstige \|4 oth
710	2		\|a Physikalisch-Technische Bundesanstalt \|b Abteilung Thermodynamik und Explosionsschutz \|e Sonstige \|0 (DE-588)5274864-9 \|4 oth
830		0	\|a PTB-Bericht \|v Abteilung Fertigungsmeßtechnik ; 45 \|w (DE-604)BV000628479 \|9 45
830		0	\|a Vorträge des PTB-Seminars \|v 159 \|w (DE-604)BV000808124 \|9 159
856	4	2	\|m GBV Datenaustausch \|q application/pdf \|u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010046341&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA \|3 Inhaltsverzeichnis
999			\|a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-010046341

Datensatz im Suchindex

_version_	1804129617315889152
adam_text	IMAGE 1 PHYSIKALISCH-TECHNISCHE BUNDESANSTALT FERTIGUNGSMESSTECHNIK PTB-F-45 BRAUNSCHWEIG, NOVEMBER 2001 HARALD BOSSE, JENS FLUGGE (HRSG.) REQUIREMENTS AND RECENT DEVELOPMENTS IN HIGH PRECISION LENGTH METROLOGY PROCEEDINGS OF THE 159. PTB-SEMINAR (28 TH -29 TH NOV. 2001) INFORMATIONSBFBTLOTHEK UNWERSITATSBIBLIOTHEK HANNOVER TECHNISCHE ISSN 0179-0609 ISBN 3-89701-841-1 IMAGE 2 - 2- CONTENTS AUTHOR/T IWE PAGE J. FLUGGE: DESIGN AND FIRST RESULTS OF PTB S NEW NANOMETER COMPARATOR 7-22 V. WEGNER: SENSOR-DESIGN AND CONTROL-CONFIGURATION OF PTB S NEW NANOMETER COMPARATOR 23-35 F. MAEDA: A LINE SCALE MEASUREMENT SYSTEM DEVELOPED BY MITUTOYO 36-46 W. ISRAEL: CALIBRATION AND CHARACTERIZATION OF EXPOSED LINEAR INCREMENTAL ENCODERS AT DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH - SELECTED EXAMPLES 47-55 A. YACOOT: COMBINED OPTICAL AND X-RAY INTERFEROMETRY 56-75 C. ZANONI: RECENT DEVELOPMENTS IN DISPLACEMENT MEASURING INTERFEROMETRY 76-97 H. BOSSE: PTB CONTRIBUTIONS TO MASK METROLOGY 98-111 D. SWYT: NIST DIMENSIONAL METROLOGY FOR MICROELECTRONICS 112-128 J. BURGHOORN: OPTICAL WAFER ALIGNMENT AND OVERLAY METROLOGY FOR STATE-OF-THE-ART IC MANUFACTURING 129-140 T. KIERS: CD METROLOGY AT ASML 141-152 T. HAGNER: LENGTH METROLOGY REQUIREMENTS IN MASK INDUSTRY 153-170 K.-D. ROTH: COORDINATE METROLOGY AND CD MEASUREMENT IN TRANSMITTED LIGHT 171 -186 F. /WE//: DEVELOPMENT OF AN OPTICAL 2D MEASURING INSTRUMENT AT METAS 187-201 M. ANDRAS, R. CHRISTOPH: HIGH PRECISION MULTISENSOR COORDINATE MEASURING MACHINE 202-220 K. WENDT, J. HIRSCH: CALIBRATION OF GRID-PLATES BY MULTI-LATERATION 221-235
any_adam_object	1
building	Verbundindex
bvnumber	BV014850101
ctrlnum	(OCoLC)76406148 (DE-599)BVBBV014850101
format	Book
fullrecord	<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02331nam a2200457 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV014850101</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20040218 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">021029s2001 gw ad\|\| t\|\|\| 10\|\|\| eng d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">965303675</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3897018411</subfield><subfield code="9">3-89701-841-1</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76406148</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV014850101</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">eng</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PTB F 45</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Requirements and recent developments in high precision length metrology</subfield><subfield code="b">proceedings of the 159. PTB-Seminar (28th - 29th Nov. 2001)</subfield><subfield code="c">Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Thermodynamik und Explosionsschutz ; [Physikalisch-Technische Bundesanstalt. Hrsg.: Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig und Berlin, Presse und Öffentlichkeitsarbeit]. Harald Bosse ; Jens Flügge (Hrsg.)</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Bremerhaven</subfield><subfield code="b">Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss.</subfield><subfield code="c">2001</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">235 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst. : 30 cm</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">PTB-Bericht : Abteilung Fertigungsmeßtechnik</subfield><subfield code="v">45</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Vorträge des PTB-Seminars</subfield><subfield code="v">159</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Präzisionsmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4175566-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Komparator</subfield><subfield code="g">Längenmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4654254-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Nanometerbereich</subfield><subfield code="0">(DE-588)4327473-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)1071861417</subfield><subfield code="a">Konferenzschrift</subfield><subfield code="y">2001</subfield><subfield code="z">Braunschweig</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Komparator</subfield><subfield code="g">Längenmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4654254-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Präzisionsmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4175566-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Nanometerbereich</subfield><subfield code="0">(DE-588)4327473-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Bosse, Harald</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="710" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Physikalisch-Technische Bundesanstalt</subfield><subfield code="b">Abteilung Thermodynamik und Explosionsschutz</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)5274864-9</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">PTB-Bericht</subfield><subfield code="v">Abteilung Fertigungsmeßtechnik ; 45</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000628479</subfield><subfield code="9">45</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Vorträge des PTB-Seminars</subfield><subfield code="v">159</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000808124</subfield><subfield code="9">159</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">GBV Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010046341&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-010046341</subfield></datafield></record></collection>
genre	(DE-588)1071861417 Konferenzschrift 2001 Braunschweig gnd-content
genre_facet	Konferenzschrift 2001 Braunschweig
id	DE-604.BV014850101
illustrated	Illustrated
indexdate	2024-07-09T19:07:59Z
institution	BVB
institution_GND	(DE-588)5274864-9
isbn	3897018411
language	English
oai_aleph_id	oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-010046341
oclc_num	76406148
open_access_boolean
owner	DE-12 DE-29T
owner_facet	DE-12 DE-29T
physical	235 S. Ill., graph. Darst. : 30 cm
publishDate	2001
publishDateSearch	2001
publishDateSort	2001
publisher	Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss.
record_format	marc
series	PTB-Bericht Vorträge des PTB-Seminars
series2	PTB-Bericht : Abteilung Fertigungsmeßtechnik Vorträge des PTB-Seminars
spelling	Requirements and recent developments in high precision length metrology proceedings of the 159. PTB-Seminar (28th - 29th Nov. 2001) Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Thermodynamik und Explosionsschutz ; [Physikalisch-Technische Bundesanstalt. Hrsg.: Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig und Berlin, Presse und Öffentlichkeitsarbeit]. Harald Bosse ; Jens Flügge (Hrsg.) Bremerhaven Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss. 2001 235 S. Ill., graph. Darst. : 30 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier PTB-Bericht : Abteilung Fertigungsmeßtechnik 45 Vorträge des PTB-Seminars 159 Präzisionsmessung (DE-588)4175566-2 gnd rswk-swf Komparator Längenmessung (DE-588)4654254-1 gnd rswk-swf Nanometerbereich (DE-588)4327473-0 gnd rswk-swf (DE-588)1071861417 Konferenzschrift 2001 Braunschweig gnd-content Komparator Längenmessung (DE-588)4654254-1 s Präzisionsmessung (DE-588)4175566-2 s Nanometerbereich (DE-588)4327473-0 s DE-604 Bosse, Harald Sonstige oth Physikalisch-Technische Bundesanstalt Abteilung Thermodynamik und Explosionsschutz Sonstige (DE-588)5274864-9 oth PTB-Bericht Abteilung Fertigungsmeßtechnik ; 45 (DE-604)BV000628479 45 Vorträge des PTB-Seminars 159 (DE-604)BV000808124 159 GBV Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010046341&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis
spellingShingle	Requirements and recent developments in high precision length metrology proceedings of the 159. PTB-Seminar (28th - 29th Nov. 2001) PTB-Bericht Vorträge des PTB-Seminars Präzisionsmessung (DE-588)4175566-2 gnd Komparator Längenmessung (DE-588)4654254-1 gnd Nanometerbereich (DE-588)4327473-0 gnd
subject_GND	(DE-588)4175566-2 (DE-588)4654254-1 (DE-588)4327473-0 (DE-588)1071861417
title	Requirements and recent developments in high precision length metrology proceedings of the 159. PTB-Seminar (28th - 29th Nov. 2001)
title_auth	Requirements and recent developments in high precision length metrology proceedings of the 159. PTB-Seminar (28th - 29th Nov. 2001)
title_exact_search	Requirements and recent developments in high precision length metrology proceedings of the 159. PTB-Seminar (28th - 29th Nov. 2001)
title_full	Requirements and recent developments in high precision length metrology proceedings of the 159. PTB-Seminar (28th - 29th Nov. 2001) Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Thermodynamik und Explosionsschutz ; [Physikalisch-Technische Bundesanstalt. Hrsg.: Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig und Berlin, Presse und Öffentlichkeitsarbeit]. Harald Bosse ; Jens Flügge (Hrsg.)
title_fullStr	Requirements and recent developments in high precision length metrology proceedings of the 159. PTB-Seminar (28th - 29th Nov. 2001) Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Thermodynamik und Explosionsschutz ; [Physikalisch-Technische Bundesanstalt. Hrsg.: Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig und Berlin, Presse und Öffentlichkeitsarbeit]. Harald Bosse ; Jens Flügge (Hrsg.)
title_full_unstemmed	Requirements and recent developments in high precision length metrology proceedings of the 159. PTB-Seminar (28th - 29th Nov. 2001) Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Thermodynamik und Explosionsschutz ; [Physikalisch-Technische Bundesanstalt. Hrsg.: Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig und Berlin, Presse und Öffentlichkeitsarbeit]. Harald Bosse ; Jens Flügge (Hrsg.)
title_short	Requirements and recent developments in high precision length metrology
title_sort	requirements and recent developments in high precision length metrology proceedings of the 159 ptb seminar 28th 29th nov 2001
title_sub	proceedings of the 159. PTB-Seminar (28th - 29th Nov. 2001)
topic	Präzisionsmessung (DE-588)4175566-2 gnd Komparator Längenmessung (DE-588)4654254-1 gnd Nanometerbereich (DE-588)4327473-0 gnd
topic_facet	Präzisionsmessung Komparator Längenmessung Nanometerbereich Konferenzschrift 2001 Braunschweig
url	http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=010046341&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA
volume_link	(DE-604)BV000628479 (DE-604)BV000808124
work_keys_str_mv	AT bosseharald requirementsandrecentdevelopmentsinhighprecisionlengthmetrologyproceedingsofthe159ptbseminar28th29thnov2001 AT physikalischtechnischebundesanstaltabteilungthermodynamikundexplosionsschutz requirementsandrecentdevelopmentsinhighprecisionlengthmetrologyproceedingsofthe159ptbseminar28th29thnov2001

Verfügbarkeit

Es ist kein Print-Exemplar vorhanden.

Fernleihe Bestellen Achtung: Nicht im THWS-Bestand! Inhaltsverzeichnis

MARC

Datensatz im Suchindex

Es ist kein Print-Exemplar vorhanden.

Ähnliche Einträge