Entwicklung und Aufbau einer neuartigen MOCVD-Anlage zum Wachstum ferroelektrischer Dünnschichten:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schäfer, Patrick Ralf (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Jülich Forschungszentrum, Zentralbibliothek 2002
Schriftenreihe:Berichte des Forschungszentrums Jülich 3956
Schlagworte:
Online-Zugang:Inhaltsverzeichnis
Beschreibung:Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2001
Beschreibung:133 S. Ill., graph. Darst. : 30 cm

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