Micromachined mirrors:
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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Conant, Robert A. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Boston Kluwer Academic Publishers 2003
Schriftenreihe:The Kluwer international series in microsystems
Schlagworte:
Beschreibung:Includes bibliographical references (p. [133]-139)
Beschreibung:XVI, 139 S. Ill.
ISBN:1402073127

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