Mikromechanische Aktuatoren für Hochfrequenz-Schalter in der Telekommunikation:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2002
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Regensburg, Univ., Diss., 2002 |
| Beschreibung: | IV, 99 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV014768042 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20030109 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 020924s2002 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 965041611 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)249110729 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV014768042 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-355 |a DE-29T |a DE-706 |a DE-83 | ||
| 100 | 1 | |a Plötz, Florian J. |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Mikromechanische Aktuatoren für Hochfrequenz-Schalter in der Telekommunikation |c von Florian J. Plötz |
| 264 | 1 | |c 2002 | |
| 300 | |a IV, 99 S. |b Ill., graph. Darst. : 21 cm | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Regensburg, Univ., Diss., 2002 | ||
| 650 | 4 | |a Hochfrequenzschaltung - Aktor - Mikromechanik | |
| 650 | 0 | 7 | |a Hochfrequenzschaltung |0 (DE-588)4160147-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Aktor |0 (DE-588)4198914-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Hochfrequenzschaltung |0 (DE-588)4160147-6 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Aktor |0 (DE-588)4198914-4 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m HBZ Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009999876&sequence=000002&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009999876 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804129492089700352 |
|---|---|
| adam_text | Titel: Mikromechanische Aktuatoren für Hochfrequenz-Schalter in der Telekommunikation
Autor: Plötz, Florian J.
Jahr: 2002
Inhaltsverzeichnis
1 Einleitung 1
2 Mikromechanik 4
2.1 Klatwisehe Mikroimvliatiik 4
2.2 Miknwystonic für HK-A)iwi-iiilmi|;i ii 5
2.2.1 Induktivitäten 6
2.2.2 Variable Kapazitäten 7
2.3 Stand der Technik bei lnikroincchanfachcn Schaltern 8
3 Schalter aus galvanischem Metall 11
3.1 Analytische Beschreibung von CantilevCTschaltiTn 11
3.2 Realisierung der Srhalter 13
3.2.1 Diwign IS
3.2.2 ProzHäni.lanf 1J
3.2.3 Probi unrntiTial 14
3.3 MilN miR«vti ati i lalwinikwlialtfrii 14
4 Polysiliziutn-Aktuator 19
¦1.1 Wippfnik-sign . . 20
4.2 Dimra.HioiiR.Tung jis Aktuat«irs 22
4.2.1 Analytische Unsrhrciliung 23
4.2.2 Simulation 29
4.3 T -httlii} 32
4.3.1 Ct«-rM l)t 32
4.3.2 StandaHilMtisn . 32
4.3.3 Variationen 35
4.4 Prozessierung 35
4.4.1 Priwießübcrsicht 36
4.4.2 Struktur-Polysilizium 38
4.4.3 Ereilegung und Antisticking 38
4.4.4 Probenmaterial 43
4.5 Aktuationsmessungen 45
4.5.1 Optische Kontrolle 45
4.5.2 Kapazitive Detektion 50
5 Dynamisches Verhalten der Torsionswippe 53
5.1 Theorie zum dynamischen Verhalten der Wippe 53
5.1.1 Resonanzfrequenz der Torsionswippe 53
5.1.2 Zusammenhang Aktuationsspannung - Schaltzeit 54
5.1.3 Transiente Bewegung 56
5.2 Resonanzmoden 57
5.2.1 FEM-Simulation 57
5.2.2 Meßaufbau Laserinterferometer 58
5.2.3 Meßergebnisse 61
5.3 Transientes Verhalten 61
5.3.1 Numerische Lösung 61
5.3.2 Meßaufbau und Auswertung 63
5.3.3 Ergebnisse 65
5.4 Lebensdauer 69
6 Mikrorelais mit Wippenakt uator 70
6.1 Schaltprinzip 71
6.2 Prozessierung 72
6.2.1 Prozeßablauf 74
6.2.2 Scheibenmaterial 74
6.2.3 Kontakte 75
6.3 Niederfrequenz-Messungen 79
6.3.1 Schaltspannung 79
6.3.2 Schaltzeit 81
6.4 HF-Charakterisierung 83
6.4.1 Ersatzschaltbild 83
6.4.2 Eintorstreuparameter 83
6.4.3 Transmission bei Zweitorkonfiguration 84
7 Optimierung der Relais-Eigenschaften 89
7.1 Reduzierung der Leitungsparasiten 89
7.1.1 Kapazitive Kopplung 89
7.1.2 Mikrostreifenleitungen 90
7.1.3 Hochohmige Substrate 92
7.1.4 Designvariationen 92
7.2 Kontakteigenschaften 93
7.2.1 Kontaktmaterialien 94
7.2.2 Kontaktkräfte 95
8 Zusammenfassung 97
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Plötz, Florian J. |
| author_facet | Plötz, Florian J. |
| author_role | aut |
| author_sort | Plötz, Florian J. |
| author_variant | f j p fj fjp |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV014768042 |
| ctrlnum | (OCoLC)249110729 (DE-599)BVBBV014768042 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01576nam a2200397 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV014768042</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20030109 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">020924s2002 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">965041611</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)249110729</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV014768042</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Plötz, Florian J.</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikromechanische Aktuatoren für Hochfrequenz-Schalter in der Telekommunikation</subfield><subfield code="c">von Florian J. Plötz</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2002</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">IV, 99 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst. : 21 cm</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Regensburg, Univ., Diss., 2002</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Hochfrequenzschaltung - Aktor - Mikromechanik</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hochfrequenzschaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4160147-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Aktor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4198914-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Hochfrequenzschaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4160147-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Aktor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4198914-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">HBZ Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009999876&sequence=000002&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009999876</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV014768042 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T19:06:00Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009999876 |
| oclc_num | 249110729 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-706 DE-83 |
| owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-706 DE-83 |
| physical | IV, 99 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
| publishDate | 2002 |
| publishDateSearch | 2002 |
| publishDateSort | 2002 |
| record_format | marc |
| spelling | Plötz, Florian J. Verfasser aut Mikromechanische Aktuatoren für Hochfrequenz-Schalter in der Telekommunikation von Florian J. Plötz 2002 IV, 99 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Regensburg, Univ., Diss., 2002 Hochfrequenzschaltung - Aktor - Mikromechanik Hochfrequenzschaltung (DE-588)4160147-6 gnd rswk-swf Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd rswk-swf Aktor (DE-588)4198914-4 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Hochfrequenzschaltung (DE-588)4160147-6 s Aktor (DE-588)4198914-4 s Mikromechanik (DE-588)4205811-9 s DE-604 HBZ Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009999876&sequence=000002&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Plötz, Florian J. Mikromechanische Aktuatoren für Hochfrequenz-Schalter in der Telekommunikation Hochfrequenzschaltung - Aktor - Mikromechanik Hochfrequenzschaltung (DE-588)4160147-6 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Aktor (DE-588)4198914-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4160147-6 (DE-588)4205811-9 (DE-588)4198914-4 (DE-588)4113937-9 |
| title | Mikromechanische Aktuatoren für Hochfrequenz-Schalter in der Telekommunikation |
| title_auth | Mikromechanische Aktuatoren für Hochfrequenz-Schalter in der Telekommunikation |
| title_exact_search | Mikromechanische Aktuatoren für Hochfrequenz-Schalter in der Telekommunikation |
| title_full | Mikromechanische Aktuatoren für Hochfrequenz-Schalter in der Telekommunikation von Florian J. Plötz |
| title_fullStr | Mikromechanische Aktuatoren für Hochfrequenz-Schalter in der Telekommunikation von Florian J. Plötz |
| title_full_unstemmed | Mikromechanische Aktuatoren für Hochfrequenz-Schalter in der Telekommunikation von Florian J. Plötz |
| title_short | Mikromechanische Aktuatoren für Hochfrequenz-Schalter in der Telekommunikation |
| title_sort | mikromechanische aktuatoren fur hochfrequenz schalter in der telekommunikation |
| topic | Hochfrequenzschaltung - Aktor - Mikromechanik Hochfrequenzschaltung (DE-588)4160147-6 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Aktor (DE-588)4198914-4 gnd |
| topic_facet | Hochfrequenzschaltung - Aktor - Mikromechanik Hochfrequenzschaltung Mikromechanik Aktor Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009999876&sequence=000002&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT plotzflorianj mikromechanischeaktuatorenfurhochfrequenzschalterindertelekommunikation |