Mechanische und tribologische Charakterisierung dünner Schichten mit Hilfe rastersondenbasierter Verfahren:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Stuttgart
Fraunhofer-IRB-Verl.
2001
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| Schriftenreihe: | Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
12 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.1
2
GRUNDLAGEN.?
2.1
GEOMETRISCHE
FORM
VON
KOERPER
UND
GEGENKOERPER
.
3
2.2
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
EINES
SCHICHT/SUBSTRAT
SYSTEMS
.
7
2.2.1
CHARAKTERISIERUNG
EINES
MECHANISCH
ISOTROPEN
HALBRAUMS
.
7
2.2.2
CHARAKTERISIERUNG
EINES
BESCHICHTETEN,
MECHANISCH
ISOTROPEN
HALBRAUMS
.
18
2.3
DIE
TRIBOLOGISCHEN
GROESSEN
REIBUNG
UND
VERSCHLEISS
.
24
2.3.1
REIBUNG
.
24
2.3.2
VERSCHLEISS
.
33
3
EXPERIMENTELLER
TEIL.
_
.39
3.1
UNTERSUCHTE
PROBEN
.
39
3.1.1
AMORPHE
KOHLENWASSERSTOFF-SCHICHTEN
.
39
3.1.2
KOHLENSTOFF-NITRID
SCHICHTEN
(CNYY)
.
41
3.1.3
WEITERE
UNTERSUCHTE
SCHICHTSYSTEME
.
42
3.2
DAS
TRIBOSCOPE
.
44
3.2.1
KALIBRIERUNG
DES
TRIBOSCOPESYY
.
45
3.2.2
BESTIMMUNG
DER
FLAECHENFTINKTION
A(8C)
.
48
3.2.3
DIE
VERWENDETEN
KONISCHEN
INDENTOREN
.
50
3.3
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
DER
SCHICHT/SUBSTRAT
SYSTEME
.
55
3.3.1
ALLGEMEINES
VORGEHEN
BEI
DER
MECHANISCHEN
CHARAKTERISIERUNG
.
55
3.3.2
VERWENDETE
SUBSTRATE
.
56
3.3.3
MECHANISCHE
CHARAKTERISIERUNG
DER
SCHICHTEN
.
62
3.4
TRIBOLOGISCHE
EIGENSCHAFTEN
EINES
SCHICHT/SUBSTRAT-SYSTEMS
.
72
3.4.1
EXPERIMENTELLES
VORGEHEN
BEI
DER
CHARAKTERISIERUNG
.
72
3.4.2
EINFLUSS
DER
TOPOGRAPHIE
DER
KONTAKTPARTNER
.
73
3.4.3
EINFLUSS
DER
UMGEBUNGSBEDINGUNGEN
AUF
DIE
TRIBOLOGISCHEN
MESSUNGEN
.
79
3.4.4
EINFLUSS
DER
SCHICHTDICKE
SOWIE
DES
SUBSTRATES
EINES
SCHICHT/SUBSTRAT
SYSTEMS
.
83
3.4.5
VERSCHLEISSVERHALTEN
UND
MATERIALERMUEDUNG
.
89
4
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.99
5
LITERATUR
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