In-situ-Nano-Partikel-Diagnostik im Plasma durch Mie-Ellipsometrie:
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2001
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INHALTSVERZEICHNIS
KAPITEL SEITE
1 EINLEITUNG 1
2 PARTIKEL IM PLASMA 4
2.1 AUFLADUNG DER PARTIKEL 6
2.1.1 PLASMASTROM ZUR PARTIKELOBERFLAECHE 7
2.1.2 ELEKTRONEN-EMISSIONSTROEME VON DER PARTIKELOBERFLAECHE 12
2.1.3 PARTIKEL ALS FLOATENDE SONDE 13
2.1.4 PARTIKEL IN DER PLASMA-RANDSCHICHT 14
2.2 KRAEFTE AUF DIE PARTIKEL 15
2.2.1 GRAVITATION 16
2.2.2 ELEKTROSTATISCHE KRAFT 16
2.2.2.1 ELEKTRISCHE FELDSTAERKE DER AMBIPOLAREN DIFFUSION 17
2.2.2.2 ELEKTRISCHE FELDSTAERKE IN DER RANDSCHICHT ZUR ELEKTRODE 18
2.2.3 REIBUNG AM NEUTRALGAS 18
2.2.4 LON-DRAG 19
2.2.5 THERMOPHORESE 21
2.2.6 GLEICHGEWICHTSLAGE 22
2.3 PARTIKELKONFIGURATIONEN 28
3 PARTIKELDIAGNOSTIK 31
3.1 MIE-THEORIE: EINZELTEILCHEN 31
3.2 PARTIKELGROESSENVERTEILUNG 41
3.3 MEHRSCHICHTPARTIKEL 46
3.4 OBERFLAECHENLADUNG 48
3.5 OBERFLAECHENEIGENSCHAFTEN 55
3.6 EINFLUSS DES PLASMAS AUF DAS MESSSIGNAL 57
4 MESSWERTAUFNAHME 58
4.1 EXPERIMENTELLER AUFBAU 58
4.2 MESSUNG DES POLARISATIONSZUSTANDES 60
4.3 MESSGENAUIGKEIT 63
4.4 UNTERE MESSGRENZE DER MESSMETHODE 65
5 ERGEBNISSE 66
5.1 PARTIKELGROESSENVERTEILUNG 66
5.2 REDUZIERUNG DER MEHRDEUTIGKEIT DER MESSERGEBNISSE 70
5.3 PARTIKEL IN INDUSTRIELLEN PLASMEN 71
5.4 OBERFLAECHEN- UND VOLUMENPROZESSE 80
5.5 PARTIKEL-BRECHUNGSINDEX 88
5.6 OBERFLAECHENSCHICHTEN 90
6 ZUSAMMENFASSUNG 97
7 LITERATURVERZEICHNIS 101
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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