Schottky-Dioden auf Galliumnitrid: Eigenschaften und Anwendungen in der Sensorik
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German English |
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2001
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INHALTSVERZEICHNIS
VIII
INHALTSVERZEICHNIS
SUMMARY IV
INHALTSVERZEICHNIS VIII
1 EINLEITUNG 1
2 METALL-HALBLEITERUEBERGAENGE 4
2.1 INTRINSISCHE OBERFLAECHENZUSTAENDE (VIGS) 4
2.2 METALL-HALBLEITERGRENZFLAECHE 11
2.2.1 AUSBILDUNG DER BARRIERE NACH SCHOTTKY UND MOTT 12
2.2.2 EINFLUSS VON OBERFLAECHENLADUNGEN UND ELEKTRONEGATIVITAETSKONZEPT 17
2.2.3 METAL-INDUCED GAP STATES (MIGS) 23
2.2.4 EXTRINSISCHE DEFEKTE AN DER GRENZFLAECHE 27
2.3 ELEKTRISCHER TRANSPORT 30
2.3.1 EMISSION UEBER DIE BARRIERE
31
2.3.2 TUNNELN DURCH DIE BARRIERE 37
2.3.3 REKOMBINATION IN DER RAUMLADUNGSZONE 39
2.3.4 LOECHERINJEKTION 40
2.3.5 EINFLUESSE AUF DEN VORWAERTS- UND RUECKWAERTSSTROM 41
2.3.6 OHMSCHE KONTAKTE
44
2.4 BESTIMMUNG DER BARRIERENHOEHE 45
2.4.1 STROM-SPANNUNGSMESSUNGEN
45
2.4.2 INTERNE PHOTOEMISSION
47
2.4.3 KAPAZITAETS-SPANNUNGSMESSUNGEN
47
2.4.4 PHOTOELEKTRONEN-SPEKTROSKOPIE (PES) 48
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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INHALTSVERZEICHNIS
_IX
3 GRUPPE ILL-NITRIDE 51
3.1 GRUNDLEGENDE EIGENSCHAFTEN 51
3.2 WACHSTUM 55
3.3 DOTIERUNG 64
3.4 POLARITAET UND POLARISATION 65
4 SI-DOTIERUNG VON GAN 70
4.1 WACHSTUM, SI-GEHALT UND LADUNGSTRAEGERKONZENTRATION 71
4.2 MORPHOLOGIE UND STRUKTURELLE QUALITAET 76
4.3 TEMPERATURABHAENGIGE MESSUNGEN DES
HALL-EFFEKTS 81
4.4 RAUSCHEN 90
5 SCHOTTKY-KONTAKTE AUF GAN 94
5.1 METALLISIERUNG 94
5.2 LU-KENNLINIEN UND CV-MESSUNGEN 97
5.3 INTERPRETATION DER BARRIERENHOEHEN AUF GAN 105
5.4 SCHOTTKY-KONTAKTE AUF HVPE-GAN 113
5.5 TEMPERATURABHAENGIGKEIT UND
RICHARDSON-KONSTANTE 116
5.6 INTERNE PHOTOEMISSION 119
5.7 DEGRADATION 120
5.8 RAUSCHEN 121
5.9 DRUCKABHAENGIGE MESSUNGEN 125
5.10 ZUSAMMENFASSUNG
126
INHALTSVERZEICHNIS
X
6 UV-DETEKTOREN
127
6.1 PHOTOLEITER 128
6.2 GAN- UND AIGAN-SCHOTTKY-DIODEN 138
7
GAN ALS WASSERSTOFF-DETEKTOR
148
7.1 DETEKTIONSMECHANISMUS BEI KATALYTISCHEN KONTAKTEN 149
7.2 GAN-SCHOTTKY-DIODEN ALS WASSERSTOFF-SENSOREN 151
8 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 157
ANHANG 162
LITERATURVERZEICHNIS
164
LISTE DER VEROEFFENTLICHUNGEN 179
DANKSAGUNG
181 |
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