New micromachining technologies using porous silicon:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Lammel, Gerhard (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Lausanne EPFL 2001
Schriftenreihe:Thése / École Polytechnique Fédérale de Lausanne 2387
Schlagworte:
Beschreibung:Lausanne, École Polytechnique Fédérale, Diss., 2001
Beschreibung:VI, 147 S. Ill., graph. Darst.

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