(1991). Handbook of VLSI microlithography: Principles, technology and applications (Reprint ed.). Noyes.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications. Reprint ed. Westwood, NJ: Noyes, 1991.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications. Reprint ed. Noyes, 1991.
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