Optical microscanners and microspectrometers using thermal bimorph actuators:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Lammel, Gerhard (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Boston Kluwer Academic 2002
Schriftenreihe:Microsystems 8
Schlagworte:
Beschreibung:Includes bibliographical references (p. 229-253) and index
Beschreibung:xii, 268 p. ill. : 25 cm
ISBN:0792376552

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