Unterstützung des Entwurfsprozesses in der Mikromechanik durch Einsatz eines modularen Baukastensystems am Beispiel mikromechanischer Membranen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2002
|
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Mikromechanik
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Essen, Univ., Diss., 2002 |
| Beschreibung: | XV, 158 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 383220119X |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a22000008c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV014266743 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20021017 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 020423s2002 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 964206854 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 383220119X |9 3-8322-0119-X | ||
| 035 | |a (OCoLC)76303964 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV014266743 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-703 |a DE-91G |a DE-706 | ||
| 100 | 1 | |a Weiss, Elmar |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Unterstützung des Entwurfsprozesses in der Mikromechanik durch Einsatz eines modularen Baukastensystems am Beispiel mikromechanischer Membranen |c Elmar Weiss |
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 2002 | |
| 300 | |a XV, 158 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Berichte aus der Mikromechanik | |
| 500 | |a Zugl.: Essen, Univ., Diss., 2002 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Technische Membran |0 (DE-588)4296416-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Drucksensor |0 (DE-588)4150765-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Produktentwicklung |0 (DE-588)4139402-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Modul |g Membranverfahren |0 (DE-588)4532532-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Drucksensor |0 (DE-588)4150765-4 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Technische Membran |0 (DE-588)4296416-7 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Produktentwicklung |0 (DE-588)4139402-1 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Modul |g Membranverfahren |0 (DE-588)4532532-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009785010&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009785010 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1808136474961379328 |
|---|---|
| adam_text |
I
NHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
1
1.1
EINORDNUNG
MIKROTECHNISCHER
SYSTEME
.
3
1.2
MARKTAUSSICHTEN
MIKROTECHNISCHER
SYSTEME
.
4
2
STAND
DER
ERKENNTNISSE
.
7
2.1
WERKSTOFFE
.
7
2.1.1
HALBLEITER
.
8
2.1.1.1
SILIZIUM
.
11
2.1.1.2
GALLIUM-ARSENID
.
15
2.1.2
KUNSTSTOFFE
/
POLYMERE
.
17
2.1.3
FORMGEDAECHTNIS-LEGIERUNGEN
.
18
2.2
FERTIGUNGSVERFAHREN
.
20
2.2.1
ATZTECHNIK
.
21
2.2.1.1
NASS-CHEMISCHES
ATZVERFAHREN
(BULK
MICROMACHINING)
.
21
2.2.1.1.1
ISOTROPE
AETZVERFAHREN
.
22
2.2.1.1.2
ANISOTROPE
AETZVERFAHREN
.
23
2.2.1.2
TROCKENAETZVERFAHREN
.
25
2.2.1.2.1
LONENSTRAHLAETZEN
/
SPUTTERAETZEN
.
26
2.2.1.2.2
PLASMAAETZEN
/
REAKTIVES
LONENAETZEN
.
26
2.2.2
LIGA
.
27
2.2.3
MIKROSPRITZGIESSEN
.
30
2.2.4
SPANENDE
FERTIGUNG
.
30
2.2.5
LASERBEARBEITUNG
.
31
2.2.6
RAPID
PROTOTYPING
.
32
2.2.6.1
MIKRO-PHOTO-VERFESTIGUNG
MITTELS
MASKENTECHNIK
.
33
2.2.6.2
RAPID
MICRO
PRODUCT
DEVELOPMENT
.
34
2.3
AUFBAU
UND
VERBINDUNGSTECHNIKEN
.
35
2.3.1
CHIPMONTAGE
.
35
2.3.1.1
BONDEN
.
36
2.3.1.1.1
ANODISCHES
BONDEN
.
36
2.3.1
1.2
SILIZIUM-DIREKT-BONDEN
.
37
2.3.1.2
LEGIERUNGSTECHNIK
.
38
2.3.1.3
LOETTECHNIK
.
38
2.3.1.4
KLEBETECHNIK
.
38
II
_
INHALTSVERZEICHNIS
2.3.2
KONTAKTIERUNG
.
39
2.3.2.1
DRAHTKONTAKTIERUNG
.
39
2.3.2.2
FLIP-CHIP-TECHNIK.
40
2.4
PRODUKTE
.
40
2.4.1
EINORDNEN
NACH
FUNKTIONEN.
40
2.4.2
EINORDNEN
NACH
MECHANISCHEN
ELEMENTEN
.
44
2.4.3
KRAFT
UND
DRUCKSENSOREN
.
45
2.4.3.1
KRAFTSENSOREN
.
45
2.4.3.1.1
DEHNUNGSMESSSTREIFEN
.
46
2.4.3.1.2
PIEZOELEKTRISCHER
EFFEKT
.
47
2.4.3.2
DRUCKSENSOREN
.
49
2.5
PRODUKTENTWICKLUNG
.
53
3
ZIELSETZUNG
UND
VORGEHENSWEISE
.
59
4
ALLGEMEINE
GLIEDERUNG
DES
MIKROMECHANISCHEN
BAUKASTENSYSTEMS
.
63
5
ENTWICKLUNG
EINES
MEMBRAN-BAUKASTENS
.
67
5.1
MARKTANALYSE
.
69
5.2
AUFSTELLEN
VON
FUNKTIONSSTRUKTUREN
.
70
5.3
BAUKASTENSTRUKTUR
ENTWERFEN
.
71
5.4
BAUSTEINE
KONZIPIEREN
UND
ENTWERFEN
.
X
.74
5.4.1
ENTWURF
.
74
5.4.1.1
MECHANISCHER
TEIL
.
74
5.4.1.2
(AUSWERTE-)ELEKTRONIK
.
77
5.4.1.3
WERKSTOFFE
UND
FERTIGUNGSVERFAHREN
.
77
5.4.1.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
78
5.4.2
BERECHNUNG
UND
SIMULATION
.
V
.
79
5.4.2.1
GRUNDELEMENT
(ANALYTISCHE
BERECHNUNG)
.
79
5.4.2.1.1
ANALYTISCHE
LOESUNG
MITTELS
MEMBRANTHEORIE
.
80
5.4.2.1.2
ANALYTISCHE
LOESUNG
MITTELS
PLATTENTHEORIE
.
83
5.4.2.2
GRUNDELEMENT
(FEM-BERECHNUNG)
.
89
5.4.2.2.1
DIE
FINITE-ELEMENTE-METHODE
.
89
5.4.2.2.2
GENAUIGKEIT
DER
FEM-BERECHNUNGEN
.
91
5.4.2.2.3
LOESUNG
MIT
FEM
.
93
5.4.2.3
GESAMTELEMENT
(FEM-BERECHNUNG)
.
95
INHALTSVERZEICHNIS
III
5.4.2.3.1
MEMBRAN
MIT
UNTERLEGELEMENT
YYBOHRUNG
"
.
96
5.4.2.3.2
MEMBRAH
MIT
ABGESCHRAEGTEM
UNTERLEGELEMENT
.
98
5.4.2.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
BERECHNUNGSERGEBNISSE
.
101
5.5
BAUKASTEN
AUSARBEITEN
.
101
5.5.1
MODULARE
MONTAGE
.
101
5.5.2
QUALITAETSSICHERUNG
.
102
6
DER
MEMBRANBAUKASTEN
IN
DER
PRAXISANWENDUNG
.
105
6.1
UEBERSICHT
UEBER
FAHRZEUG-BREMSANLAGEN
.
105
6.1.1
KONVENTIONELLE
FAHRZEUG-BREMSANLAGE
.
106
6.1.2
BRAKE-BY-WIRE
.
107
6.2
ANWENDUNGSFELDER
VON
BREMSPEDALKRAFTSENSOREN
.
109
6.2.1
EINSATZFELDER
IN
KONVENTIONELLEN
FAHRZEUGBREMSEN
.
109
6.2.2
EINSATZFELDER
IN
BRAKE-BY-WIRE-BREMSANLAGEN
.
109
6.3
TECHNISCHE
VORGABEN
.
110
6.3.1
ALLGEMEINE
VORGABEN
.
110
6.3.2
KONKRETE
VORGABEN
.
111
6.3.3
EINBAUORT
DES
SENSORS
.
112
6.3.3.1
KRAFTVERTEILUNG
AUF
EINEM
FAHRZEUGBREMSPEDAL
.
112
6.3.3.2
MODIFIZIERTES
BREMSPEDAL
.
115
6.4
KONZEPTION
DES
MIKROMECHANISCHEN
DRUCKSENSORS
.
116
6.5
ZUSAMMENFASSUNG
.
118
7
EINSATZ
DES
MEMBRANBAUKASTENS
IN
RECHNERBASIERTEN
ANWENDUNGEN
.
119
7.1
PRINZIPIELLER
AUFBAU
.
119
7.1.1
EXPERTENSYSTEM
MIT
DATENBANK
YYMEMBRANBAUKASTEN
"
.
121
7.1.2
DATENBANK
YYSENSOREN
"
.
124
7.1.3
DATENBANK
YYPHYSIKALISCHE
EFFEKTE
"
.
125
7.2
PROTOTYPISCHE
UMSETZUNG
.
126
8
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
129
ANHANG
.
131
ANSYS-DATEIEN
.
131
MEMBRAN
(GRUNDELEMENT)
.
131
MEMBRAN
MIT
GEBOHRTEM
UNTERLEGELEMENT
.
133
IV
_
INHALTSVERZEICHNIS
MEMBRAN
MIT
ABGESCHRAEGTEM
UNTERLEGELEMENT
.
135
ERGEBNISSE
DER
FEM-BERECHNUNGEN
.
138
MEMBRAN
(GRUNDELEMENT)
.
138
MEMBRAN
MIT
GEBOHRTEM
UNTERLEGELEMENT
.
139
MEMBRAN
MIT
ABGESCHRAEGTEM
UNTERLEGELEMENT
.
139
ABDRUECKE
DER
PEDALKRAFTMESSUNG
MIT
FUJI-FILM
.
140
GLOSSAR
.
143
LITERATURVERZEICHNIS.
149 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Weiss, Elmar |
| author_facet | Weiss, Elmar |
| author_role | aut |
| author_sort | Weiss, Elmar |
| author_variant | e w ew |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV014266743 |
| ctrlnum | (OCoLC)76303964 (DE-599)BVBBV014266743 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a22000008c 4500</leader><controlfield tag="001">BV014266743</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20021017</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">020423s2002 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">964206854</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">383220119X</subfield><subfield code="9">3-8322-0119-X</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76303964</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV014266743</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-91G</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Weiss, Elmar</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Unterstützung des Entwurfsprozesses in der Mikromechanik durch Einsatz eines modularen Baukastensystems am Beispiel mikromechanischer Membranen</subfield><subfield code="c">Elmar Weiss</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">2002</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">XV, 158 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus der Mikromechanik</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Essen, Univ., Diss., 2002</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Technische Membran</subfield><subfield code="0">(DE-588)4296416-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Drucksensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150765-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Produktentwicklung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4139402-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Modul</subfield><subfield code="g">Membranverfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4532532-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Drucksensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150765-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Technische Membran</subfield><subfield code="0">(DE-588)4296416-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Produktentwicklung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4139402-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Modul</subfield><subfield code="g">Membranverfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4532532-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009785010&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009785010</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV014266743 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-23T00:35:15Z |
| institution | BVB |
| isbn | 383220119X |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009785010 |
| oclc_num | 76303964 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-703 DE-91G DE-BY-TUM DE-706 |
| owner_facet | DE-703 DE-91G DE-BY-TUM DE-706 |
| physical | XV, 158 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2002 |
| publishDateSearch | 2002 |
| publishDateSort | 2002 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series2 | Berichte aus der Mikromechanik |
| spelling | Weiss, Elmar Verfasser aut Unterstützung des Entwurfsprozesses in der Mikromechanik durch Einsatz eines modularen Baukastensystems am Beispiel mikromechanischer Membranen Elmar Weiss Aachen Shaker 2002 XV, 158 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus der Mikromechanik Zugl.: Essen, Univ., Diss., 2002 Technische Membran (DE-588)4296416-7 gnd rswk-swf Drucksensor (DE-588)4150765-4 gnd rswk-swf Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd rswk-swf Produktentwicklung (DE-588)4139402-1 gnd rswk-swf Modul Membranverfahren (DE-588)4532532-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Mikromechanik (DE-588)4205811-9 s Drucksensor (DE-588)4150765-4 s Technische Membran (DE-588)4296416-7 s Produktentwicklung (DE-588)4139402-1 s Modul Membranverfahren (DE-588)4532532-7 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009785010&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Weiss, Elmar Unterstützung des Entwurfsprozesses in der Mikromechanik durch Einsatz eines modularen Baukastensystems am Beispiel mikromechanischer Membranen Technische Membran (DE-588)4296416-7 gnd Drucksensor (DE-588)4150765-4 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Produktentwicklung (DE-588)4139402-1 gnd Modul Membranverfahren (DE-588)4532532-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4296416-7 (DE-588)4150765-4 (DE-588)4205811-9 (DE-588)4139402-1 (DE-588)4532532-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | Unterstützung des Entwurfsprozesses in der Mikromechanik durch Einsatz eines modularen Baukastensystems am Beispiel mikromechanischer Membranen |
| title_auth | Unterstützung des Entwurfsprozesses in der Mikromechanik durch Einsatz eines modularen Baukastensystems am Beispiel mikromechanischer Membranen |
| title_exact_search | Unterstützung des Entwurfsprozesses in der Mikromechanik durch Einsatz eines modularen Baukastensystems am Beispiel mikromechanischer Membranen |
| title_full | Unterstützung des Entwurfsprozesses in der Mikromechanik durch Einsatz eines modularen Baukastensystems am Beispiel mikromechanischer Membranen Elmar Weiss |
| title_fullStr | Unterstützung des Entwurfsprozesses in der Mikromechanik durch Einsatz eines modularen Baukastensystems am Beispiel mikromechanischer Membranen Elmar Weiss |
| title_full_unstemmed | Unterstützung des Entwurfsprozesses in der Mikromechanik durch Einsatz eines modularen Baukastensystems am Beispiel mikromechanischer Membranen Elmar Weiss |
| title_short | Unterstützung des Entwurfsprozesses in der Mikromechanik durch Einsatz eines modularen Baukastensystems am Beispiel mikromechanischer Membranen |
| title_sort | unterstutzung des entwurfsprozesses in der mikromechanik durch einsatz eines modularen baukastensystems am beispiel mikromechanischer membranen |
| topic | Technische Membran (DE-588)4296416-7 gnd Drucksensor (DE-588)4150765-4 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Produktentwicklung (DE-588)4139402-1 gnd Modul Membranverfahren (DE-588)4532532-7 gnd |
| topic_facet | Technische Membran Drucksensor Mikromechanik Produktentwicklung Modul Membranverfahren Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009785010&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT weisselmar unterstutzungdesentwurfsprozessesindermikromechanikdurcheinsatzeinesmodularenbaukastensystemsambeispielmikromechanischermembranen |