Breitbandige On-Wafer-Meßverfahren zur Bestimmung des elektrodynamischen Verhaltens planarer Leitungssysteme in der Mikroelektronik:
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| Format: | Buch |
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| Veröffentlicht: |
Göttingen
Cuvillier
2002
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
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