Lokal selektives Bonden von Silizium und Glas mit Laser:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2002
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Lasertechnik
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2002 |
| Beschreibung: | VI, 139 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
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INHALT
1
EINLEITUNG
-
MIKROSYSTEMTECHNIK
1
2
AUFGABENSTELLUNG
UND
ZIELSETZUNG
3
3
WAFERBONDEN
-
ENTWICKLUNG
UND
STAND
DER
TECHNIK
5
3.1
PHYSIKALISCHE
VORGAENGE
BEIM
RAUMTEMPERATURBONDEN
5
3.2
SILIZIUM-SILIZIUM
BONDEN
7
3.3
WAFERBONDEN
ARTUNGLEICHER
WERKSTOFFE
11
3.4
ANODISCHES
BONDEN
12
4
LASERSTRAHL
SILIZIUM-GLAS
BONDEN
(LB)
15
4.1
VERFAHRENSBESCHREIBUNG
15
4.2
WERKSTOFFE
UND
WERKSTOFFEIGENSCHAFTEN
16
4.2.1
SILIZIUM
16
4.2.2
ALKALIBOROSILIKATGLAS
26
4.2.3
PROBENVORBEHANDLUNG
30
4.3
LASER
31
4.4
PROZESSRELEVANTE
EINFLUSSGROESSEN
33
4.5
ANALYSE
DER
THERMISCHEN
VORGAENGE
34
4.5.1
EXPERIMENTELLE
BEOBACHTUNGEN
34
4.5.2
ORT-UND
ZEITAUFGELOESTE
TEMPERATURMESSUNG
37
4.5.3
SIMULATION
DES
TEMPERATURFELDES
44
4.5.4
THERMOMECHANISCHE
VORGAENGE
50
4.6
THERMODYNAMISCHE
ANALYSE
DER
GRENZFLAECHENREAKTIONEN
52
5
MIKROSTRUKTURELLE
CHARAKTERISIERUNG
VON
LASERSTRAHL-SILIZIUM-GLAS-BONDUNGEN
61
5.1
INFRAROTSPEKTROSKOPIE
61
5.2
MIKROSKOPIE
64
5.3
RAMAN
MIKROSONDENSPEKTROSKOPIE
70
5.3.1
GRUNDLAGEN
70
5.3.2
PROBENHERSTELLUNG
UND
EXPERIMENTELLES
VORGEHEN
73
5.3.3
RAMANSPEKTREN
UND
AUSWERTUNG
74
6
TECHNOLOGISCHE
UND
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
VON
LASERSTRAHL-SILIZIUM-GLAS
BONDUNGEN
81
6.1
CHEMISCHER
ANGRIFF
81
6.1.1
VORGEHENSWEISE
81
6.1.2
ERGEBNISSE
ZUM
CHEMISCHEN
ANGRIFF
82
6.2
GASPERMEATION
83
6.3
MECHANISCHE
PRUEFUNG
85
6.3.1
BRUCHMECHANIK
SPROED-ELASTISCHER
WERKSTOFFE
85
6.3.2
MIKRO-CHEVRON-TEST
89
6.3.3
BERSTDRUCKVERSUCH
100
6.3.4
ZUGVERSUCHE
112
7
DISKUSSION
116
8
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ERKENNTNISSE
UND
AUSBLICK
118
LITERATUR
121
APPENDIX
127
II |
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