APA-Zitierstil (7. Ausg.)

(1991). Handbook of VLSI microlithography: Principles, technology and applications (Reprint ed.). Noyes.

Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)

Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications. Reprint ed. Westwood, NJ: Noyes, 1991.

MLA-Zitierstil (9. Ausg.)

Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications. Reprint ed. Noyes, 1991.

Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.