(2000). Design, test, integration, and packaging of MEMS, MOEMS: 9 - 11 May 2000, Paris, France. SPIE.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS, MOEMS: 9 - 11 May 2000, Paris, France. Bellingham, Wash: SPIE, 2000.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS, MOEMS: 9 - 11 May 2000, Paris, France. SPIE, 2000.
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