Über die Signalentstehung bei Weißlichtinterferometrie:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2001
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INHALTSVERZEICHNIS
1.
AUFGABENSTELLUNG
UND
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ERGEBNISSE
1
1.1.
EINLEITUNG
1
1.2.
AUFGABENSTELLUNG
1
1.3.
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ERGEBNISSE
2
2.
EINLEITUNG
5
2.1.
3D-SENSORLK
5
2.2.
OPTISCHE
/
NICHT-OPTISCHE
3D-SENSOREN
6
2.3.
OPTISCHE
3D-SENSOREN
7
2.3.1.
TRIANGULATION
7
2.3.2.
FOKUSSUCHE
9
2.3.3.
INTERFEROMETRIE
10
2.3.4.
LAUFZELTVERFAHREN
12
2.3.5.
PHYSIKALISCHE
GRENZEN
VON
OPTISCHEN
SENSOREN
12
3.
SIGNALENTSTEHUNG
BEI
WEISSLICHTINTERFEROMETRIE
16
3.1.
WEISSLICHTINTERFEROMETRIE
16
3.2.
OPTISCH
GLATTE
OBERFLAECHEN
20
3.3.
OPTISCH
RAUE
OBERFLAECHEN
22
3.4.
NOCH
ZU
LOESENDE
PROBLEME
23
4.
SIMULATION
DER
SIGNALENTSTEHUNG
27
4.1.
DURCHFUEHRUNG
DER
SIMULATION
27
4.1.1.
BELEUCHTUNG
27
4.1.2.
MESSOBJEKT
29
4.1.3.
BILDEBENE
29
4.1.4.
ABBILDUNGSOPTIK
29
4.1.5.
INTERFERENZ
DURCH
UEBERLAGERUNG
MIT
EINER
REFERENZWELLE
31
4.1.6.
HOEHEN
DES
MESSOBJEKTES
32
4.1.7.
SIMULATIONSVORGANG
32
4.1.8.
NUMERISCHE
EINSTELLUNGEN
FUER
DIE
SIMULATION
32
4.1.9.
GUELTIGKEIT
DER
NAEHERUNGEN
(SPECKLESTATISTIK)
34
4.2.
MESSUNSICHERHEIT
BEI
VERSCHIEDENEN
APERTUREN
36
4.3.
LATERALE
MESSUNSICHERHEIT
40
4.4.
MESSUNSICHERHEIT
AUF
GENEIGTEN
OBERFLAECHEN
43
4.5.
LATERALE
UEBERAUFLOESUNG
46
5.
BESTIMMUNG
VON
RAUHEITSPARAMETERN
.
53
I
NHALTSVERZEICHNIS
5.1.
GRUNDLAGEN
53
5.2.
RAUHEITSPARAMETER
AUF
OPTISCH
GLATTEN
OBERFLAECHEN
57
5.3.
RAUHEITSPARAMETER
AUF
OPTISCH
RAUEN
OBERFLAECHEN
62
5.3.1.
THEORIE
ZUR
BERECHNUNG
VON
R
Q
63
5.3.2.
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
68
5.3.3.
SCHLUSSFOLGERUNGEN
70
5.4.
BESTIMMUNG
VON
MATERTALANTEILSKURVEN
70
5.5.
AUSBLICK
78
6.
ANWENDUNGSPOTENTIAL
81
6.1.
VARIABLES
LATERALES
GESICHTSFELD
81
6.1.1.
MIKROSKOPISCHE
GESICHTSFELDER
81
6.1.2.
GROSSE
GESICHTSFELDER
84
6.2.
NEUARTIGE
ANWENDUNGSBELSPLELE
87
7.
AUSBLICK
93
7.1.
NEUE
LICHTQUELLE
93
7.2.
REDUKTION
DER
MESSUNSICHERHEIT
96
8.
ZUSAMMENFASSUNG
99
9.
DANKSAGUNG
102
10.
LITERATURVERZEICHNIS
103
11.
LEBENSLAUF
107 |
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