Untersuchung der Einflussgrößen und kinetischen Vorgänge beim Aufkohlen im Plasma:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2002
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| Schriftenreihe: | Forschungsberichte aus der Stiftung Institut für Werkstofftechnik Bremen
11 |
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 2002 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
UND
PROBLEMSTELLUNG
1
2.
STAND
DER
TECHNIK
3
2.1
ENTSTEHUNG
DES
PLASMAS
(GLIMMENTLADUNG)
3
2.2
DISSOZIATION
UND
IONISATION
DER
KOHLUNGSGASE
5
2.3
ERKENNTNISSE
AUS
DEM
GASAUFKOHLUNGSPROZESS
6
2.4
ERKENNTNISSE
ZUM
PLASMA-AUFKOHLEN
8
2.4.1
EINFLUESSE
VERSCHIEDENER
PARAMETER
AUF
DIE
PLASMA-AUFKOHLUNG
8
2.4
1.1
EINFLUESSE
DER
GASE
BZW.
GASGEMISCHE
BEIM
PLASMA
AUFKOHLEN
9
2.4.1.2
WERKSTOFFEINFLUESSE
AUF
DAS
PLASMA-AUFKOHLEN
13
2.4.1.3
PLASMA-KENNGROESSEN
-
EINFLUESSE
VON
STROM
BZW.
LEISTUNGSDICHTE,
FREQUENZEN
UND
PULS-/PAUSEN
VERHAELTNISSEN
21
2.4.1.4
EINFLUSS
DER
BEHANDLUNGSDAUER
AUF
DAS
PLASMA-AUFKOHLEN
25
2.4.1.5
EINFLUESSE
DER
GASMISCHUNG
UND
DER
DURCHFLUSSMENGEN
AUF
DIE
PLASMA-AUFKOHLUNG
27
2.4.2
GEDANKEN
ZUR
KOHLENSTOFFUEBERTRAGUNG
AUF
DAS
WERKSTUECK
IN
EINER
GLIMMENTLADUNG
(PLASMA)
29
3.
VERSUCHSAUFBAU
34
3.1
OFENANLAGE
(GEHAEUSE
UND
INNENAUFBAU)
35
3.2
PROZESSGASSYSTEM
36
3.3
PLASMA-GENERATOR
37
3.4
ELEKTRISCHE
STEUERUNG
UND
REGELUNG
37
3.5
PROBENMATERIAL
39
3.6
ERMITTLUNG
DER
CHEMISCHEN
ZUSAMMENSETZUNG
DER
RANDSCHICHT
40
3.7
PROZESSDATEN
UND
ABLAUFSCHRITTE
41
4.
VERSUCHSERGEBNISSE
MIT
PROPAN-ZWASSERSTOFF-ATMOSPHAEREN
43
4.1
GASGEMISCHE
43
4.1.1
PROPAN-ZWASSERSTOFF-ATMOSPHAEREN
43
5.
VERSUCHSERGEBNISSE
MIT
METHAN-ATMOSPHAEREN
48
5.1
METHAN-ATMOSPHAEREN
UND
ATMOSPHAERENDRUCK
48
5.2
METHAN-ATMOSPHAEREN
UND
DURCHFLUSSMENGEN
50
5.3
WERKSTOFF
UND
WERKSTOFFEINFLUESSE
51
5.4
SPEZIFISCHE
PARAMETER
DER
PLASMA-TECHNOLOGIE
UND
DEREN
EINFLUESSE
AUF
DEN
AUFKOHLUNGSPROZESS
63
5.4.1
STROMDICHTE
64
5.4.2
FREQUENZEINFLUSS
66
5.4.3
PULS-ZPAUSENVERHAELTNIS
67
SEITE
II
5.4.4
LEISTUNGSDICHTE
70
5.5
TEMPERATUREINFLUSS
72
5.6
EINFLUSS
DER
PROZESSDAUER
78
5.7
SPEKTROMETRISCHE
MESSERGEBNISSE
84
5.7.1
MASSENSPEKTROMETRISCHE
MESSEINRICHTUNG
85
5.7.2
MASSENSPEKTROMETRISCHE
MESSUNGEN
86
5.7.3
ZUSAMMENFASSUNG
DER
MESSERGEBNISSE
94
6.
DISKUSSION
DER
GEWONNENEN
ERKENNTNISSE
BEZUEGLICH
DES
MECHANISMUS
DER
STOFFUEBERTRAGUNG
95
6.1
METHAN-ATMOSPHAEREN
96
6.2
PIASMANEUTRALE
PARAMETER
97
6.2.1
WERKSTOFFE
97
6.2.2
PLASMAFREQUENZ
98
6.3
EINFLUESSE
DER
PLASMABESTIMMENDEN
PARAMETER
UND
DEREN
KORRELATION
ZUEINANDER
98
6.3.1
RANDKOHLENSTOFFGEHALT
UND
DURCHFLUSSMENGEN
99
6.3.2
RANDKOHLENSTOFFGEHALT
UND
PULS-/PAUSENVERHAELTNIS
100
6.3.3
RANDKOHLENSTOFFGEHALT,
TEMPERATUR
UND
STROMDICHTE
102
6.3.4
UEBERTRAGENE
KOHLENSTOFFMENGE,
TEMPERATUR
UND
STROMDICHTE
104
6.3.5
RANDKOHLENSTOFFGEHALT,
ATMOSPHAERENDRUCK
UND
LEISTUNGSDICHTE
104
6.3.6
RANDKOHLENSTOFFGEHALT,
TEMPERATUR
UND
BEHANDLUNGSDAUER
105
SEITE
III
6.3.7
UEBERTRAGENE
KOHLENSTOFFMENGE,
TEMPERATUR
UND
BEHANDLUNGSDAUER
106
6.3.8
RANDKOHLENSTOFFGEHALT,
ATMOSPHAERENDRUCK
UND
STROMDICHTE
107
6.3.9
UEBERTRAGENE
KOHLENSTOFFMENGE,
ATMOSPHAERENDRUCK,
STROMDICHTE
UND
SPANNUNG
108
6.4
ABSCHAETZUNG
DER
STOFFUEBERTRAGUNG
111
7.
ZUSAMMENFASSUNG
115
8.
LITERATUR
119
SEITE
IV |
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