Hilleringmann, U. (2002). Silizium-Halbleitertechnologie: Mit 35 Übungsaufgaben (3., überarb. und erg. Aufl.). Teubner.
Chicago Style (17th ed.) CitationHilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Mit 35 Übungsaufgaben. 3., überarb. und erg. Aufl. Stuttgart [u.a.]: Teubner, 2002.
MLA (9th ed.) CitationHilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Mit 35 Übungsaufgaben. 3., überarb. und erg. Aufl. Teubner, 2002.
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