(2002). Chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies. Kluwer Academic Publishers.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-technologies. Dordrecht: Kluwer Academic Publishers, 2002.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-technologies. Kluwer Academic Publishers, 2002.
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